压电谐振器、压电谐振器器件及其制造方法技术

本发明专利技术涉及压电谐振器、压电谐振器器件以及它们的制造方法。该压电谐振器包括：一振动电极配置在压电基片的垂直于厚度方向的第一侧面上。第二振动电极配置在与第一侧面相对的第二侧面上，与第一振动电极相对。第一垫和第二垫分别形成在压电基片的垂直于厚度方向的侧面上，形成的区域其振幅最小。第一垫和第二垫分别电连接于第一振动电极和第二振动电极。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

技术介绍
在JP-A-60-123120、JP-A-1-236715、JP-A-237066以及JP-A-10-135215中公开了这种谐振器器件。利用厚度扩张振动的已知压电谐振器器件包括应用基波振动式的器件以及应用谐波振动式特别是第三谐波式的器件。能量捕集式谐振器器件是典型的利用第三谐波振动的压电谐振器器件。因为用在能量捕集谐振器中的压电基片具有不振动的部分，所以为形成谐振器器件可在这些部分固定谐振器，这种器件很少有振动特性逐渐变坏的缺点，已获得广泛应用。利用基波振动的厚度基频振动式压电谐振器器件表现出很高的共振特性，具有很高的品质因素Qmax值。但是和能量捕集式谐振器不一样，它们几乎没有不振动部分。在小型器件中整个压电基片均在振动，因而很难稳定地支承和固定基片。另一方面，压电基片通过干燥到固化的导电胶的粘接固定在介电基片上。在压电谐振器器件用基波振动时，粘接剂的粘接强度趋向于不稳定，因为在支座上的导电胶粘度的变化或慢慢渗出会导致粘接区域变位。粘接剂粘接强度的变化或降低很容易因振动能量受到抑制而使振动特性变坏，因不能充分控制寄生振动而造成共振特性变坏，以及造成所需振荡的不稳定跳跃这种振本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电谐振器，包括： 压电基片； 第一振动电极； 第二振动电极； 第一垫； 第二垫； 其中，上述压电基片是六面体； 上述第一振动电极配置在上述压电基片的垂直于厚度方向的第一侧面上； 上述第二振动电极配置在上述压电基片的垂直于厚度方向的第二侧面上，此电极与上述第一振动电极相面对； 上述第一垫和上述第二垫分别配置在上述压电基片的垂直厚度方向的至少一个侧面上的振幅较小的区域上。 上述第一垫用导体制作，电连接于上述第一振动电极； 上述第二垫用导体制作，电连接于上述第二振动电极。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木利幸，三木信之，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]