压电基板及其制造方法技术

压电基板及其制造方法。本发明专利技术的课题是获得Ｑ值高、寄生少的厚度切变振子及其批量生产手段。作为解决手段，将压电基板构成为，在圆形或矩形的平板状的压电基板的中央一体地形成在基板的上下对置的预定大小的突起部（台面部），并且，该突起部的上表面和基板的周缘部（倒角部）的面形成为同一球面状。其制造方法是，使用光刻技术和蚀刻方法在平板状的压电基板上形成台面形压电基板，将该压电基板与研磨剂一起放入圆筒容器中，按照预定的旋转速度旋转，制造台面一倒角型石英基板。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种压电基板，其特征在于，构成为在平板状的压电基板的中央一体地形成上下对置的预定大小的突起部，并且，该突起部的上表面和平板的周缘部的面形成为同一球面状。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤健二，
申请(专利权)人：爱普生拓优科梦株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]