一种半导体晶圆测试探针夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体测试夹具技术领域，且公开了一种半导体晶圆测试探针夹具，包括安装盘，所述安装盘的顶端卡接有盖板，所述安装盘的底端滑动连接有探针，所述安装盘的内底壁固定安装有第一固定板，所述安装盘的内底壁靠近第一固定板的一侧固定安装有第二固定板，所述第一固定板的一侧滑动连接有第一活动板，所述第一活动板的底部设置有探针头。本实用新型专利技术通过连接座、第二丝杠、第二活动板、连接杆之间的配合设置，可以带动第二旋转杆伸出连接座并插入探针头开设的插孔内，从而可以在探针头的两侧形成稳定的固定，夹持效果较好，避免探针头在测试的过程中发生晃动，避免对半导体晶圆测试效果造成影响。测试效果造成影响。测试效果造成影响。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体晶圆测试探针夹具


[0001]本技术涉及半导体测试夹具
，具体为一种半导体晶圆测试探针夹具。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，半导体晶圆在测试时需要用到探针，而探针夹具则是用来固定探针的器具。
[0003]目前市场上的一些半导体晶圆测试探针夹具：
[0004](1)在探针夹具使用的过程中，由于现有的探针夹具结构较为单一的原因，使得对探针的固定效果较差，在使用的过程中易导致探针发生晃动，从而易对半导体晶圆测试效果造成影响；
[0005](2)在探针夹具使用的过程中，由于现有的探针夹具结构较为固定的原因，不便对高度进行调节，导致无法适配不同长度的探针，在测试时需要更换不同的夹具，不仅浪费时间，而且增大了测试成本。
[0006]所以我们提出了一种半导体晶圆测试探针夹具，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

[0007](一)解决的技术问题
[0008]针对上述
技术介绍
中现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种半导体晶圆测试探针夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的目前市场上的一些半导体晶圆测试探针夹具，存在固定效果较差和不便对高度进行调节的问题。
[0009](二)技术方案
[0010]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0011]一种半导体晶圆测试探针夹具，包括安装盘，所述安装盘的顶端卡接有盖板，所述安装盘的底端滑动连接有探针；
[0012]所述安装盘的内底壁固定安装有第一固定板，所述安装盘的内底壁靠近第一固定板的一侧固定安装有第二固定板，所述第一固定板的一侧滑动连接有第一活动板，所述第一活动板的底部设置有探针头；
[0013]所述第一固定板的顶部一侧转动连接有第一旋转杆，所述第一旋转杆的底端固定安装有第一丝杠，所述第二固定板的内壁一侧固定安装有第一滑杆；
[0014]所述第一活动板的顶部两侧均固定安装有连接板，所述连接板的顶部固定安装有连接座，所述连接座内壁一侧中部转动连接有第二丝杠，所述第二丝杠的外侧螺纹连接有第二活动板，所述第二活动板的一侧固定安装有连接杆，所述连接座的内壁远离第二丝杠的一侧固定安装有第二滑杆，所述第二丝杠的一端固定安装有第二旋转杆。
[0015]优选的，所述探针头的两侧均开设有插孔，所述插孔的数量有四个，四个所述插孔呈矩形阵列分布，所述插孔与连接杆相适配，所述连接杆的一端固定安装有橡胶垫。
[0016]优选的，所述第一固定板与第二固定板的一侧均开设有与第一活动板相适配的第一滑槽，所述第一活动板的顶部开设有与探针相适配的通孔，所述探针的顶端与探针头的底端相固定，所述第一固定板与第二固定板的另一侧均开设有与第二旋转杆相适配的第二滑槽。
[0017]优选的，所述第一丝杠的底端贯穿第一固定板的顶部并与第一固定板的内底壁一侧转动连接，所述第二旋转杆与第一丝杠交错设置，所述第一丝杠与第一活动板的顶部一侧螺纹连接。
[0018]进一步的，所述第一滑杆与第一活动板滑动连接，所述第一滑杆与第二旋转杆交错设置。
[0019]进一步的，所述第二滑杆的一端与连接座的内壁一侧相固定，所述第二滑杆与第二活动板滑动连接。
[0020](三)有益效果
[0021]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0022](1)、通过连接座、第二丝杠、第二活动板、连接杆之间的配合设置，可以带动第二旋转杆伸出连接座并插入探针头开设的插孔内，从而可以在探针头的两侧形成稳定的固定，夹持效果较好，避免探针头在测试的过程中发生晃动，避免对半导体晶圆测试效果造成影响。
[0023](2)、通过第一活动板、第一旋转杆、第一丝杠、第一滑杆之间的配合设置，可以带动连接座进行上下移动，从而可以调整探针头的固定高度，进而可以调整探针的伸出长度，调节较为方便，从而可以适配不同长度的探针。
附图说明
[0024]图1为本技术半导体晶圆测试探针夹具的整体的主视结构示意图；
[0025]图2为本技术半导体晶圆测试探针夹具的盖板的剖面结构示意图；
[0026]图3为本技术半导体晶圆测试探针夹具的第一固定板和第二固定板的剖面结构示意图；
[0027]图4为本技术半导体晶圆测试探针夹具的探针的立体结构示意图。
[0028]图中：1、安装盘；2、盖板；3、探针；4、第一固定板；5、第二固定板；6、第一活动板；7、探针头；8、第一旋转杆；9、第一丝杠；10、第一滑杆；11、插孔；601、连接板；602、连接座；603、第二丝杠；604、第二活动板；605、连接杆；606、第二滑杆；607、第二旋转杆。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]请参阅图1
‑
4所示，本技术提供一种半导体晶圆测试探针夹具；包括安装盘1，
安装盘1的顶端卡接有盖板2，安装盘1的底端滑动连接有探针3；
[0031]安装盘1的内底壁固定安装有第一固定板4，第一固定板4的数量有多个，多个第一固定板4矩形阵列分布，安装盘1的内底壁靠近第一固定板4的一侧固定安装有第二固定板5，第一固定板4、第二固定板5的高度与宽度均相等，第一固定板4的一侧滑动连接有第一活动板6，第一活动板6的底部设置有探针头7；
[0032]第一固定板4的顶部一侧转动连接有第一旋转杆8，第一旋转杆8的底端固定安装有第一丝杠9，第二固定板5的内壁一侧固定安装有第一滑杆10；
[0033]第一活动板6的顶部两侧均固定安装有连接板601，连接板601的顶部固定安装有连接座602，连接座602内壁一侧中部转动连接有第二丝杠603，第二丝杠603的外侧螺纹连接有第二活动板604，第二活动板604的一侧固定安装有连接杆605，连接座602的内壁远离第二丝杠603的一侧固定安装有第二滑杆606，第二丝杠603的一端固定安装有第二旋转杆607；
[0034]根据图4所示，作为本技术的一种优选技术方案：探针头7的两侧均开设有插孔11，插孔11的数量有四个，四个插孔11呈矩形阵列分布，插孔11与连接杆605相适配，连接杆605的一端固定安装有橡胶垫，通过设有橡胶垫，可以在夹持时进行缓冲，避免产生硬性接触，从而避免在夹持时导致探针头7损坏；
[0035]根据图3所示，作为本技术的一种优选技术方案：第一固定板4与第二固定板5的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体晶圆测试探针夹具，包括安装盘(1)，其特征在于，所述安装盘(1)的顶端卡接有盖板(2)，所述安装盘(1)的底端滑动连接有探针(3)；所述安装盘(1)的内底壁固定安装有第一固定板(4)，所述安装盘(1)的内底壁靠近第一固定板(4)的一侧固定安装有第二固定板(5)，所述第一固定板(4)的一侧滑动连接有第一活动板(6)，所述第一活动板(6)的底部设置有探针头(7)；所述第一固定板(4)的顶部一侧转动连接有第一旋转杆(8)，所述第一旋转杆(8)的底端固定安装有第一丝杠(9)，所述第二固定板(5)的内壁一侧固定安装有第一滑杆(10)；所述第一活动板(6)的顶部两侧均固定安装有连接板(601)，所述连接板(601)的顶部固定安装有连接座(602)，所述连接座(602)内壁一侧中部转动连接有第二丝杠(603)，所述第二丝杠(603)的外侧螺纹连接有第二活动板(604)，所述第二活动板(604)的一侧固定安装有连接杆(605)，所述连接座(602)的内壁远离第二丝杠(603)的一侧固定安装有第二滑杆(606)，所述第二丝杠(603)的一端固定安装有第二旋转杆(607)。2.根据权利要求1所述的半导体晶圆测试探针夹具，其特征在于，所述探针头(7)的两侧均开设有插孔(11)，所述插孔(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮永红，
申请(专利权)人：惠州市拓宇电子有限公司，
类型：新型
国别省市：