新型压电石英加速度计制造技术

本发明专利技术公开了一种敏感电子学领域里的主要应用在飞行器、机器人、船舶、车辆、石油钻探和工业自动控制系统中的新型压电石英加速度计，其包括敏感元件、信号处理电路、底座、外罩及插座。敏感元件采用两只圆形压电石英晶片对称安装在两个圆柱形支撑架的中心轴线两侧；在敏感元件中设置了用于压电石英晶片过载保护的轴向减震缓冲机构和横向限位机构；构成敏感元件腔体的密封罩和基座间的密封采用了装有密封垫圈的挤压密封和螺栓紧固结构。本发明专利技术新型压电石英加速度计是通过测量石英谐振器谐振频率的变化量来测量物体的加速度，具有分辨率强、稳定性高、非线性度低、启动速度快、测量范围和工作温度范围宽、高抗过载冲击强度、输出为数字式等特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种敏感电子学领域里的主要应用在飞行器、船舶、车辆、机器人、石油钻探和工业自动化设备等的稳定和控制系统中的新型压电石英加速度计，其包括敏感元件、信号处理电路、底座、外罩及插座。
技术介绍
自二十世纪六十年代美国IBM公司的J·MRatajski经过实验研究确定了压电石英的力-频特性后，压电石英即用于检测加速度。例如，美国Kearfott公司采用双质量块和双谐振器研制的压电石英加速度计能敏感出由于月球引起的重力变化。美国陆军导弹司令部和Allied Singal Aerospace Instunment System公司采用双质量、频率差动结构的压电石英加速度计，测量范围高达1200g，比例系数为1.1Hz/g。美国专利USP 5578755和5962786公开了不同结构的压电石英加速度计的实施方案。法国国家宇航研究公司(ONERA)采用振梁结构研制石英加速度计。但是，上述这些压电石英加速度计的分辨率、线性度、稳定性以及启动速度均难于达到高性能装置的使用要求，而且不能抗强震动冲击。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种分辨率强、稳定度高、非线性度低、可抗强震本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型压电石英加速度计，其包括敏感元件（３）、信号处理电路（８）、底座（１）、外罩（５）及插座（１１），其特征在于：所述敏感元件（３）采用两只圆形压电石英晶片（２２）对称安装在支撑架（２１）和支撑架（２３）圆柱体中心轴线两侧；在敏感元件（３）中设置了用于两只圆形压电石英晶片（２２）过载保护的轴向减震缓冲机构和横向限位机构；构成敏感元件腔体的密封罩（１４）和基座（１２）间的密封采用了装有密封垫圈（１３）的挤压密封和螺栓紧固结构；信号处理电路（８）是由实现频率信号捕获的振荡电路、实现信号提取整形的差频整形电路、实现信号放大的锁相倍频电路和实现零位补偿、非线性度补偿和温度补偿的补偿及输出电路组成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张福学，张伟，
申请(专利权)人：北京信息工程学院，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]