微机电谐振器结构制造技术

一种微机械谐振器结构，包括由弯曲或圆角部分连接的多个直的或基本上直的梁部分。每个细长的梁部分在其一端经由弯曲或圆角部分连接到另一细长的梁部分，从而形成具有经由弯曲或圆角部分相互连接的至少两个细长的梁部分的几何形状（例如，圆三角形形状、圆正方形或矩形形状）。所述结构包括在所述结构的弯曲部分的一个或多个部分或区域中的一个或多个节点或区域（即，在谐振器结构震荡期间，谐振器结构的静止的、几乎不经历运动、和／或基本静止的部分）。所述节点将谐振器结构锚定到基板的合适和／或优选的位置。在操作中，谐振器结构以伸长（或呼吸）模式和弯曲模式的组合方式振荡；也就是说，梁部分（其以相同频率振荡或振动）呈现伸长状（或呼吸状）运动和弯曲状运动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种微机电谐振器结构，包括：多个细长而直的梁部分，其中，每个梁部分包括第一端和第二端；多个弯曲部分，其中，每个弯曲部分包括第一端和第二端，并且其中，至少一个弯曲部分包括节点；其中，梁部分的每一端都连接到所述弯曲部分中的一个的相关端，从而形成几何形状；至少一个锚杆耦合部分；以及基板锚杆，其经由所述锚杆耦合部分耦合到所述节点，以使所述谐振器结构固定到基板。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M卢茨，A帕特里奇，
申请(专利权)人：罗伯特博世有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]