具有可通过几何变化调节共振频率的微机械装置及其操作方法制造方法及图纸

技术编号:3405429 阅读:168 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种微机械装置,包括:振动系统,所述振动系统包括振动体(11);弹性悬架(12),振动体(11)通过该弹性悬架(12)被振动地悬挂,其中弹性悬架包括至少两个弹簧杆;调节装置,所述调节装置通过改变所述至少两个弹簧杆(12a,12b)彼此的位置来调节振动系统的共振频率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微机械装置,包括:振动系统,所述振动系统包括振动体(11);弹性悬架(12),振动体(11)通过该弹性悬架(12)被振动地悬挂,其中弹性悬架包括至少两个弹簧杆(12a,12b);调节装置,所述调节装置通过改变弹性悬架(12)的所述至少两个弹簧杆(12a,12b)彼此的位置来调节振动系统的共振频率。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:托马斯格拉斯霍夫托马斯克洛斯蒂洛桑德
申请(专利权)人:弗劳恩霍夫应用研究促进协会
类型:发明
国别省市:DE[德国]

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