一种电子级三溴化硼纯化系统及方法技术方案

本发明专利技术涉及三溴化硼纯化技术领域，尤其涉及一种电子级三溴化硼纯化系统及方法。一种电子级三溴化硼纯化系统，包括原料罐、隔膜进料泵、第一精馏塔、第一精馏塔顶冷凝器、第一精馏塔釜再沸器、第一隔膜泵输送泵、第二精馏塔、第二精馏塔顶冷凝器、第二精馏塔釜再沸器、吸附塔、冷却器、缓冲罐、第二隔膜泵输送泵、第三精馏塔、第三精馏塔接收罐、第三精馏塔釜再沸器、第三精馏塔顶冷凝器、成品出口管线。本发明专利技术通过精馏、吸附、过滤、蒸馏的工艺设置，能够将工业级三溴化硼原料提纯得到电子级三溴化硼液体，其纯度较高，能达到99.99999%，满足电子级应用，且公开了相关的纯化系统，便于规模化生产。产。产。

An electronic boron tribromide purification system and method

【技术实现步骤摘要】
一种电子级三溴化硼纯化系统及方法


[0001]本专利技术涉及三溴化硼纯化
，尤其涉及一种电子级三溴化硼纯化系统及方法。

技术介绍

[0002]三溴化硼（BBr3，Boron tribromide）是一种无色或稍带黄色发烟粘稠液体，具有强烈刺激性臭味与腐蚀性，有毒。能够溶于四氯化碳中，在空气中不稳定，很容易发生水解反应。主要应用于半导体工业中，作为集成电路、太阳能电池、半导体分离器件等P型掺杂源，通过热扩散对晶体硅进行P型掺杂，以及制造超高纯硼、乙硼烷及其他有机硼化物的原料，其次三溴化硼还用于有机合成的催化剂、中间体和溴化剂。
[0003]三溴化硼的制取方法主要有以下三种:元素硼溴化法(直接合成法)、碳化硼溴化法、复分解法。其中元素硼溴化法是采用工业硼粉和单质溴直接反应合成，碳化硼溴化法是将碳化硼在高温下溴化而得，复分解法是将溴化铝与三氟化硼复分解反应而制得三溴化硼。
[0004]通过以上三种合成方法制取得到的三溴化硼在纯度上很难达到电子级要求，并且也难以实现规模化生产。为此，我们采用自制试验装置，在工业级原料基础上进行再提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子级三溴化硼纯化系统，其特征在于，包括：原料罐（1）、隔膜进料泵（2）、第一精馏塔（5）、第一精馏塔顶冷凝器（3）、第一精馏塔釜再沸器（6）、第一隔膜泵输送泵（7）、第二精馏塔（10）、第二精馏塔顶冷凝器（8）、第二精馏塔釜再沸器（11）、吸附塔（12）、冷却器（17）、缓冲罐（18）、第二隔膜泵输送泵（19）、第三精馏塔（22）、第三精馏塔接收罐（21）、第三精馏塔釜再沸器（23）、第三精馏塔顶冷凝器（20）、成品出口管线（24）；所述原料罐（1）的输出端通过一管道与所述隔膜进料泵（2）的输出端连接，且所述隔膜进料泵（2）的输出端通过一管道与所述第一精馏塔（5）的入料口连接；所述第一精馏塔（5）的内部设置有第一精馏塔釜再沸器（6）；所述第一精馏塔（5）的顶部通过一管道与所述第一精馏塔顶冷凝器（3）连接；所述第一精馏塔（5）的底部通过一管道与所述第一隔膜泵输送泵（7）的输入端连接，所述第一隔膜泵输送泵（7）的输出端通过一管道与第二精馏塔（10）的入料口连接；所述第二精馏塔（10）的内部设置有第二精馏塔釜再沸器（11）；所述第二精馏塔（10）的顶部通过一管道与所述第二精馏塔顶冷凝器（8）连接；所述第二精馏塔（10）的顶部还连接所述吸附塔（12）的输入端；所述吸附塔（12）的输出端与两个并联设置的过滤器连接；所述过滤器的输出端与所述冷却器（17）的输入端连接，且所述冷却器（17）的输入端与缓冲罐（18）的输入端连接；所述缓冲罐（18）的输出端通过一管道与所述第二隔膜泵输送泵（19）的输入端连接，且所述第二隔膜泵输送泵（19）的输出端与所述第三精馏塔（22）连接；所述第三精馏塔（22）的下部连接有第三精馏塔釜再沸器（23）；所述第三精馏塔（22）的顶部通过一管道与所述第三精馏塔顶冷凝器（20）连接，且所述第三精馏塔顶冷凝器（20）的底部连接有第三精馏塔接收罐（21），所述三精馏塔接收罐（21）的底部与所述第三精馏塔（22）的回流口连接；所述三精馏塔接收罐（21）的底部还连接有成品出口管线（24）。2.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄加斗，宗立冬，
申请(专利权)人：重庆同辉气体有限公司，
类型：发明
国别省市：