一种适用于扫描电镜与光学相机联用的样品定位导航装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种适用于扫描电镜与光学相机联用的样品定位导航装置，属于扫描电镜分析装置技术领域，包括扫描电镜装置、外置光学成像设备及电脑；扫描电镜装置与外置光学成像设备均与电脑连接，实现数据互通；所述扫描电镜装置由主机及样品交换仓组成，样品交换仓位于主机上，样品交换仓内设置有样品台。所述外置光学成像设备用于采集样品台全貌图。通过分别采集扫描电镜图像和样品台全貌图的对应三对点，完成对中，实现样品定位和导航。此装置不改造电镜结构，不受特定样品台限制，不额外占用空间，不需要坐标数据处理系统。即可低成本运行在现有设备上，随时导航和定位样品。尤其擅长解决样品数目过多的情况，节约时间，便捷灵活。便捷灵活。便捷灵活。

A sample positioning and navigation device suitable for the combination of scanning electron microscope and optical camera

【技术实现步骤摘要】
一种适用于扫描电镜与光学相机联用的样品定位导航装置


[0001]本技术属于扫描电镜分析装置
，具体涉及一种适用于扫描电镜与光学相机联用的样品定位导航装置。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜是表征材料形貌信息的大型贵重仪器。为节约测试时间成本和经济成本，通常采用大样品台以承载更多个数的样品。然而，在默认工作距离8mm下，电镜即使在最小放大倍数30倍下，视野也仅约为5mm
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4mm大小，探测不了小样品台全貌，更别说大样品台全貌了。当样品个数较多时(如50个)，显然很难在此小视野范围找到样品。这极大地耽误了测试时间。
[0003]现有技术中，通过获得厂家开发软硬件权限，往往价格高昂且权限不易获得，实施困难。或者需要电镜外置的大的图像采集系统和坐标数据处理系统，同样造价较高、占用空间、实施复杂且需要特定样品台。因此，开发出一套结构紧凑、使用灵活的外置导航定位装置，满足对大数量样品进行扫描电镜的测试，可大大方便本领域的测试过程并节约成本。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的上述缺陷，本技术的目的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于扫描电镜与光学相机联用的样品定位导航装置，其特征在于，包括扫描电镜装置、外置光学成像设备及电脑；扫描电镜装置与外置光学成像设备均与电脑连接，实现数据互通；所述扫描电镜装置由主机及样品交换仓组成，样品交换仓位于主机上，样品交换仓内设置有样品台，所述外置光学成像设备用于采集样品台全貌图像，电脑通过分别采集扫描电镜图像和样品台图像的对应三对点，完成对中，实现样品定位和导航。2.如权利要求1所述的一种适用于扫描电镜与光学相机联用的样品定位导航装置，其特征在于，外置光学成像设备的摄像头与样品台平面平行。3.如权利要求1所述的一种适用于扫描电镜与光学相机联用的样品定位导航装置，其特征在于，所述扫描电镜装置通过数据线与电脑连接。4.如权利要求1所述的一种适用于扫描电镜与光学...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚烨，孙超，胡长城，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：新型
国别省市：