具有擦拭构件的芯片挑拣设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有擦拭构件的芯片挑拣设备，包含：挑拣装置、芯片承载装置以及擦拭构件。挑拣装置具有芯片固定臂。芯片承载装置具有位移平台以及承载部，位移平台以相对于挑拣装置位移的方式与挑拣装置相对应设置，以及承载部装设于位移平台而随着位移平台位移。擦拭构件具有清洁件，且擦拭构件设置于芯片承载装置的位移平台并且与承载部一同随着位移平台位移。平台位移。平台位移。

Chip picking device with wiping components

【技术实现步骤摘要】
具有擦拭构件的芯片挑拣设备


[0001]本技术涉及一种芯片挑拣设备，具体是指一种具有擦拭构件的芯片挑拣设备。

技术介绍

[0002]芯片移载作业，为通过芯片挑拣机自晶圆载台上挑拣芯片、且将所挑拣的芯片移载至芯片载台上放置。在实际作业过程中，芯片挑拣机的芯片固定部吸附芯片时也会吸附到微细颗粒，使得芯片固定部无法吸附芯片，且也无法精确地将芯片定位。
[0003]针对上述的技术问题，现有的解决方案是由现场工作人员定时擦拭芯片挑拣机的芯片固定部，以除去芯片固定部所吸附到的微细颗粒。然而，由现场工作人员以人工的方式执行芯片固定部的清洁工作，不仅耗费作业时间，同时也有芯片固定部上的微细颗粒是否彻底清洁的疑虑。

技术实现思路

[0004]因此，本技术的目的即在提供一种芯片挑拣设备，可并提升芯片固定部的清洁作业的效率。
[0005]本技术为解决现有技术的问题所采用的技术手段为提供一种具有擦拭构件的芯片挑拣设备，包含：挑拣装置，具有芯片固定臂，用于固定芯片；芯片承载装置，具有位移平台以及用以承载该芯片的承载部，该位移平台以相对于该挑拣本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有擦拭构件的芯片挑拣设备，其特征在于，包含：挑拣装置，具有芯片固定臂，用于固定芯片；芯片承载装置，具有位移平台以及用以承载所述的芯片的承载部，所述的位移平台以相对于所述的挑拣装置而位移的方式与所述的挑拣装置相对应设置，所述的承载部装设于所述的位移平台而随着所述的位移平台位移；以及擦拭构件，具有清洁件，所述的擦拭构件设置于所述的芯片承载装置的所述的位移平台并且与所述的承载部一同随着所述的位移平台位移，其中通过所述的位移平台在朝向所述的芯片固定臂的芯片固定部的操作平面上相对于所述的芯片固定臂而朝向所述的芯片固定部垂直位移，使所述的承载部所承载的所述的芯片对应地由所述的芯片固定臂的所述的芯片固定部所固定，以及通过所述的位移平台在所述的操作平面上相对于所述的芯片固定臂水平位移，使所述的擦拭构件对应于所述的芯片固定臂的所述的芯片固定部，且通过所述的位移平台在所述的操作平面上相对于所述的芯片固定臂而朝向所述的芯片固定臂垂直位移，使所述的擦拭构件的所述的清洁件与所述的芯片固定臂的所述的芯片固定部相接触，并且通过使所述的位移平台在所述的清洁件与所述的芯片固定部相接触的状态下相对位移，使所述的清洁件对所述的芯片固定部进行擦拭清洁动作，以拭除所述的芯片固定部在固定所述的芯片的过程所粘附的颗粒。2.根据权利要求1所述的具有擦拭构件的芯片挑拣设备，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢彦豪，
申请(专利权)人：梭特科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：