晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备制造方法及图纸

本申请公开了一种晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备，方法包括：获取配置文件，配置文件中记录有站点标识、从站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；确定晶圆的传输场景，传输场景包括至少一个传输步骤、每个传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；基于配置文件和传输场景，确定每个传输步骤中目标站点所使用的目标手指，目标手指为目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；通过与目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。本实施例实现了对传输晶圆的手指的选择。本实施例实现了对传输晶圆的手指的选择。本实施例实现了对传输晶圆的手指的选择。

【技术实现步骤摘要】
晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备


[0001]本申请属于半导体制造
，具体涉及一种晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备。

技术介绍

[0002]半导体工艺设备控制系统中，机械手是最关键的部分之一，其承担在各站点间传输晶圆的任务。现有调度方法的使用场景是机械手的两个手指材质相同，即使用的是两种一样的机械手指，因此对每一个站点进行取、放晶圆时每个手指均可以使用。使用哪个手指的判断依据是选取离目标站点近的手指，或者按照默认顺序，例如优先使用手指1，再使用手指2。
[0003]但是由于不同设备工艺腔室的差异，在从站点取出晶圆，或者向站点放置晶圆时，对所使用机械手手指的材质有特殊要求，因而需要指定用哪个手指执行取放晶圆动作；或者在特殊场景下，双手指机械手其中的一个手指损坏，在不能及时检修的情况下，需要用剩余的正常手指完成传输晶圆操作。
[0004]可见，当由于机械手指材质等原因，机械手对站点进行取、放晶圆必须使用指定的手指时，现有调度方法无法满足使用需求。

技术实现思路

[0005]本申请实施例提供一种晶圆的传输方法、装置及半导体工艺设备，以解决现有的晶圆调度方式不能对站点所使用手指进行选择的问题。
[0006]第一方面，本申请实施例提供了一种晶圆的传输方法，应用于半导体工艺设备中，包括：
[0007]获取预先设置的配置文件，其中所述配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；
[0008]确定晶圆的传输场景，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；
[0009]基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；
[0010]针对所述目标站点，通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。
[0011]第二方面，本申请实施例另提供了一种晶圆的传输装置，应用于半导体工艺设备中，包括：
[0012]获取模块，用于获取预先设置的配置文件，其中所述配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使
用的第二手指集合；
[0013]第一确定模块，用于确定晶圆的传输场景，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；
[0014]第二确定模块，用于基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；
[0015]传输模块，用于针对所述目标站点，通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。
[0016]第三方面，本申请实施例提供了一种半导体工艺设备，包括：控制器、机械手、多个站点，其中，所述机械手包括至少一个手指；
[0017]所述控制器，用于获取预先设置的配置文件，其中所述配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；确定晶圆的传输场景，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；针对所述目标站点，通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。
[0018]第四方面，本申请实施例提供了一种电子设备，该电子设备包括处理器、存储器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的程序或指令，所述程序或指令被所述处理器执行时实现如第一方面所述的方法的步骤。
[0019]第五方面，本申请实施例提供了一种可读存储介质，所述可读存储介质上存储程序或指令，所述程序或指令被处理器执行时实现如第一方面所述的方法的步骤。
[0020]本申请实施例通过获取预先设置的配置文件，其中配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合，然后确定晶圆的传输场景，传输场景包括至少一个传输步骤、每个传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，基于配置文件和传输场景确定每个传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中目标手指为目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指，针对所述目标站点通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输；实现了能够设定机械手在各站点间传输晶圆时所使用的手指，解决了现有的晶圆调度方式不能对站点所使用手指进行选择的问题，使得能够满足多种使用场景；此外，通过设置配置文件，实现了对站点的操作手指进行统一动态管理，使得在修改每个站点传输晶圆所能够使用的机械手指时不需要更改代码，方便了用户管理操作。
附图说明
[0021]图1是本申请实施例中晶圆的传输方法的流程示意图；
[0022]图2是本申请实施例中配置文件结构的示意图；
[0023]图3是本申请实施例中晶圆在设备中的一种传输路径的示意图；
[0024]图4是本申请实施例中第一传输场景的晶圆传输过程示意图；
[0025]图5是本申请实施例中第二传输场景的晶圆传输过程示意图；
[0026]图6是本申请实施例中第二传输场景的处理流程示意图；
[0027]图7是本申请实施例中第三传输场景的晶圆传输过程示意图；
[0028]图8是本申请实施例中第三传输场景的处理流程示意图；
[0029]图9是本申请实施例中第四传输场景的晶圆传输过程示意图；
[0030]图10是本申请实施例中第四传输场景的处理流程示意图；
[0031]图11是本申请实施例提供的晶圆的传输装置的结构示意图；
[0032]图12是本申请实施例提供的半导体工艺设备的结构示意图；
[0033]图13是本申请实施例提供的电子设备的结构示意图。
具体实施方式
[0034]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0035]本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆的传输方法，应用于半导体工艺设备中，其特征在于，包括：获取预先设置的配置文件，其中所述配置文件中记录有站点的站点标识、从所述站点拾取晶圆所能够使用的第一手指集合和向所述站点放置晶圆所能够使用的第二手指集合；确定晶圆的传输场景，所述传输场景包括至少一个传输步骤、每个所述传输步骤所对应的目标站点的第一当前状态以及机械手的手指的第二当前状态，所述第一当前状态和第二当前状态均包括持有晶圆状态或未持有晶圆状态；基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，其中所述目标手指为所述目标站点所对应的第一手指集合或第二手指集合中的手指；针对所述目标站点，通过与所述目标站点对应的目标手指进行晶圆传输。2.根据权利要求1所述的传输方法，其特征在于，所述传输场景包括下述第一传输场景、第二传输场景、第三传输场景和第四传输场景中的至少一种；其中，所述第一传输场景包括：将机械手上的晶圆放置在第一目标站点的第一传输步骤，所述机械手的至少一个手指为持有晶圆状态，所述第一目标站点为未持有晶圆状态；所述第二传输场景包括：从第二目标站点拾取晶圆的第二传输步骤、向所述第二目标站点放置晶圆的第三传输步骤，所述机械手的部分手指为持有晶圆状态以及剩余部分手指为未持有晶圆状态，在所述第二传输步骤中所述第二目标站点为持有晶圆状态；所述第三传输场景包括：从第三目标站点拾取晶圆的第四传输步骤、从第四目标站点拾取晶圆的第五传输步骤、将从所述第三目标站点拾取的晶圆放置在所述第四目标站点的第六传输步骤，所述机械手的至少两个手指均为未持有晶圆状态，所述第三目标站点和所述第四目标站点均为持有晶圆状态；所述第四传输场景包括：从第五目标站点拾取晶圆的第七步骤、将从第五目标站点拾取的晶圆放置在第六目标站点的第八步骤，所述机械手的至少一个手指为未持有晶圆状态，所述第五目标站点为持有晶圆状态，所述第六目标站点为未持有晶圆状态。3.根据权利要求2所述的传输方法，其特征在于，若所述传输场景为所述第一传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：基于所述配置文件，检测持有晶圆的所述至少一个手指中是否存在属于所述第一目标站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为将晶圆放置在所述第一目标站点时所使用的目标手指。4.根据权利要求2所述的传输方法，其特征在于，若所述传输场景为所述第二传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：基于所述配置文件，检测持有晶圆的所述部分手指中是否存在属于所述第二目标站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为向所述第二目标站点放置晶圆的目标手指，并基于所述配置文件获取所述第二目标站点所对应的第一手指集合；检测未持有晶圆的所述剩余部分手指中是否存在属于所述第二目标站点所对应的第
一手指集合且属于所述第二目标站点的下一站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为从所述第二目标站点拾取晶圆的目标手指。5.根据权利要求2所述的传输方法，其特征在于，若所述传输场景为所述第三传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：获取未持有晶圆的至少两个手指和所述第四目标站点所对应的第一手指集合的第一交集；检测所述第一交集中是否存在属于所述第四目标站点的下一站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为从所述第四目标站点拾取晶圆的目标手指；检测未持有晶圆的至少两个手指的其他手指中是否存在属于所述第三目标站点所对应的第一手指集合且属于所述第四目标站点所对应的第二手指集合的手指；若检测结果为是，则将该手指确定为从第三目标站点拾取晶圆的目标手指，并将该手指确定为将从所述第三目标站点拾取的晶圆放置在所述第四目标站点的目标手指。6.根据权利要求2所述的传输方法，其特征在于，若所述传输场景为所述第四传输场景，所述基于所述配置文件和所述传输场景，确定每个所述传输步骤中目标站点所使用的目标手指，包括：获取未持有晶圆的至少一个手指、所述第五目标站点所对应的第一手指集合和所述第六目标站点所对应的第二手指...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙国峰，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：