超声换能单元及其制备方法技术

本申请公开一种超声换能单元及其制备方法，其中所述超声换能单元包括：基底；设置在基底上的第一电极；设置在第一电极上的绝缘层；设置在绝缘层上的振膜层,其中所述振膜层和所述绝缘层之间形成有封闭空腔；以及设置在振膜层上的第二电极；其中，所述振膜层的材料为光刻胶。本公开的超声换能单元采用光刻胶作为绝缘层和/或振膜层的材料，可以获得性能更加好的超声换能单元。的超声换能单元。的超声换能单元。的超声换能单元。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：花慧，李延钊，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：