彩色滤光基板的形成方法和加热装置制造方法及图纸

一种彩色滤光基板的形成方法和一种加热装置，其中彩色滤光基板的形成方法包括：提供基板，所述基板包括相对的第一面和第二面；在所述第一面上形成初始光阻层；对所述初始光阻层进行曝光工艺；所述曝光工艺之后，对所述初始光阻层进行第一处理，且所述第一处理具有第一温度；所述第一处理之后，对所述初始光阻层进行显影，去除部分所述初始光阻层；所述显影工艺之后，对所述初始光层进行第二处理，使所述初始光阻层固化形成光阻层，所述第二处理具有第二温度，且所述第二温度大于所述第一温度。所述方法能够减少甚至避免由曝光时接触点引起的色不均问题。引起的色不均问题。引起的色不均问题。

【技术实现步骤摘要】
彩色滤光基板的形成方法和加热装置


[0001]本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种彩色滤光基板的形成方法和一种加热装置。

技术介绍

[0002]液晶显示基板以其高显示品质、价格低廉、携带方便等优点，是目前使用最广泛的一种平板显示器，其已经逐渐成为各种电子设备如移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕所广泛应用具有高分辨率彩色屏幕的显示器。
[0003]现有市场上的液晶显示面板大部分为背光型液晶显示面板，其包括液晶显示基板及背光模组(backlight module)。通常液晶显示基板由彩膜基板(Color Filter，CF)、薄膜晶体管彩色滤光基板(Thin Film Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)、以及配置于两基板间的液晶层(Liquid Crystal Layer)所构成。光刻技术广泛应用于显示面板行业中，随着科技发展，大尺寸玻璃基板对光刻机技术要求越来越高，关系到显示面板成品画质的优劣。
[0004]然而，现有曝光过程中由曝本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种彩色滤光基板的形成方法，其特征在于，包括：提供基板，所述基板包括相对的第一面和第二面；在所述第一面上形成初始光阻层；对所述初始光阻层进行曝光工艺；所述曝光工艺之后，对所述初始光阻层进行第一处理，且所述第一处理具有第一温度；所述第一处理之后，对所述初始光阻层进行显影，去除部分所述初始光阻层；所述显影工艺之后，对所述初始光层进行第二处理，使所述初始光阻层固化形成光阻层，所述第二处理具有第二温度，且所述第二温度大于所述第一温度。2.如权利要求1所述的彩色滤光基板的形成方法，其特征在于，所述初始光阻层包括若干接触区和若干非接触区，所述接触区位于相邻非接触区之间；所述第一处理对所述接触区进行加热。3.如权利要求2所述的彩色滤光基板的形成方法，其特征在于，所述接触区的形状为正多边形。4.如权利要求3所述的彩色滤光基板的形成方法，其特征在于，所述正多边形为正八边形。5.如权利要求1所述的彩色滤光基板的形成方法，其特征在于，所述第一温度的范围为90摄氏度至110摄氏度。6.如权利要求1所述的彩色滤光基板的形成方法，其特征在于，所述第二温度的范围为220摄氏度至250摄氏度。7.如权利要求1所述的彩色滤光基板的形成方法，其特征在于，所述第一处理的处理时间范围为2秒...

【专利技术属性】
技术研发人员：李欣，张莉，陈建良，范刚洪，徐广军，
申请(专利权)人：上海仪电显示材料有限公司，
类型：发明
国别省市：