一种用于静电压检测的温湿度、时间、气压补偿方法技术

一种用于静电压检测的温湿度、时间、气压补偿方法，属静电检测领域。包括：)输出一标准静电压值；测试不同环境参数值及时间点上静电传感器输出的静电压测试值；依据标准静电压值和静电压测试值推导换算系数；拟合换算系数与测试环境参数及时间的数据关系；得到针对各自环境参数及时间的换算系数数学模型；将上述针对环境和时间的换算系数公式进行加权求和运算，得到最终的综合换算系数；将综合换算系数导入静电压值算法公式，即可得到含有环境和时间因素的综合补偿静电压值算法公式，计算得出最终的静电检测值。其采用各个环境影响因素的加权补偿，可实现静电传感器温度、湿度、气压、时间漂移的有效补偿，保证了静电压检测结果的稳定、准确。准确。准确。

【技术实现步骤摘要】
一种用于静电压检测的温湿度、时间、气压补偿方法


[0001]本专利技术属于静电检测数据处理领域，尤其涉及一种用于静电压检测的温湿度、时间、气压补偿方法。

技术介绍

[0002]静电压检测/传感器(亦称静电压检测装置)是用于检测其周围带电物体的电场信息的仪器，被广泛地应用于光电、半导体、液晶显示、薄膜等工业生产领域，为提高生产效率和产品品质发挥了非常重要的作用。
[0003]随着集成电路技术的快速发展，静电检测/传感器上使用的半导体芯片越来越多，为检测精度、检测速度等性能参数的提升提供了强有力的电路基础。然而，由于半导体芯片对温湿度、气压的敏感性，在产品的实际应用过程中，会因为各种复杂的使用环境，如处于不同温度、湿度、气压环境时会出现检测稳定性差，检测数值漂移的问题，给产品的适用场景带来限制。
[0004]在应对产品使用环境变化对检测带来的影响这一课题的研究上，目前仅在传感器温度漂移补偿方法方面有过研究，例如通过对静电检测信号的差分运算，建立数学补偿模型，进行算法/软件补偿。
[0005]从静电检测原理上讲，非接触式静电压本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于静电压检测的温湿度、时间、气压补偿方法，其特征是包括下列步骤：1)输出一标准静电压值；2)测试不同环境参数值及时间点上静电传感器输出的静电压测试值；3)依据标准静电压值和静电压测试值推导换算系数；4)拟合换算系数与测试环境参数及时间的数据关系；5)得到针对各自环境参数及时间的换算系数数学模型；6)将上述针对环境和时间的换算系数公式进行加权求和运算，得到最终的综合换算系数；7)将综合换算系数导入静电压值算法公式，即可得到含有环境和时间因素的综合补偿静电压值算法公式，计算得出最终的静电检测值。2.按照权利要求1所述的用于静电压检测的温湿度、时间、气压补偿方法，其特征是所述的输出一标准静电压值，包括对一个金属电极施加一个标准静电压值。3.按照权利要求1所述的用于静电压检测的温湿度、时间、气压补偿方法，其特征是所述的不同环境参数值至少包括温湿度参数、时间参数和/或气压参数。4.按照权利要求1所述的用于静电压检测的温湿度、时间、气压补偿方法，其特征是所述的金属电极与待测带静电物体的表面积相同或成比例。5.按照权利要求1所述的用于静电压检测的温湿度、时间、气压补偿方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙卫星，李鹏，杨庆瑞，罗先军，
申请(专利权)人：上海安平静电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：