【技术实现步骤摘要】
一种应用于大口径光学元件洁净的便携式洁净装置
[0001]本技术属于光学元件洁净设备
,具体地说涉及一种应用于大口径光学元件洁净的便携式洁净装置。
技术介绍
[0002]高功率固体激光装置中,光学元件不仅数量多、种类杂,而且对光学元件表面的洁净程度要求很高,尤其在高通量下,光学元件表面洁净程度在一定程度制约着负载能量的提升。每当激光装置主发射后,激光装置环境中会出现大量的污染物,为了保障光学元件表面无污染,目前国内外的激光装置大多采用洁净风刀吹扫技术、洁净气体层流置换技术等来保持光学元件周围环境的洁净。然而,以上措施并不能将肉眼不可见的污染颗粒全部去除,仍会有少量的污染物通过沉降、吸附等形式到达光学元件表面。
[0003]为了避免被污染的光学元件在高通量发次中出现损伤,必须在发射前将光学元件进行洁净处理。目前,大多采用洁净布擦拭方法,利用机械力剥离光学元件表面的污染物。但是,如果污染颗粒较大会划伤光学元件表面,洁净人员在用力不均匀和擦拭速度不匀速都会导致擦拭痕迹遗留在光学元件表面,同时,洁净布的洁净程度也会给光 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于大口径光学元件洁净的便携式洁净装置,其特征在于,包括手柄,所述手柄上设有风刀板和静电吸尘板,所述风刀板与用于存储洁净气体的储气袋连通,且风刀板的风口对应静电吸尘板设置,以吹扫静电吸尘板表面的污染物。2.根据权利要求1所述的应用于大口径光学元件洁净的便携式洁净装置,其特征在于,所述静电吸尘板通过螺杆与手柄连接,且螺杆通过锁紧螺母锁定。3.根据权利要求2所述的应用于大口径光学元件洁净的便携式洁净装置,其特征在于,所述静电吸尘板的阳极板采用304不锈钢制成。4.根据权利要求1所述的应用于大口径光学元件洁净的便携...
【专利技术属性】
技术研发人员:熊迁,李志军,李森,宗兆玉,赵军普,周维,梁樾,赵博望,钟伟,靳赛,黄小霞,郭怀文,
申请(专利权)人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心,
类型:新型
国别省市:
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