准分子激光器预电离管的定位工装及安装方法技术

本发明专利技术涉及准分子激光器预电离管的定位工装及安装方法，所述定位工装具有基座和向上延伸自所述基座的台阶件，所述基座具有基座侧面，所述台阶件具有突出于所述基座顶部的突出部分，且所述台阶件具有第一侧面和与所述第一侧面相对的第二侧面，所述第二侧面延伸形成有至少两定位件，各所述定位件由圆柱体和一体延伸形成于所述圆柱体之上的矩形定位条构成，所述定位工装适于设置在准分子激光器的阳极基座的台阶端面上，能够精确地保持所述预电离管的末端端面与所述台阶端面之间的距离；并能够限制所述预电离管的轴向运动和径向运动，使得所述预电离管能够快速准确地定位，确保所述预电离管的装配质量。电离管的装配质量。电离管的装配质量。

【技术实现步骤摘要】
准分子激光器预电离管的定位工装及安装方法


[0001]本专利技术涉及准分子激光器
，特别是涉及一种准分子激光器预电离管的定位工装及安装方法。

技术介绍

[0002]在准分子激光器装配过程中，涉及到阳极组件中的预电离管的定位问题，传统的预电离管定位方法是通过手工和借助某个物料的平面间接进行预电离管的预定位，之后再通过顶丝穿过阳极底座上的通孔顶紧预电离管，以进行预电离管的锁定定位。由于预电离管的外表面为光滑的圆柱面，在定位过程中，预电离管容易发生转动，从而出现预电离管两端豁口不朝上的情况。预电离管定位不准确会影响后续相关零部件的安装，因此为了实现预电离管的准确定位，需要对预电离管进行多次拆卸和固定以调整预电离管的位置。这样的方式既需要耗费大量的时间和精力，而且也容易对预电离管造成损伤。

技术实现思路

[0003]基于此，本专利技术的一目的是，提供一种准分子激光器预电离管的定位工装及安装方法，所述定位工装结构简单且使用方便，可以快速准确地对预电离管进行定位，以简化所述预电离管的安装步骤和缩短安装时间，并能够确保所述预电离管的装配质量。
[0004]一种准分子激光器预电离管的定位工装，所述定位工装具有基座和向上延伸自所述基座的台阶件，所述基座具有基座侧面，所述基座侧面设置于所述基座的靠近于所述台阶件的一侧，所述台阶件具有突出于所述基座顶部的突出部分，且所述台阶件具有第一侧面和与所述第一侧面相对的第二侧面，所述第二侧面位于所述台阶件的远离于所述基座的一侧，所述第二侧面延伸形成有至少两定位件，各所述定位件由圆柱体和一体延伸形成于所述圆柱体之上的定位块构成，所述定位工装适于设置在准分子激光器的阳极基座的台阶结构上，能够形成所述基座的所述基座侧面与所述阳极基座的所述台阶端面相抵撑且所述台阶件的所述第二侧面与准分子激光器的预电离管的末端端面相抵撑的状态，以使得所述预电离管的末端端面与所述台阶端面之间的距离等于所述第二侧面至所述基座侧面的距离；并能够形成所述圆柱体插入于预电离管且所述定位块位于所述预电离管的豁口的状态，以限制所述预电离管的转动运动。
[0005]在本专利技术的一实施例中，所述第二侧面与所述基座侧面之间的距离设置为0.5mm。
[0006]在本专利技术的一实施例中，所述定位块为四方体结构。
[0007]在本专利技术的一实施例中，所述定位工装还具有加强筋，所述加强筋一体连接所述基座和所述台阶件，用于支撑所述台阶件，所述基座还设置有减重孔。
[0008]在本专利技术的一实施例中，所述定位工装为一体成型的塑料件。
[0009]本专利技术在另一方面还提供了一种准分子激光器预电离管的安装方法，包括以下步骤：
[0010]S1、将预电离管设置于准分子激光器的阳极基座；
[0011]S2、分别于所述阳极基座的两端，各放置一定位工装，使所述定位工装的基座侧面抵撑于所述阳极基座的台阶端面且所述定位工装的第二侧面抵撑于所述预电离管的末端端面，并使得所述定位工装的圆柱体插入所述预电离管中且所述定位工装的定位块位于所述预电离管的豁口时，形成所述预电离管被定位于两个所述定位工装之间的状态；以及
[0012]S3、通过多个锁定件将所述预电离管和所述阳极基座锁紧固定。
[0013]在本专利技术的一实施例中，所述步骤S3进一步包括步骤：
[0014]S31、以自所述阳极基座的中间向两边的顺序，通过多个所述锁定件分别于所述阳极基座的对应通孔内逐一将所述预电离管和所述阳极基座初步固定；和
[0015]S32、在初步固定之后，再逐一将所述锁定件拧紧，完成所述预电离管和所述阳极基座的最终固定。
[0016]在本专利技术的一实施例中，所述准分子激光器的预电离管安装方法进一步包括步骤：S4、拆下所述定位工装，确认所述预电离管无相对移动时，完成所述预电离管的装配。
[0017]在本专利技术的一实施例中，在所述步骤S2中，所述预电离管两端的末端端面和对应的所述台阶端面之间的距离被对应的所述定位工装保持在0.5mm。
[0018]在本专利技术的一实施例中，所述步骤S1进一步包括以下步骤：
[0019]S11、将两个阳极陶瓷片分别装配于阳极主电极的两侧，从而各所述阳极陶瓷片与所述阳极主电极之间形成有装配区域；
[0020]S12、将所述阳极陶瓷片和所述阳极主电极组装后的整体结构放置在所述阳极基座内，通过螺钉将所述阳极主电极和所述阳极基座固定连接；以及
[0021]S13、将所述预电离管平稳插入对应的所述阳极主电极和所述阳极陶瓷片组装形成的所述装配区域内。
[0022]本专利技术的所述定位工装能够实现的有益技术效果为：所述定位工装在用于预电离管的装配时，能够使得所述预电离管的末端端面和所述阳极基座的台阶端面之间的距离被精准地保持在0.5mm，而且所述定位工装的所述定位块能够防止所述预电离管产生转动，确保所述预电离管的豁口朝上，从而实现对所述预电离管的快速、准确定位，确保所述预电离管的装配质量。同时也避免了现有技术中因预电离管定位不准而需要多次拆装对预电离管造成的损伤，有效地保护预电离管。另外，所述定位工装为一体成型的塑料件，结构简单，轻便小巧，便于操作。可以理解的是，本专利技术在另一方面还提供了一种安装速度快、操作简单且装配质量好的准分子激光器预电离管的安装方法。
[0023]通过对随后的描述和附图的理解，本专利技术进一步的目的和优势将得以充分体现。
附图说明
[0024]图1为根据本专利技术的一优选实施例的所述定位工装的立体结构示意图。
[0025]图2为根据本专利技术的上述优选实施例的所述定位工装用于装配预电离管的使用示意图。
[0026]图3为根据本专利技术的上述优选实施例的准分子激光器阳极组件的立体结构示意图。
[0027]图4为根据本专利技术的上述优选实施例的所述准分子激光器阳极组件的部分结构示意图。
[0028]图5为根据本专利技术的上述优选实施例的所述准分子激光器阳极组件的部分结构示意图。
[0029]图6为根据本专利技术的上述优选实施例的所述准分子激光器预电离管的安装方法的流程框图。
[0030]附图标号说明：定位工装10；基座11；基座侧面111；减重孔110；台阶件12；突出部分121；第一侧面122；第二侧面123；定位件124；圆柱体1241；定位块1242；加强筋13；准分子激光器阳极组件20；阳极基座21；台阶结构211；台阶端面212；通孔210；阳极主电极22；预电离管23；豁口231；锁定件24；阳极陶瓷片25。
具体实施方式
[0031]以下描述用于揭露本专利技术以使本领域技术人员能够实现本专利技术。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本专利技术的基本原理可以应用于其他实施方案、形变方案、改进方案、等同方案以及没有背离本专利技术的精神和范围的其他技术方案。
[0032]本领域技术人员应理解的是，在本专利技术的揭露中，术语“竖向”、“横向”、“上”、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.准分子激光器预电离管的定位工装(10)，其特征在于，所述定位工装(10)具有基座(11)和向上延伸自所述基座(11)的台阶件(12)，所述基座(11)具有基座侧面(111)，所述基座侧面(111)设置于所述基座(11)的靠近于所述台阶件(12)的一侧，所述台阶件(12)具有突出于所述基座(11)顶部的突出部分，且所述台阶件(12)具有第一侧面(122)和与所述第一侧面(122)相对的第二侧面(123)，所述第二侧面(123)位于所述台阶件(12)的远离于所述基座(11)的一侧，所述第二侧面(123)延伸形成有至少两定位件(124)，各所述定位件(124)由圆柱体(1241)和一体延伸形成于所述圆柱体(1241)之上的定位块(1242)构成。2.根据权利要求1所述的准分子激光器预电离管的定位工装(10)，其特征在于，所述第二侧面(123)与所述基座侧面(111)之间的距离设置为0.5mm。3.根据权利要求1所述的准分子激光器预电离管的定位工装(10)，其特征在于，所述定位块(1242)为四方体结构。4.根据权利要求1所述的准分子激光器预电离管的定位工装(10)，其特征在于，所述定位工装(10)还具有加强筋(13)，所述加强筋(13)一体连接所述基座(11)和所述台阶件(12)，用于支撑所述台阶件(12)，所述基座(11)还设置有减重孔(110)。5.根据权利要求1所述的准分子激光器预电离管的定位工装(10)，其特征在于，所述定位工装(10)为一体成型的塑料件。6.准分子激光器预电离管的安装方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将预电离管(23)设置于准分子激光器的阳极基座(21)；S2、分别于所述阳极基座(21)的两端，各放置一如权利要求1至5中任一所述的定位工装(10)，使所述定位工装(10)的基座侧面(111)抵撑于所述阳极基座(21)的台阶端面(212)且所述定位工装(10)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张寅虎，陈文斌，刘斌，刘广义，徐向宇，江锐，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：