极紫外光设备与其运作方法技术

一种极紫外光设备与其运作方法，极紫外光设备包括腔室、极紫外光源以及自由基源。极紫外光源设置向腔室内发射出极紫外光束。自由基源位于腔室内并邻近于极紫外光束通过的路径上。自由基源设置以向路径发射多个自由基。自由基源设置以向路径发射多个自由基。自由基源设置以向路径发射多个自由基。

【技术实现步骤摘要】
极紫外光设备与其运作方法


[0001]本揭露的一些实施方式有关于极紫外光设备与其运作方法。

技术介绍

[0002]近年来，半导体集成电路(IC)快速发展，无论是制造IC所使用的材料，或是IC设计，再经历数代的发展后，都有长足的进步。其中，根据摩尔定律(Moore
’
s Law)，各代相较于前代，应会具有更小且更为复杂的电路。在IC发展的过程中，这对应到，每一个IC的功能密度(意即，单位晶片面积的互连元件的数目)会显著增加，而几何大小(意即，于制造制程中，产生的最小部件或接线的尺寸或长度，例如特征长度)已缩小。在功能密度增加且几何大小缩小，通常因增加生产的效率，且能降低相关成本，从而提供益处。整体尺寸的缩小，也增加了IC处理及IC制造的复杂性。为此，发展了更高解析度的微影制程，已因应日益缩小的几何尺寸。举例而言，微影技术包括极紫外光微影(Extreme ultraviolet lithography,EUVL)技术。

技术实现思路

[0003]根据本揭露的一些实施方式，一种极紫外光设备包括腔室、极紫外光源以及自由本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种极紫外光设备，其特征在于，包括：一腔室；一极紫外光源，向该腔室内发射出一极紫外光束；以及一第一自由基源，位于该腔室内并邻近于该极紫外光束通过的一路径上，其中该自由基源设置以向该路径发射多个自由基。2.根据权利要求1所述的极紫外光设备，其特征在于，进一步包括：一反射镜，位于该腔室内且包括一反射面，其中该反射镜设置于该极紫外光束的该路径上，以通过该反射面反射该极紫外光束，该第一自由基源邻近于该反射镜并设置以向该反射镜的该反射面发射所述多个自由基。3.根据权利要求2所述的极紫外光设备，其特征在于，进一步包括一压电材料，其中该压电材料设置于该反射镜相对于该反射面的一背面上。4.根据权利要求1所述的极紫外光设备，其特征在于，进一步包括：一遮罩，设置于该路径的顶端，以反射该极紫外光束；以及一第二自由基源，设置以朝向该遮罩发射多个自由基。5.一种极紫外光设备的运作方法，其特征在于，包括：通过一极紫外光源发射一极紫外光束；通过一反射镜的一反射面反射该极紫外光束；以及通过一自由基源向该反射...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏彦硕，谢佳颖，陈彦勳，叶承翰，张汉龙，傅中其，刘恒信，陈立锐，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：