一种奥氏体不锈钢及其制备和加工方法技术

本发明专利技术公开了一种奥氏体不锈钢及其制备和加工方法，该奥氏体不锈钢由质量分数分别为0.03

【技术实现步骤摘要】
一种奥氏体不锈钢及其制备和加工方法


[0001]本专利技术属于新材料领域，具体涉及一种奥氏体不锈钢及其制备和加工方法，该奥氏体不锈钢可用于半导体制造领域。

技术介绍

[0002]在半导体、集成电路制造等领域，输送超纯介质及刻蚀有关的有毒气体需要具有高度组织稳定性、耐腐蚀、电解抛光加工性优异的不锈钢材料，包括管、棒。根据其纯度等级，分为一般、高纯度和超纯度等级。随着对先进半导体制程要求的不断提高，气体纯度要求和刻蚀用气体腐蚀性的加强，要求应用于该领域的不锈钢材料具有超细晶组织，超低S含量、低Cu含量等。目前超纯度等级不锈钢材料主要从美国、日本、德国和法国进口，材料牌号为316L。制备超纯度等级的不锈钢材料难度极大，超纯度等级的不锈钢主要用于超高纯电子特殊气体管道系统及高毒性的刻蚀气体管道系统，只有采用内在极为纯净的不锈钢管道输送，才能避免焊接时烟气颗粒现象的发生，降低夹杂物、硫等导致的管道腐蚀性破坏风险。
[0003]除此之外，高级半导体制造领域使用的不锈钢管阀等部件还需要极为优异的表面质量，以便保证后续的电解抛光能经济快捷地获得良好的表本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种奥氏体不锈钢，其特征在于由质量分数分别为0.03
‑
0.045wt%的碳、16
‑
18wt%的铬、10
‑
15wt%的镍、0.15
‑
0.35wt%的钨、0.1
‑
0.3wt%的铌、2
‑
3wt%的钼、0
‑
0.1wt%的铜、0
‑
0.001wt%的氮、0
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1wt%的锰、0
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0.3wt%的硅、0
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0.001wt%的硫和余量的铁组成。2.根据权利要求1所述的奥氏体不锈钢，其特征在于所述不锈钢的晶粒度为8级
‑
12级，粗细夹杂物A类、B类和C类含量均为零。3.一种制备如权利要求1或2所述的奥氏体不锈钢的方法，其特征在于包括以下步骤：步骤1：将镍铁和工业纯铁按质量比为镍：铁=1：5的比例通过非真空感应炉熔炼或真空快速熔炼并浇铸成第一电极，再经电渣重熔预提纯，使得第一电极中硫含量低于10ppm，第一电极冷却后对其进行抛丸处理；步骤2：真空感应熔炼，先在坩埚底部铺设第一电极0.03
‑
0.045wt%的碳粉，后将步骤1得到的第一电极经表面清理后放在炉内熔化，待溶清后精炼30
‑
40min，加入第一电极16
‑
18wt%的铬、0.15
‑
0.35wt%的钨、0.10

【专利技术属性】
技术研发人员：沈海军，张思允，姜峰，王建伟，王国栋，王资兴，李乡亮，
申请(专利权)人：上海求坤新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：