【技术实现步骤摘要】
转轮的隔间密封装置
[0001]本技术涉及一种转轮的隔间密封装置，特别涉及一种具有能进行高温脱附的效果，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的转轮装置或是类似设备。
技术介绍
[0002]现有在半导体产业、光电产业或化学相关产业中所使用的转轮装置大部份都设有两个隔间区域或是三个隔间区域，而不管是两个隔间区域或是三个隔间区域的设计，其中一个隔间区域必是用来进行脱附使用，且用来进行脱附使用的温度大都是介于正常的180℃至220℃之间。
[0003]而转轮装置在使用一段时间后，常有高沸点物质不易脱附而残留于转轮上，使得转轮的使用效能降低，因此，就需要提高脱附的温度来达到将高沸点物质进行脱除。
[0004]但是，现用的转轮装置的隔间区域的密封结构设计无法耐受超过240℃以上的温度，尤其是如果该隔间区域的脱附温度要提升到240℃至300℃之间的话，该隔间区域内的密封结构就容易出现毁损或是破损，使得无法进行高温脱附。
[0005]因此，有鉴于上述缺失，希望能提出一种具有能进行高温脱附效果的转轮的隔间密封装置...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种转轮的隔间密封装置，其特征在于，其包括：转轮装置，该转轮装置由框体及转轮所组成，该转轮设于该框体内，该框体设有两面，该框体的一面设有脱附区进入隔间，该框体的另一面设有脱附区脱出隔间；以及两个隔间密封装置，该两个隔间密封装置分别装设于该框体一面的脱附区进入隔间内及该框体另一面的脱附区脱出隔间内，该隔间密封装置由轮面隔间密封结构及周边隔间密封结构所组合而成，该轮面隔间密封结构及该周边隔间密封结构各自分为多段，而每段轮面隔间密封结构结合高温轮面密封结构，及每段周边隔间密封结构结合高温周边密封结构。2.根据权利要求1所述的转轮的隔间密封装置，其特征在于，每段轮面隔间密封结构进一步由壳板、第一夹固板、第一固定板、第二夹固板、第二固定板、第二固定框、轮面橡胶体、第二贴板、至少两个第一夹固螺件及至少两个第二夹固螺件所组成，该第一固定板及第一夹固板设于该壳板的一侧，该第一夹固板的一侧压合该第一固定板的一侧，该第一夹固板的另一侧弯折抵靠于该壳板的一侧上，该第一夹固螺件穿设过第一夹固板与壳板的一侧，以进行锁合固定，该第二固定板及第二夹固板设于该壳板的另一侧，该第二夹固板的一侧压合该第二固定板的一侧，该第二夹固板的另一侧弯折抵靠于该壳板的另一侧上，该第二夹固螺件穿设过第二夹固板与壳板的另一侧，以进行锁合固定，该第二固定框由该轮面橡胶体包覆其三面，该第二固定框一侧的轮面橡胶体贴附于该第二固定板上，该第二固定框另一侧的轮面橡胶体贴附于该第二贴板上。3.根据权利要求1所述的转轮的隔间密封装置，其特征在于，该高温轮面密封结构进一步由第一板体、第一固定框、第一片体、第二片体及至少两个轮面螺件所组成，该第一片体设于该第一板体与该第一固定框之间，该第二片体设于该第一固定框的另一侧，该螺件分别穿设该第一板体、第一片体、第一固定框及第二片体，以进行锁合固定。4.根据权利要求3所述的转轮的隔间密封装置，其特征在于，该高温...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑石治，扶亚民，林义洋，
申请(专利权)人：华懋科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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