本实用新型专利技术涉及一种原位液体扫描电镜用窗口芯片及样品室，属于电镜技术领域，包括中部开设有观察孔的芯片本体和设置在观察孔处的窗口薄膜，在窗口薄膜上侧间隔设置若干纳米标记物。本实用新型专利技术通过在窗口薄膜靠近电子束的一侧制作纳米标记物，利于快速有效的电子束聚焦，从而实现了在较为理想的聚焦条件下对窗口下面的样品室中的样品进行观察，解决了由于聚焦不良引起的原位液体扫描电镜清晰度低的问题。问题。问题。
【技术实现步骤摘要】
一种原位液体扫描电镜用窗口芯片及样品室
[0001]本技术属于电镜
，涉及一种原位液体扫描电镜用窗口芯片及样品室。
技术介绍
[0002]原位液体室电子显微镜技术，打破了传统电镜的局限，可以将密封的液体样品放在电镜真空环境中进行实时高分辨观察，有很好的发展前景。相对于透射电镜，扫描电镜设备及测试费用相对便宜，而且电镜真空室里的样品空间大，更有利于与原位液体室实现匹配。然而扫描电镜使用中需要进行较多的电子束聚焦调节，隔着一层窗口薄膜对观察到的样品清晰度有一定影响，特别是当液体中的样品存在运动时，运动导致的图像变化与聚焦不良导致的图像变差不容易区分，有可能明显增加电子束聚焦操作的困难，从而由于聚焦不良影响原位液体扫描电镜分析的清晰度。
[0003]现有技术中有在窗口薄膜上打孔，使液体暴露出来，但这种方法可能带来液体向真空室的蒸发和增加液体样品的不稳定性。窗口薄膜的四个角在一定程度上也可以作为参照物帮助电子束调节，但其可能离感兴趣的样品区域较远，给在聚焦调节后找回样品区域增加难度，同时在找回样品的过程中有可能又出现聚焦变差的现象。也有在窗口薄膜靠近液体一侧制作电极，是用于加热等功能，但不适合原位液体扫描电镜帮助电子束聚焦的应用。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种原位液体扫描电镜用窗口芯片及样品室，以解决由于聚焦不良引起的原位液体扫描电镜清晰度低的问题。
[0005]为达到上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种原位液体扫描电镜用窗口芯片，包括中部开设有观察孔的芯片本体和设置在观察孔处的窗口薄膜，在窗口薄膜上侧间隔设置若干纳米标记物。
[0007]可选地，所述纳米标记物具有明显的形貌和/或分布特征。
[0008]可选地，所述纳米标记物的形状为锥状和/或棒状。
[0009]可选地，所述纳米标记物的形状为球状和/或半球状。
[0010]可选地，所述纳米标记物的颗粒度大小不同。
[0011]可选地，所述窗口薄膜的材质为氮化硅、二氧化硅、多层镀膜窗口或聚合物薄膜。
[0012]可选地，所述纳米标记物通过光刻、物理沉积、电子束诱导沉积或聚焦离子束加工的方法获得。
[0013]可选地，所述纳米标记物为窗口薄膜表面突起的颗粒和/或窗口薄膜表面的纳米凹坑。
[0014]可选地，所述观察孔呈倒锥形，具有大端和小端，窗口薄膜设置在观察孔的小端，纳米标记物位于窗口薄膜朝向芯片本体一侧。
[0015]一种样品室，包括上部设有窗口的盒体，窗口处设有窗口芯片，盒体的内侧底部对应窗口的位置设有底部芯片以放置液体样品，窗口芯片应用上述所述的窗口芯片，且使设有纳米标记物的一侧朝上。
[0016]本技术的有益效果在于：通过在窗口薄膜靠近电子束的一侧制作纳米标记物，利于快速有效的电子束聚焦，从而实现了在较为理想的聚焦条件下对窗口下面的样品室中的样品进行观察，解决了由于聚焦不良引起的原位液体扫描电镜清晰度低的问题。
[0017]本技术的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上，基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的，或者可以从本技术的实践中得到教导。本技术的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。
附图说明
[0018]为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术作优选的详细描述，其中：
[0019]图1为原位液体扫描电镜用窗口芯片的结构示意图；
[0020]图2为样品室的结构示意图；
[0021]图3为芯片夹具的结构示意图。
[0022]附图标记：电子束1、窗口芯片2、窗口薄膜3、样品4、锥状标记物5、盒体6、底部芯片7、棒状标记物8、系列尺寸标记物9、夹持块10、紧定螺钉11、夹持槽12。
具体实施方式
[0023]以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0024]其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本技术的限制；为了更好地说明本技术的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
[0025]本技术实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本技术的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本技术的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
[0026]参阅图1～图2，一种原位液体扫描电镜用窗口芯片，包括中部开设有观察孔的芯片本体和设置在观察孔处的窗口薄膜3，在窗口薄膜3的上侧间隔设置若干纳米标记物。
[0027]可选地，纳米标记物具有明显的形貌和/或分布特征。
[0028]可选地，纳米标记物的形状为锥状和/或棒状。
[0029]可选地，纳米标记物的形状为纳米球状和/或半球状。
[0030]可选地，纳米标记物的颗粒度大小不同。
[0031]可选地，窗口薄膜3的材质为氮化硅、二氧化硅、多层镀膜窗口或聚合物薄膜。
[0032]可选地，纳米标记物通过光刻、物理沉积、电子束诱导沉积或聚焦离子束加工的方法获得。
[0033]可选地，纳米标记物为窗口薄膜表面突起的颗粒和/或窗口薄膜表面的纳米凹坑。
[0034]可选地，观察孔呈倒锥形，具有大端和小端，窗口薄膜3设置在观察孔的小端，纳米标记物位于窗口薄膜3朝向芯片本体一侧。
[0035]一种样品室，包括上部设有窗口的盒体6，窗口处设有窗口芯片2，盒体6的内侧底部对应窗口的位置设有底部芯片7以放置液体样品4，窗口芯片2应用上述所述的窗口芯片，且使设有纳米标记物的一侧朝上。
[0036]实施例
[0037]一种原位液体扫描电镜用样品室，如图1～2所示，包括上部开设有窗口的密封的盒体6，窗口处设有窗口芯片2，盒体6的内侧底部对应窗口的位置设有底部芯片7以放置液体样品4，窗口芯片2包括中部开设有呈倒锥形的观察孔的芯片本体和对应观察孔位置设置在芯片本体下侧面上的窗口薄膜3，在窗口薄膜3上侧面间隔本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种原位液体扫描电镜用窗口芯片，包括中部开设有观察孔的芯片本体和设置在观察孔处的窗口薄膜，其特征在于：窗口薄膜上侧为靠近电子束的一侧，在该侧间隔设置若干纳米标记物。2.根据权利要求1所述的一种原位液体扫描电镜用窗口芯片，其特征在于：所述纳米标记物的形状为锥状和/或棒状。3.根据权利要求1所述的一种原位液体扫描电镜用窗口芯片，其特征在于：所述纳米标记物的形状为球状和/或半球状。4.根据权利要求1所述的一种原位液体扫描电镜用窗口芯片，其特征在于：所述纳米标记物的颗粒度大小不同。5.根据权利要求1所述的一种原位液体扫描电镜用窗口芯片，其特征在于：所述窗口薄膜的材质为氮化硅、二氧化硅、多层镀膜窗口或聚合物薄膜。6.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：谭立怡，
申请(专利权)人：绍兴励思仪仪器设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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