一种使用UV固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统技术方案

本发明专利技术公开了一种使用UV固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统，还包括第一UV固化传送辊和第二UV固化传送辊；收卷装置设有收卷辊组和卷收盘，第一UV固化传送辊靠近收卷辊组的输入端安装，第二UV固化传送辊位于收卷辊组和卷收盘之间，第二UV固化传送辊靠近卷收盘的输入端安装，第一UV固化传送辊的辊面和第二UV固化传送辊的辊面分别与经过的晶圆保护膜的一面相抵；第一UV固化传送辊和第二UV固化传送辊内均设有紫外线光源，两个紫外线光源分别穿过第一UV固化传送辊的辊面和第二UV固化传送辊的辊面照射在晶圆保护膜的一面；可促使粘胶内的粘合剂快速固化，避免了固化前的半成品库存产生，减轻了企业的负担，并优化了生产成本。并优化了生产成本。并优化了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种使用UV固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统


[0001]本专利技术涉及生产设备
，尤其涉及一种使用UV固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统。

技术介绍

[0002]晶圆保护膜覆有的离型层之间涂覆有固定离型层的粘胶，现有技术改进后的粘胶固化工艺为紫外线光照固化，涂布和固化须分为两个工序操作，导致生产效率低，设备投入大，且固化前的半成品库存多，增加了企业的负担和生产成本。

技术实现思路

[0003]针对上述问题，本专利技术的目的在于提出一种使用UV固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统，UV固化传送辊内设有紫外线光源能促使粘胶快速固化。
[0004]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]一种使用UV固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统，包括放卷装置、离型膜复合涂布装置和收卷装置，还包括第一UV固化传送辊和第二UV固化传送辊；
[0006]所述收卷装置设有收卷辊组和卷收盘，所述收卷辊组设有多个传动辊，所述第一UV固化传送辊靠近所述收卷辊组的输入端安装，所述第二UV固化传送辊位于所述收卷辊组和所述卷收盘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种使用UV固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统，包括放卷装置、离型膜复合涂布装置和收卷装置，其特征在于，还包括第一UV固化传送辊和第二UV固化传送辊；所述收卷装置设有收卷辊组和卷收盘，所述收卷辊组设有多个传动辊，所述第一UV固化传送辊靠近所述收卷辊组的输入端安装，所述第二UV固化传送辊位于所述收卷辊组和所述卷收盘之间，所述第二UV固化传送辊靠近所述卷收盘的输入端安装，所述第一UV固化传送辊的辊面和所述第二UV固化传送辊的辊面分别与经过的晶圆保护膜的一面相抵；所述第一UV固化传送辊和所述第二UV固化传送辊内均设有紫外线光源，两个所述紫外线光源分别穿过所述第一UV固化传送辊的辊面和所述第二UV固化传送辊的辊面照射在所述晶圆保护膜的一面。2.根据权利要求1所述的使用UV固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统，其特征在于，所述第一UV固化传送辊和所述第二UV固化传送辊还均设有圆辊本体、端盖板和转轴；所述圆辊本体为中空的圆柱形的玻璃体，所述圆辊本体的前后两端均安装有所述端盖板，两个所述转轴分别垂直于两个所述端盖板的中心处安装，所述转轴的一端与所述端盖板的外露的板面相抵，所述紫外线光源安装于所述圆辊本体内，所述紫外线光源发出的紫外线光穿过所述圆辊本体朝外照射于所述晶圆保护膜。3.根据权利要求1所述的使用UV固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统，其特征在于，两个所述紫外线光源发出的紫外线光的主波段的波长不同；位于所述第一UV固化传送辊内的所述紫外线光源的紫外线光的主波段的波长为200
‑
290nm；位于所述第二UV固化传送辊内的所述紫外线光源的紫外线光的主波段的波长为320
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400nm。4.根据权利要求2所述的使用UV固化传送辊的晶圆保护膜的制备系统，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：李政，张强，
申请(专利权)人：广东莱尔新材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：