具有自动对焦与微区成像功能的LIBS分析装置及应用制造方法及图纸

本发明专利技术涉及激光诱导击穿光谱技术领域，公开了一种具有自动对焦与微区成像功能的LIBS分析装置及应用。其装置主体包括安装座，安装座上设有脉冲激光器、光路模块以及自动对焦模块，光路模块包括第一安装箱、第二安装箱和第三安装箱，第一安装箱、第二安装箱和第三安装箱内分别设有打孔全反镜、分束镜及全反镜，自动对焦模块与脉冲激光器分别设置于第一安装箱的两侧，第二安装箱的侧面上连接有光纤耦合器，第三安装箱的侧面上连接有摄像头，安装座上还设有与光纤耦合器和摄像头均连接的处理模块。通过上述设置，其能够实现检测样品时观察LIBS仪器激光靶点的位置，从而判断出激光靶点是否落在样品上还是杂质颗粒上，较佳的方便使用。使用。使用。

LIBS analyzer with auto focusing and micro area imaging function and its application

【技术实现步骤摘要】
具有自动对焦与微区成像功能的LIBS分析装置及应用


[0001]本专利技术涉及激光诱导击穿光谱
，具体地说，涉及一种具有自动对焦与微区成像功能的手持式LIBS分析装置及应用。

技术介绍

[0002]LIBS是Laser
‑
Induced Breakdown Spectroscopy(激光诱导击穿光谱)的简称，其工作原理是利用脉冲激光聚焦于样品上，诱导样品产生等离子体的原子发射光谱，并通过光谱仪提取原子发射光谱，以此来识别样品中的元素组成，是一种进行材料的识别、分类、定性以及定量分析的技术。
[0003]随着激光器和高分辨率光谱仪的不断发展，体积与成本不断缩小和降低，LIBS技术得以广泛研究和应用，LIBS检测装置也逐渐小型化，已经从实验室大型装置发展到可以户外使用的手持式仪器。借助其保留了LIBS技术的优势，着重于原位及在线分析，因此特别适用于野外环境，目前，已报道的应用领域包括环境(水质检测和土壤污染等)、地质(野外岩石判别)和文化遗产(古建筑和壁画)等，商业应用主要是金属牌号识别和废旧金属回收。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有自动对焦与微区成像功能的手持式LIBS分析装置，其特征在于：包括装置主体，装置主体包括安装座(110)，安装座(110)上设有脉冲激光器(120)、光路模块以及自动对焦模块，光路模块包括自下而上依次布置的第一安装箱(140a)、第二安装箱(140b)和第三安装箱(140c)，第一安装箱(140a)、第二安装箱(140b)和第三安装箱(140c)内分别设有均可转动的打孔全反镜(320a)、分束镜(320b)及全反镜(320c)，自动对焦模块与脉冲激光器(120)分别设置于第一安装箱(140a)的两侧且在同一水平面内相对设置，第二安装箱(140b)的侧面上连接有光纤耦合器(160)，第三安装箱(140c)的侧面上连接有摄像头(150)，安装座(110)上还设有与光纤耦合器(160)和摄像头(150)均连接的处理模块。2.根据权利要求1所述的一种具有自动对焦与微区成像功能的手持式LIBS分析装置，其特征在于：第一安装箱(140a)、第二安装箱(140b)和第三安装箱(140c)的一侧均开口设置，且通过一连接板(141)将第一安装箱(140a)、第二安装箱(140b)和第三安装箱(140c)形成一个整体，第一安装箱(140a)与第二安装箱(140b)、第二安装箱(140b)与第三安装箱(140c)均通过一竖直孔互相连通；第一安装箱(140a)上沿水平方向设有供脉冲激光器(120)激光穿过的贯穿孔(710)，第二安装箱(140b)侧面上沿水平方向设有第一通孔(720)，第三安装箱(140c)的侧面上沿水平方向设有第二通孔(730)；第一安装箱(140a)、第二安装箱(140b)和第三安装箱(140c)内均设有镜片支架(310)，三个镜片支架(310)分别用于安装打孔全反镜(320a)、分束镜(320b)及全反镜(320c)。3.根据权利要求2所述的一种具有自动对焦与微区成像功能的手持式LIBS分析装置，其特征在于：脉冲激光器(120)上侧面上设有L型固定部(170)，L型固定部(170)包括安装在脉冲激光器(120)上端面的横板(510)及垂直于横板(510)的竖板(520)，光纤耦合器(160)的输入端固定在第二安装箱(140b)上且与第一通孔(720)相对设置，竖板(520)上设有供光纤耦合器(160)的输出端穿过的安装口(530)；摄像头(150)的一侧垂直安装在竖板(520)上且镜头朝向第二通孔(730)设置。4.根据权利要求2所述的一种具有自动对焦与微区成像功能的手持式LIBS分析装置，其特征在于：第一安装箱(140a)、第二安装箱(140b)和第三安装箱(140c)内均设有镜片调整转动座(1010)，镜片支架(310)固定在镜片调整转动座(1010)上，第一安装箱(140a)、第二安装箱(140b)和第三安装箱(140c)的侧壁上设有与镜片调整转动座(1010)同轴设置且能够跟随镜片调整转动座(1010)转动的镜片调...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志荣，张梦阳，付洪波，王华东，吴边，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：