一种用于洁净室抽气泵的防震脚制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于洁净室抽气泵的防震脚，包括限位角铁、底座和限位条，所述限位角铁垂直焊接在底座上部，所述限位角铁一侧开设有两个圆形固定孔，所述限位条中间部位开设有椭圆形长条限位孔，所述限位条与限位角铁通过限位螺栓穿过限位孔和固定孔栓接固定。本实用新型专利技术可以有效地限制抽气泵在水平方向上的晃动，通过限位孔的设计，在不需要拆除防震脚的条件下，通过限位条的滑动，实现了将抽气泵的移出检修的目的，且防震脚结构简单，安装方便，制作成本低。制作成本低。制作成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种用于洁净室抽气泵的防震脚


[0001]本技术涉及防振脚
，具体是一种用于洁净室抽气泵的防震脚。

技术介绍

[0002]半导体制造的洁净室，抽气泵应用较为频繁，而抽气泵的稳定性尤为重要。由于抽气泵本身在工作时会产生震动，所以该设备极为不稳定。抽气泵垂直方向由于重力作用而基本上能克服其垂直方向的震动。但是抽气泵本身运转也会产生水平方向的震动，从而使抽气泵会在水平方向上晃动，长期的水平晃动会导致输气管的连接头部分产生疲劳损坏现象。另外，由于输气管的水平方向的晃动会进一步把其震动传递到其他精密仪器，从而导致其他精密仪器被其输气管的震动所干扰，从而破坏了其他精密仪器的正常工作，进一步对其产品质量会造成很大影响。同时抽气泵也是维修较为频繁的设备，经常需要移动该设备去进行维修。
[0003]现有的抽气泵防震脚，虽然可以在水平方向进行一定的限位，但是由于是单独螺栓固定限位条，时间长了会出现松动现象，且需要焊接限位块，制作工序复杂，拆卸也不方便。

技术实现思路

[0004]技术的目的在于提供一种用于洁净室抽气泵的防震脚，以解决上述背本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于洁净室抽气泵的防震脚，包括限位角铁、底座和限位条，其特征在于，所述限位角铁垂直焊接在底座上部，所述限位角铁一侧开设有两个圆形固定孔，所述限位条中间部位开设有椭圆形长条限位孔，所述限位条与限位角铁通过限位螺栓穿过限位孔和固定孔栓接固定。2.根据权利要求1所述的一种用于洁净室抽气泵的防震脚，其特征在于，所述底座上开设有两个圆形安装孔。3.根据权利要求1所述的一种用于洁净室抽气泵的...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵小江，孙乐，祁长厚，
申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：