一种电涡流传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种电涡流传感器，属于传感器技术领域。本发明专利技术提供了一种电涡流传感器，包括探头，该探头包括支撑板、第一测量件和第二测量件，第一测量件设置于支撑板的一侧，第二测量件相对于第一测量件设置于支撑板的另一侧，其中，第一测量件和第二测量件用于对间隙的平面进行非接触测量。第一测量件包括第一测量线圈和第一屏蔽件，第二测量件包括第二测量线圈和第二屏蔽件，第一测量线圈与第二测量线圈相对设置，第一屏蔽件与第二屏蔽件相对设置。本发明专利技术克服了现有技术中间隙检测无法做到非接触测量且测量误差大的问题，本发明专利技术可实现非接触测量，且实现了间隙平面上的多点测量，提高了间隙距离测量的准确度。提高了间隙距离测量的准确度。提高了间隙距离测量的准确度。

【技术实现步骤摘要】
一种电涡流传感器


[0001]本专利技术属于传感器
，更具体地说，涉及一种电涡流传感器。

技术介绍

[0002]在设备的装配组装过程中，常常会遇到两个平面的间隙检测问题，诸如机翼与机身的拼接、密封舱门的间隙检测和各类发动机叶片与机匣的间隙检测。对于这类极端检测场景，普通的位移传感器无法发挥作用。传统的测量方法主要有塞尺和千分尺，这两种测量方法都属于接触式测量，其中塞尺的测量尺寸是离散的，要达到一定的位移分辨率则需要大量不同尺寸的塞尺，费时费力，对于人工是一种巨大的浪费，并且测量精度较低；使用千分尺只能测量间隙的边缘，测量误差大。
[0003]使用非接触式位移传感器进行测量则必须使用薄平面测量探头，光学传感器结构难以小型化，并不适用在这种场合。电涡流传感器和电容传感器由于分辨率高且易于小型化和制作成薄平面探头，非常适用于这种间隙测量场合，由于部分设备装配组装过程难免会有灰尘或油污等污染物存在，因此电涡流传感器具有更强的通用性。
[0004]电涡流位移传感器是一种基于电磁感应原理和电感—位移关系进行位移测量的传感器，由于电涡流传感器对灰尘和油污等污染物不敏感，能够在大部分工业现场中良好的工作，可以做成高温或者低温探头，能够适用更复杂的工作环境。由于间隙检测中，两个平面往往都是金属导体材料，现有电涡流技术的平面探头可以进入到间隙中进行测量，但存在两个致命问题：一是平面探头要安装在其中一个间隙平面，测量探头表面到另一平面的距离，无法完全做到非接触测量。二是当测量平面是金属导体时，由于测量间隙很小，平面探头会受到背面金属导体的影响，导致测量误差，同时两个间隙面的金属对探头的影响难以解耦,无法准确测量.

技术实现思路

[0005]1.要解决的问题
[0006]针对现有技术中间隙检测无法做到非接触测量且测量准确度不高的问题，本专利技术提供一种电涡流传感器，从而可实现非接触测量，且实现了间隙平面上的多点测量，提高了间隙距离测量的准确度。
[0007]2.技术方案
[0008]为了解决上述问题，本专利技术所采用的技术方案如下：
[0009]本专利技术提供了一种电涡流传感器，包括探头，该探头包括支撑板、第一测量件和第二测量件，第一测量件设置于支撑板的一侧，第二测量件相对于第一测量件设置于支撑板的另一侧，其中，第一测量件和第二测量件用于对间隙的平面进行非接触测量。
[0010]作为本专利技术更进一步地改进，第一测量件包括第一测量线圈，该第一测量线圈设置于支撑板的一侧。
[0011]作为本专利技术更进一步地改进，第一测量件还包括第一屏蔽件，该第一屏蔽件设置
于第一测量线圈与支撑板之间。
[0012]作为本专利技术更进一步地改进，第二测量件包括第二测量线圈，该第二测量线圈相对于第一测量线圈设置于支撑板的另一侧。
[0013]作为本专利技术更进一步地改进，第二测量件还包括第二屏蔽件，该第二屏蔽件相对于第一屏蔽件设置于第二测量线圈与支撑板之间。
[0014]作为本专利技术更进一步地改进，第一屏蔽件和第二屏蔽件均为铁氧体片，从而可将第一测量线圈和第二测量线圈的磁场限制在铁氧体片内部，达到磁场屏蔽的效果。
[0015]作为本专利技术更进一步地改进，第一测量线圈和第二测量线圈分别包括若干个平面线圈，且该若干个平面线圈均匀分布在同一水平面上。
[0016]作为本专利技术更进一步地改进，还包括测量电路，若干个平面线圈通过引线和电路开关与测量电路电性连接，从而可以实现分时测量，进而实现了在间隙平面上的多点测量。
[0017]作为本专利技术更进一步地改进，若干个平面线圈均为FPC线圈。
[0018]3.有益效果
[0019]相比于现有技术，本专利技术的有益效果为：
[0020]本专利技术的一种电涡流传感器，通过设置支撑板、第一测量件和第二测量件，从而可实现非接触测量；进一步通过设置第一屏蔽件和第二屏蔽件，从而避免支撑板及背部间隙面对测量线圈的测量影响，同时避免两测量件之间的相互影响，提高了间隙距离测量的准确度。此外，通过配套设置平面线圈和电路开关，从而实现了间隙平面上的多点测量。
附图说明
[0021]图1为本专利技术的探头结构示意图；
[0022]图2为本专利技术平面线圈连接示意图。
[0023]图中：100、探头；110、支撑板；121、第一测量线圈；122、第一屏蔽件；131、第二测量线圈；132、第二屏蔽件；200、测量电路；300、电路开关。
具体实施方式
[0024]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例；而且，各个实施例之间不是相对独立的，根据需要可以相互组合，从而达到更优的效果。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]为进一步了解本专利技术的内容，结合附图和实施例对本专利技术作详细描述。
[0026]实施例1
[0027]如图1所示，本专利技术的一种电涡流传感器，包括探头100，该探头100在进行间距测量时无需与被测量平面进行接触，从而实现非接触测量。本专利技术的探头100具体结构如下：
[0028]探头100包括支撑板110、第一测量件和第二测量件，第一测量件设置于支撑板110的一侧，第二测量件相对于第二测量件设置于支撑板110的另一侧，第一测量件和第二测量
件用于对间隙的平面进行非接触测量。本示例中第一测量件粘贴于支撑板110的上表面，第二测量件粘贴于支撑板110的下表面。需要说明的是，本示例中第一测量件和第二测量件正对设置，以此保证测量的精度。另值得说明的是，本专利技术的支撑板110的刚度大于第一测量件和第二测量件的刚度，支撑板110可由合金、特种钢、碳化硅或者碳化钨制作而成，以此保证支撑板110的刚度。以下对第一测量件和第二测量件进行详细的阐述。
[0029]本专利技术的第一测量件包括第一测量线圈121，该第一测量线圈121设置于支撑板110的一侧，需要说明的是，第一测量件还包括第一屏蔽件122，第一屏蔽件122设置于第一测量线圈121与支撑板110之间，从而可以避免支撑板110及相对测量件对第一测量线圈121的测量影响，进而保证了测量的准确度。
[0030]本专利技术的第二测量件包括第二测量线圈131，第二测量线圈131相对第一测量线圈121设置于支撑板110的另一侧，本示例中第二测量线圈131正对第一测量线圈121设置。进一步地，第二测量件还包括第二屏蔽件132，第二屏蔽件132相对于第一屏蔽件122设置于第二测量线圈131与支撑板110之间，从而避免支撑板110及相对测量件对第二测量线圈131的测量影响。本示例中第二屏蔽件132正对第一屏本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电涡流传感器，其特征在于，包括探头(100)，该探头(100)包括支撑板(110)、第一测量件和第二测量件，所述第一测量件设置于支撑板(110)的一侧，第二测量件相对于第一测量件设置于支撑板(110)的另一侧，其中，第一测量件和第二测量件用于对间隙的平面进行非接触测量。2.根据权利要求1所述的一种电涡流传感器，其特征在于，所述第一测量件包括第一测量线圈(121)，该第一测量线圈(121)设置于支撑板(110)的一侧。3.根据权利要求2所述的一种电涡流传感器，其特征在于，所述第一测量件还包括第一屏蔽件(122)，该第一屏蔽件(122)设置于第一测量线圈(121)与支撑板(110)之间。4.根据权利要求2所述的一种电涡流传感器，其特征在于，所述第二测量件包括第二测量线圈(131)，该第二测量线圈(131)相对于第一测量线圈(121)设置于支撑板...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹龙轩，赵国锋，李伟，李明夏，
申请(专利权)人：安徽见行科技有限公司，
类型：发明
国别省市：