一种双自由度主被动复合隔振平台制造技术

本实用新型专利技术提供了一种双自由度主被动复合隔振平台，包括顶板、底座和支撑板，所述支撑板为两个，固接在底座顶面左右两侧，所述顶板下方连接有弹簧A，所述弹簧A底部连接有橡胶垫板，所述橡胶垫板固接在支撑板顶面，所述顶板下方中间部位连接有支撑杆，所述支撑杆左右两侧连接有弹簧B，所述弹簧B另一端与支撑板连接固定，所述支撑杆连接弹簧B的下方还连接有永磁体，所述支撑板与永磁体同一水平方向上连接有电磁铁，所述支撑杆下方连接有柔性铰链，所述柔性铰链下方连接有弹簧C，所述弹簧C下方连接有压电驱动器。本实用新型专利技术结构简单，隔振带宽，隔振效果精准，系统固有频率能现实小于0.5Hz。0.5Hz。0.5Hz。

A dual degree of freedom active passive composite vibration isolation platform

【技术实现步骤摘要】
一种双自由度主被动复合隔振平台


[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种双自由度主被动复合隔振平台。

技术介绍

[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。振动控制部分是隔振平台的核心，针对中高频振动，多采用被动隔振，被动隔振结构简单、工作可靠、不依赖电源，可以有效地隔绝中高频振动干扰。针对低频甚至或超低频振动，多采用主动隔振，气动主动隔振自适应性好，通过作动器输出反向力抵消低频振动，具有优越的低频或超低频隔振性能。精密仪器所处环境不是单一的高频震动或低频振动，是多种频率的复杂的震动环境，而目前隔着平台多少针对单一高频或低频振动，对于复杂振本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双自由度主被动复合隔振平台，包括顶板、底座和支撑板，其特征在于，所述支撑板为两个，固接在底座顶面左右两侧，所述顶板下方连接有弹簧A，所述弹簧A底部连接有橡胶垫板，所述橡胶垫板固接在支撑板顶面，所述顶板下方中间部位连接有支撑杆，所述支撑杆左右两侧连接有弹簧B，所述弹簧B另一端与支撑板连接固定，所述支撑杆连接弹簧B的下方还连接有永磁体，所述支撑板与永磁体同一水平方向上连接有电磁铁，所述支撑杆下方连接有柔性铰链，所述柔性铰链下方连接有弹簧C，所述弹簧C下方连接有压电驱动器。2.根据权利要求1所述的一种双自由度主被动复合隔振平台，其特征在于，所述顶板由不锈钢制成矩形结构。3.根据权利要求1所述的一种双自由度主被动复合隔振平台，其特征在于，所述弹簧A为四...

【专利技术属性】
技术研发人员：高向东，赵小江，孙乐，
申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：