一种全光谱同轴光学镜筒制造技术

本发明专利技术涉及一种全光谱同轴光学镜筒，包括：物镜、第一分光镜立方、第二分光镜立方、成像模块、照明光源模块和光谱聚焦模块；物镜、第一分光镜立方和第二分光镜立方沿同一光轴依次设置形成光路通道；激光通过第二分光镜立方入射；第二分光镜立方和第一分光镜立方内均设有45度分光镜；光谱聚焦模块设置在第一分光镜立方的光谱输出光路上；照明光源模块为第一照明光源模块、第二照明光源模块或第三照明光源模块中的一个或多个；成像模块设置在第二分光镜立方的图像光线输出光路上；成像模块包括依次设置的成像镜头、镜筒和相机。本发明专利技术能够在保留现有同轴设计全光谱、高灵敏优点的同时，解决分光镜切换机构精度要求高且频繁切换问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种全光谱同轴光学镜筒


[0001]本专利技术涉及激光光谱分析
，特别是涉及一种全光谱同轴光学镜筒。

技术介绍

[0002]激光诱导击穿光谱(laser
‑
induced breakdown spectroscopy，简称LIBS)技术基于原子发射光谱分析原理，将脉冲激光束聚焦至样品表面，烧蚀物质产生发光等离子体，通过分析等离子体发射的原子、离子及分子光谱获知物质的元素成分及含量。LIBS技术具有可分析包括氢的全部元素、可分析不导电及难熔材料、分析速度快、无需真空等优点，是一种具有重要应用价值的新型分析技术。微区激光诱导击穿光谱(micro laser
‑
induced breakdown spectroscopy，简称微区LIBS)采用显微物镜聚焦激光，除上述优点外，空间分辨率提高至3
‑
50μm，深度分辨率为亚微米级别，是一种具有独特优点的新型表面成分分析方法。
[0003]光学系统是微区LIBS系统的主体与核心，它一般由光学成像、激光聚焦、光谱收集三大功能模块组成。光学成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全光谱同轴光学镜筒，其特征在于，包括：物镜、第一分光镜立方、第二分光镜立方、成像模块、照明光源模块和光谱聚焦模块；所述物镜、所述第一分光镜立方和所述第二分光镜立方沿同一光轴依次设置形成光路通道；激光通过所述第二分光镜立方入射；所述第二分光镜立方内设有45度分光镜，所述第二分光镜立方内的45度分光镜用于反射激光且透射图像光线，或者透射激光且反射图像光线；所述第一分光镜立方内设有45度分光镜，所述第一分光镜立方内的45度分光镜用于透射激光和反射光谱光线；所述光谱聚焦模块设置在所述第一分光镜立方的光谱输出光路上，用于聚焦光谱光线并耦合入外部光纤或外部光谱仪；所述照明光源模块为第一照明光源模块、第二照明光源模块或第三照明光源模块中的一个或多个；所述照明光源模块用于提供照明光源；所述成像模块设置在所述第二分光镜立方的图像光线输出光路上；所述成像模块包括依次设置的成像镜头、镜筒和相机；所述成像镜头用于接收所述图像光线；所述成像镜头和所述镜筒至少一个具有调焦功能；所述成像模块用于生成样品表面形貌图像。2.根据权利要求1所述的全光谱同轴光学镜筒，其特征在于，所述第一分光镜立方内的45度分光镜安装在滑动导轨上；所述滑动导轨用于从所述第一分光镜立方的不通光侧面取出并更换45度分光镜；所述第一分光镜立方内的45度分光镜设有多片，每个所述第一分光镜立方内的45度分光镜光学厚度和镀膜面位置均相同；所述第一分光镜立方通过更换所述第一分光镜立方内的45度分光镜，分次实现全光谱反射。3.根据权利要求1所述的全光谱同轴光学镜筒，其特征在于，还包括带通滤光片，所述带通滤光片设置在所述第二分光镜立方与所述成像模块之间，用于将所述第二分光镜立方透射的图像光线进...

【专利技术属性】
技术研发人员：李常茂，张广丰，李赣，李海波，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院材料研究所，
类型：发明
国别省市：