估计模型制作装置、估计模型制作方法以及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供估计模型制作装置、估计模型制作方法以及存储介质。估计模型制作装置具有：处理后图像获取部，其获取与被进行了膜处理的基板的表面有关的图像信息即处理后图像；基底图像获取部，其获取与被进行膜处理前的处理前基板的表面有关的图像信息即处理前图像；灰度值估计模型制作部，其制作根据处理前图像中包含的与基板的表面的颜色有关信息来估计处理后图像中包含的与基板的表面的颜色有关的信息的颜色变化估计模型；以及相关性估计模型制作部，其制作求出处理后图像中包含的与基板的表面的颜色有关的信息同由颜色变化估计模型估计出的结果之差并估计该差与进行膜处理所得到的对象膜的形状特性值之间的相关性的相关性估计模型。关性估计模型。关性估计模型。

【技术实现步骤摘要】
估计模型制作装置、估计模型制作方法以及存储介质


[0001]本公开涉及形状特性值的估计模型制作装置、形状特性值的估计模型制作方法以及存储介质。

技术介绍

[0002]在专利文献1中公开了根据拍摄基板表面得到的图像来计算形成在基板上的膜的膜厚的结构。此时，公开了使用将从准备用摄像图像获得的像素值与像素值所对应的各坐标处的膜厚测定值对应起来的相关性数据。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2015
‑
215193号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]本公开提供一种能够更简单地制作用于估计与基板的形状有关的特性值的模型的技术。
[0008]用于解决问题的方案
[0009]根据本公开的一个方式的估计模型制作装置是与形状特性值估计模型有关的估计模型制作装置，所述形状特性值估计模型是估计与在基板上进行膜处理所得到的对象膜的形状有关的特性值即形状特性值的估计模型，所述估计模型制作装置具有：处理后图像获取本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种估计模型制作装置，是与形状特性值估计模型有关的估计模型制作装置，所述形状特性值估计模型是估计与在基板上进行膜处理所得到的对象膜的形状有关的特性值即形状特性值的估计模型，所述估计模型制作装置具有：处理后图像获取部，其获取处理后图像，该处理后图像是与被进行了膜处理的基板的表面有关的图像信息；处理前图像获取部，其获取处理前图像，该处理前图像是与被进行所述膜处理之前的处理前基板的表面有关的图像信息；颜色变化估计模型制作部，其制作颜色变化估计模型，该颜色变化估计模型是根据所述处理前图像中包含的与所述基板的表面的颜色有关的信息来估计所述处理后图像中包含的与所述基板的表面的颜色有关的信息的估计模型；以及相关性估计模型制作部，其制作相关性估计模型，该相关性估计模型是求出所述处理后图像中包含的与所述基板的表面的颜色有关的信息同由所述颜色变化估计模型估计出的结果之差并估计该差与进行所述膜处理所得到的所述对象膜的形状特性值之间的相关性的估计模型。2.根据权利要求1所述的估计模型制作装置，其中，所述相关性估计模型制作部将不使用所述形状特性值估计模型地获取的所述对象膜的形状特性值用作进行所述膜处理所得到的所述对象膜的形状特性值，来制作所述相关性估计模型。3.根据权利要求1所述的估计模型制作装置，其中，所述相关性估计模型制作部以用于确定进行所述膜处理所得到的所述对象膜的形状特性值的信息的获取为契机，来制作所述相关性估计模型。4.根据权利要求1所述的估计模型制作装置，其中，所述颜色变化估计模型制作部能够修正由与自身装置不同的装置制作出的模型来制作自身装置用的颜色变化估计模型。5.根据权利要求1所述的估计模型制作装置，其中，所述相关性估计模型制作部能够修正由与自身装置不同的装置制作出的模型来制作自身装置用的相关性估计模型。6.根据权利要求1所述的估计模型制作装置，其中，所述膜处理是在基板上形成膜的膜形成处理。7.一种估计模型制作方法，是与...

【专利技术属性】
技术研发人员：鹤田丰久，保坂理人，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：