一种准分子灯及其光源装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种准分子灯及其光源装置，包括准分子灯、准分子放电管和光源装置，所述的准分子放电管由准分子放电内管、准分子放电外管和放电空间组成，准分子放电外管内设有放电空间，放电空间内设有准分子放电内管，准分子放电内管贯穿准分子放电外管的左右两个面，组成的气密封的双层玻璃管；准分子灯是由准分子放电管、金属准分子灯基条、金属柔性网罩、阳极金属电极棒和箍头组成，本实用新型专利技术比粗的准分子灯组成的面光源的均匀性好，使用范围更广，能量效率更高。能量效率更高。能量效率更高。

An excimer lamp and its light source device

【技术实现步骤摘要】
一种准分子灯及其光源装置


[0001]本技术涉及光源
，具体是一种准分子灯及其光源装置。

技术介绍

[0002]UV准分子放电灯是利用施加在管外外侧和管内内侧之间加压高频高压电源，使在充有惰性气体的管外管内之间形成的放电空间发生放电发光的一种基于阻挡层放电原理的放电灯。短波长准分子灯在微电子、液晶、半导体、超精密器件生产中用于超精密清洗已得到普及，在特殊工程材料表面的改性改质中也在得到推广。目前市面上有两款表面处理用准分子产品，一种是圆形的，照射到被照物品的照射面积相当有限，均匀性差，浪费电能；一种是第二代的扁平结构，需要将圆管经过多次拉伸，生产成本高昂、负压承受有限、寿命期短。因此，本技术提供了一种准分子灯及其光源装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种准分子灯及其光源装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种准分子灯及其光源装包括准分子灯、准分子放电管和光源装置，所述的准分子放电管由准分子放电内管、准分子放电外管和放电空间组成，准分子放电外管内设有放电空间，放电空间内设有准分子放电内管，准分子放电内管贯穿准分子放电外管的左右两个面，组成的气密封的双层玻璃管；
[0005]准分子灯是由准分子放电管、金属准分子灯基条、金属柔性网罩、阳极金属电极棒和箍头组成，金属柔性网罩套在准分子放电管及金属准分子灯基条外侧，准分子放电管中心设置有阳极金属电极棒，阳极金属电极棒右端套有阳极引出端子，所述金属准分子灯基条上表面开设有若干个固定螺孔，固定螺孔和固定螺丝的螺纹连接；
[0006]光源装置为一支或多支准分子灯固定在可通水冷却的冷却板上。
[0007]所述金属准分子灯基条为内陷半圆弧形，金属准分子灯基条内陷半圆弧形面上镀有反光氧化膜，金属准分子灯基条内陷半圆弧形面上开设有阴极网箍槽，阴极网箍槽内设有箍头。
[0008]所述的金属柔性网罩外侧带出光网孔。
[0009]所述的可通水冷却板上安装有若干个固定螺丝和一个阴极引出端子。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]1、本申请中准分子灯带有基条，利于固定在冷却板上，利于准分子灯冷却，利于细长准分子灯机械强度，利于阵列成面光源，利于网状阴极的设置，利于放电管接触面的反光材料的施行，利于避开高价的偏形结构灯的玻璃成形，利于避开扁形结构灯内部的反光材料的烧结，利于避开扁形结构灯内上反光层紫外线不透射造成的经时变形，利于避免扁形结构灯与灯之间的无照射区。
[0012]2、本申请为细长结构，利于排列成面光源时面照射的均匀性，利于排列成大面积的面光源，利于高效冷却下灯的发光效率，利于避免粗形灯的大部分角度不能利用的发光损失，利于利用整个灯管的照射能量。
[0013]3、相比粗管准分子灯，本申请管径越细均匀性越强，发光光能充分利用，但越细机械强度越差，因此本申请中基条即能充当冷却、电极通电，还能保持放电管的机械强度，越细的管子，多支准分子灯紧密排列做成面光源后，比粗的准分子灯组成的面光源的均匀性好，使用范围更广，能量效率更高。
[0014]4、本申请中准分子灯基条不仅能增加机械强度，还能通过这根基条将热量传递到装置的冷却板上。
[0015]5、本申请中准分子放电管加带半圆凹槽的基条结构，不仅能实现机械稳固、阴极通电、热量传递的作用，还能同时满足方便电极通电、高效的热量冷却、发光的充分利用、面光源均匀性好、大尺寸需求等优点。
附图说明
[0016]图1为一种准分子灯及其光源装置的结构示意图；
[0017]图2为图1的右视结构示意图；
[0018]图3为一种准分子灯及其光源装置中准分子灯的结构示意图；
[0019]图4为图3的右视结构示意图；
[0020]图5为一种准分子灯及其光源装置中准分子灯基条的结构示意图；
[0021]图6为图5的右视结构示意图；
[0022]图7为一种准分子灯及其光源装置中准分子放电管的结构示意图。
[0023]图中：1、可通水冷却板；2、固定螺丝；3、阴极引出端子；4、金属柔性网罩；5、阴极网箍槽；6、箍头；7、准分子灯基条；8、固定螺孔；9、准分子放电外管；10、准分子放电内管；11、阳极金属电极棒；13、阳极引出端子；14、放电空间。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1～7，本技术实施例中，一种准分子灯及其光源装包括准分子灯、准分子放电管和光源装置，所述的准分子放电管由准分子放电内管10、准分子放电外管9和放电空间14组成，准分子放电外管9内设有放电空间14，放电空间14内设有准分子放电内管10，准分子放电内管10贯穿准分子放电外管9的左右两个面，组成的气密封的双层玻璃管；
[0026]准分子灯是由准分子放电管、金属准分子灯基条7、金属柔性网罩4、阳极金属电极棒11和箍头6组成，金属柔性网罩4套在准分子放电管及金属准分子灯基条7外侧，准分子放电管中心设置有阳极金属电极棒11，阳极金属电极棒11右端套有阳极引出端子13，所述金属准分子灯基条7上表面开设有若干个固定螺孔8，固定螺孔8和固定螺丝2的螺纹连接；
[0027]光源装置为一支或多支准分子灯固定在可通水冷却的冷却板1上。
[0028]所述金属准分子灯基条7为内陷半圆弧形，金属准分子灯基条7内陷半圆弧形面上镀有反光氧化膜，金属准分子灯基条7内陷半圆弧形面上开设有阴极网箍槽5，阴极网箍槽5内设有箍头6。
[0029]所述的金属柔性网罩4外侧带出光网孔。
[0030]本实施例一种准分子灯及其光源装置中可通水冷却板1上安装有若干个固定螺丝2和一个阴极引出端子3，所述固定螺丝2以及阴极引出端子3贯穿可通水冷却板1。
[0031]本技术的工作原理是：通过高频高压电向阳极金属电极棒11导电，通过准分子放电内管10和准分子放电外管9产生光线效果，发光过程中产生的热量通过可通水冷却板1降温，金属柔性网罩4、阴极网箍槽5、阴极网箍条6同时可以起到加强固定准分子灯的作用。
[0032]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种准分子灯及其光源装置，包括准分子灯、准分子放电管和光源装置，其特征在于:所述的准分子放电管由准分子放电内管(10)、准分子放电外管(9)和放电空间(14)组成，准分子放电外管(9)内设有放电空间(14)，放电空间(14)内设有准分子放电内管(10)，准分子放电内管(10)贯穿准分子放电外管(9)的左右两个面，组成的气密封的双层玻璃管。2.根据权利要求1所述的一种准分子灯及其光源装置，其特征在于，所述的准分子灯是由准分子放电管、金属准分子灯基条(7)、金属柔性网罩(4)、阳极金属电极棒(11)和箍头(6)组成，金属柔性网罩(4)套在准分子放电管及金属准分子灯基条(7)外侧，准分子放电管中心设置有阳极金属电极棒(11)，阳极金属电极棒(11)右端套有阳极引出端子(13)，所述金属准分子灯基条(7)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王国征，
申请(专利权)人：上海国达特殊光源有限公司，
类型：新型
国别省市：