单晶石英坩埚生产用原料过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了单晶石英坩埚生产用原料过滤装置，包括过滤箱，所述过滤箱内部设有进料腔、过滤腔、储料腔、弧形板、弧形槽、毛刷、支撑轴、连接杆、齿轮、不完全齿轮、电机和扭簧。本实用新型专利技术中弧形板对原料进行过滤过程中，对弧形板进行钟摆式转动驱动，实现弧形板在进料腔和过滤腔之间进行摆动，可实现对原料的摆动式过滤处理，可有效加强对原料的过滤处理效果，同时可有效避免原料堵塞过滤孔，同时毛刷对弧形板表面的过滤孔进行清洁处理，可有效将堵塞在过滤孔中的大颗粒原料进行清除，可有效快速对弧形板上的过滤孔进行清洁处理，进而保证对石英坩埚原料的过滤处理效果。证对石英坩埚原料的过滤处理效果。证对石英坩埚原料的过滤处理效果。

【技术实现步骤摘要】
单晶石英坩埚生产用原料过滤装置


[0001]本技术涉及坩埚生产加工设备
，具体为单晶石英坩埚生产用原料过滤装置。

技术介绍

[0002]石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。石英坩埚的生产制备过程大致包括：高纯石英砂
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高纯石墨模具
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真空装料成型
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真空电弧熔制
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自然冷却脱模
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石英坩埚初步检测
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冷加工喷砂、切断、倒角
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石英坩埚二次检测
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超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干、加温烘烤，喷涂
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石英坩埚三次检验
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真空包装
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成品入库。在筛选高纯石英砂过程中，需要对石英砂进行过滤处理。
[0003]现有的石英坩埚原料过滤装置，使用过程中容易发生网孔堵塞，导致原料过滤效果较差。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.单晶石英坩埚生产用原料过滤装置，包括过滤箱(1)，其特征在于：所述过滤箱(1)内部设有进料腔(2)、过滤腔(3)和储料腔(4)，所述过滤腔(3)设于所述进料腔(2)和所述储料腔(4)之间，所述进料腔(2)设于所述储料腔(4)上方，所述过滤箱(1)内部于所述进料腔(2)和所述过滤腔(3)之间设有活动连接的弧形板(5)，所述弧形板(5)表面均匀开设有若干个过滤孔(6)，所述过滤箱(1)内壁设有与所述弧形板(5)相匹配的弧形槽(7)，所述弧形槽(7)与所述储料腔(4)贯通，所述弧形槽(7)内壁于所述弧形板(5)外侧设有毛刷(8)。2.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用原料过滤装置，其特征在于：所述过滤箱(1)内壁设有转动连接的支撑轴(9)，所述支撑轴(9)的横截面圆心与所述弧形板(5)的圆心重合，所述支撑轴(9)外壁顶部设有若干个连接杆(10)，所述连接杆(10)与所述弧形板(5)内壁固定连接，所述支撑轴(9)外壁一端套设有齿轮(11)，所述过滤箱(1)内壁设有与...

【专利技术属性】
技术研发人员：张国忠，高文送，汪涵，朱海江，李国洪，朱燕亚，
申请(专利权)人：无锡市尚领石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：