单晶石英坩埚生产用原料过滤装置制造方法及图纸

技术编号:33890977 阅读:70 留言:0更新日期:2022-06-22 17:25
本实用新型专利技术公开了单晶石英坩埚生产用原料过滤装置,包括过滤箱,所述过滤箱内部设有进料腔、过滤腔、储料腔、弧形板、弧形槽、毛刷、支撑轴、连接杆、齿轮、不完全齿轮、电机和扭簧。本实用新型专利技术中弧形板对原料进行过滤过程中,对弧形板进行钟摆式转动驱动,实现弧形板在进料腔和过滤腔之间进行摆动,可实现对原料的摆动式过滤处理,可有效加强对原料的过滤处理效果,同时可有效避免原料堵塞过滤孔,同时毛刷对弧形板表面的过滤孔进行清洁处理,可有效将堵塞在过滤孔中的大颗粒原料进行清除,可有效快速对弧形板上的过滤孔进行清洁处理,进而保证对石英坩埚原料的过滤处理效果。证对石英坩埚原料的过滤处理效果。证对石英坩埚原料的过滤处理效果。

【技术实现步骤摘要】
单晶石英坩埚生产用原料过滤装置


[0001]本技术涉及坩埚生产加工设备
,具体为单晶石英坩埚生产用原料过滤装置。

技术介绍

[0002]石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。石英坩埚的生产制备过程大致包括:高纯石英砂

高纯石墨模具

真空装料成型

真空电弧熔制

自然冷却脱模

石英坩埚初步检测

冷加工喷砂、切断、倒角

石英坩埚二次检测

超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干、加温烘烤,喷涂

石英坩埚三次检验

真空包装

成品入库。在筛选高纯石英砂过程中,需要对石英砂进行过滤处理。
[0003]现有的石英坩埚原料过滤装置,使用过程中容易发生网孔堵塞,导致原料过滤效果较差。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供单晶石英坩埚生产用原料过滤装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题,本技术提供如下技术方案:单晶石英坩埚生产用原料过滤装置,包括过滤箱,所述过滤箱内部设有进料腔、过滤腔和储料腔,所述过滤腔设于所述进料腔和所述储料腔之间,所述进料腔设于所述储料腔上方,所述过滤箱内部于所述进料腔和所述过滤腔之间设有活动连接的弧形板,所述弧形板表面均匀开设有若干个过滤孔,所述过滤箱内壁设有与所述弧形板相匹配的弧形槽,所述弧形槽与所述储料腔贯通,所述弧形槽内壁于所述弧形板外侧设有毛刷。
[0006]进一步的,所述过滤箱内壁设有转动连接的支撑轴,所述支撑轴的横截面圆心与所述弧形板的圆心重合,所述支撑轴外壁顶部设有若干个连接杆,所述连接杆与所述弧形板内壁固定连接,所述支撑轴外壁一端套设有齿轮,所述过滤箱内壁设有与所述齿轮相啮合的不完全齿轮,所述过滤箱外壁设有电机,所述电机输出轴与所述不完全齿轮固定连接。
[0007]进一步的,所述支撑轴外壁两端对称设有扭簧,所述扭簧一端与所述支撑轴卡接,所述扭簧另一端与所述过滤箱内壁卡接。
[0008]进一步的,所述过滤箱外壁于所述过滤腔底部一侧设有活动连接的第一密封板,所述过滤箱外壁于所述储料腔一侧设有活动连接的第二密封板,可将过滤腔内部过滤后的原料从过滤箱中取出,可将储料腔内部的原料从过滤箱中取出,操作方便快捷。
[0009]进一步的,所述过滤箱顶部设有进料架,所述进料架与所述进料腔贯通,通过进料架将原料投入到过滤箱中,操作便捷。
[0010]进一步的,所述弧形板的扇形角大于二百四十度,且所述弧形板的扇形角小于三
百度,避免原料未经过滤处理直接落到过滤腔内部。
[0011]与现有技术相比,本技术所达到的有益效果是:
[0012]1、本技术通过设置进料腔、过滤腔、储料腔、弧形板、弧形槽和毛刷,弧形板对原料进行过滤过程中,对弧形板进行钟摆式转动驱动,实现弧形板在进料腔和过滤腔之间进行摆动,可实现对原料的摆动式过滤处理,可有效加强对原料的过滤处理效果,同时可有效避免原料堵塞过滤孔,同时毛刷对弧形板表面的过滤孔进行清洁处理,可有效将堵塞在过滤孔中的大颗粒原料进行清除,可有效快速对弧形板上的过滤孔进行清洁处理,进而保证对石英坩埚原料的过滤处理效果;
[0013]2、本技术通过设置支撑轴、连接杆、齿轮、不完全齿轮、电机和扭簧,启动电机,不完全齿轮带动齿轮进行旋转运动,扭簧回弹,带动支撑轴进行复位,进而带动弧形板进行复位,进而实现弧形板的往复式摆动运动,进一步加强对原料的过滤处理效果,加强对弧形板上过滤孔的清洁处理效果。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本技术的实施例一起用于解释本技术,并不构成对本技术的限制。在附图中:
[0015]图1是本技术的整体主视图;
[0016]图2是本技术的整体主视剖面图;
[0017]图3是本技术的整体另一个位置的主视剖面图;
[0018]图4是本技术图3中A处的放大示意图;
[0019]图中:1、过滤箱;2、进料腔;3、过滤腔;4、储料腔;5、弧形板;6、过滤孔;7、弧形槽;8、毛刷;9、支撑轴;10、连接杆;11、齿轮;12、不完全齿轮;13、电机;14、扭簧;15、第一密封板;16、第二密封板;17、进料架。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]如图1

图2所示的单晶石英坩埚生产用原料过滤装置,包括过滤箱1,所述过滤箱1内部设有进料腔2、过滤腔3和储料腔4,所述过滤腔3设于所述进料腔2和所述储料腔4之间,所述进料腔2设于所述储料腔4上方,所述过滤箱1内部于所述进料腔2和所述过滤腔3之间设有活动连接的弧形板5,所述弧形板5表面均匀开设有若干个过滤孔6,所述过滤箱1内壁设有与所述弧形板5相匹配的弧形槽7,所述弧形槽7与所述储料腔4贯通,所述弧形槽7内壁于所述弧形板5外侧设有毛刷8;所述过滤箱1外壁于所述过滤腔3底部一侧设有活动连接的第一密封板15,第一密封板15对过滤腔3进行密封处理,将第一密封板15打开,可将过滤腔3内部过滤后的原料从过滤箱1中取出,操作便捷,所述过滤箱1外壁于所述储料腔4一侧设有活动连接的第二密封板16,第二密封板16对储料腔4进行密封处理,打开第二密封板16,可将储料腔4内部的原料从过滤箱1中取出,操作方便快捷;所述过滤箱1顶部设有进料架17,
所述进料架17与所述进料腔2贯通,通过进料架17将原料投入到过滤箱1中,操作便捷;所述弧形板5的扇形角大于二百四十度,且所述弧形板5的扇形角小于三百度,保证弧形板5在转动过程中始终对原料进行过滤处理,避免原料未经过滤处理直接落到过滤腔3内部。
[0022]实施方式具体为:通过设置进料腔2、过滤腔3、储料腔4、弧形板5、弧形槽7和毛刷8,将石英坩埚原料投入到过滤箱1内部,原料首先进入到进料腔2内部,弧形板5在进料腔2和过滤腔3之间对原料进行过滤处理,进料腔2内部的原料穿过弧形板5上的过滤孔6进入到过滤腔3内部,弧形板5对原料进行过滤过程中,对弧形板5进行钟摆式转动驱动,实现弧形板5在进料腔2和过滤腔3之间进行摆动,可实现对原料的摆动式过滤处理,可有效加强对原料的过滤处理效果,同时可有效避免原料堵塞过滤孔6,同时弧形板5在摆动过程中在弧形槽7内侧往复滑动,弧形槽本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.单晶石英坩埚生产用原料过滤装置,包括过滤箱(1),其特征在于:所述过滤箱(1)内部设有进料腔(2)、过滤腔(3)和储料腔(4),所述过滤腔(3)设于所述进料腔(2)和所述储料腔(4)之间,所述进料腔(2)设于所述储料腔(4)上方,所述过滤箱(1)内部于所述进料腔(2)和所述过滤腔(3)之间设有活动连接的弧形板(5),所述弧形板(5)表面均匀开设有若干个过滤孔(6),所述过滤箱(1)内壁设有与所述弧形板(5)相匹配的弧形槽(7),所述弧形槽(7)与所述储料腔(4)贯通,所述弧形槽(7)内壁于所述弧形板(5)外侧设有毛刷(8)。2.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用原料过滤装置,其特征在于:所述过滤箱(1)内壁设有转动连接的支撑轴(9),所述支撑轴(9)的横截面圆心与所述弧形板(5)的圆心重合,所述支撑轴(9)外壁顶部设有若干个连接杆(10),所述连接杆(10)与所述弧形板(5)内壁固定连接,所述支撑轴(9)外壁一端套设有齿轮(11),所述过滤箱(1)内壁设有与...

【专利技术属性】
技术研发人员:张国忠高文送汪涵朱海江李国洪朱燕亚
申请(专利权)人:无锡市尚领石英科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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