一种石墨盘旋转保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及石墨盘防护装置技术领域，尤其涉及一种石墨盘旋转保护装置。其技术方案包括：设置有第一支撑件，第一支撑件的顶部设置有转动底座，转动底座均匀设置有用于固定石墨盘的定位机构，转动底座设置有内腔，内腔中设置有用于调节定位机构的抵接机构。本实用新型专利技术通过支撑件、丝杆、四面锥块、万向球、T形块、抵接杆和限位板的配合，实现能够对石墨盘的底部进行多个范围的支撑，将石墨盘的重量分散，避免石墨盘在旋转时承受的扭矩力过载而导致镀层脱落，从而有效提升石墨盘的使用寿命，同时，支撑件的支撑范围能够根据不同直径的石墨盘做出调整，因此提高了保护装置的适用范围。因此提高了保护装置的适用范围。因此提高了保护装置的适用范围。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨盘旋转保护装置


[0001]本技术涉及石墨盘防护装置
，尤其涉及一种石墨盘旋转保护装置。

技术介绍

[0002]目前，在半导体外延工艺时使用的石墨盘大部分都采用旋转式，石墨盘下表面的中心处嵌有一个截面为方形的旋转件。将电机驱动轴通过旋转轴与旋转件驱动连接，能够使旋转轴驱动旋转件转动，进而可以利用旋转件将扭矩力传递至石墨盘，驱动石墨盘发生转动。
[0003]经检索，中国专利申请号为CN201920823108.9的文件公开了一种一种石墨盘组件，该石墨盘组件包括：石墨盘，石墨盘用于放置待加工件；支撑架，支撑架包括多个支撑件，每个支撑件均与石墨盘连接，支撑架用于对石墨盘进行支撑并驱动石墨盘转动。通过本申请提供的技术方案，能够解决现有技术中的石墨盘易损坏的问题。
[0004]其虽然能够对石墨盘的底部进行多个方位的连接支撑，但无法根据石墨盘的直径做出调整，因此适用范围较小，故需要对其作出改进。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是针对
技术介绍
中存在的问题，提出一种能够根据石墨盘的直径做出调整的石墨盘旋转保护装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨盘旋转保护装置，包括第一支撑件(1)，其特征在于：所述第一支撑件(1)的顶部设置有转动底座(2)，所述转动底座(2)均匀设置有用于固定石墨盘的定位机构，所述转动底座(2)设置有内腔，内腔中设置有用于调节定位机构的抵接机构。2.根据权利要求1所述的一种石墨盘旋转保护装置，其特征在于：抵接机构包括有丝杆(8)，所述转动底座(2)的顶部固定设置有固定套筒(6)，所述丝杆(8)的顶部贯穿内腔的顶部腔壁，并开设有六角槽，且所述丝杆(8)的杆体上部设置有定位销(4)。3.根据权利要求2所述的一种石墨盘旋转保护装置，其特征在于：所述丝杆(8)的杆体设置有四面锥块(9)，所述丝杆(8)与所述四面锥块(9)螺纹连接，所述四面锥块(9)的外壁均匀开设有T形...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘雪辉，
申请(专利权)人：上海智甡光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：