测量单元制造技术

本发明专利技术提供一种可抑制噪声的测量单元。本发明专利技术的测量单元具有：接地部，其形成导通地线用的电位的线路一部分，且一端侧的表面形成为平面；信号部，其形成导通测量用的信号的线路一部分，且端部露出于与接地部的平面同一平面上；绝缘性的介电部，设于接地部与信号部之间；导电性的第一接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与信号部接触；以及导电性的第二接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与接地部接触。且与接地部接触。且与接地部接触。

【技术实现步骤摘要】
测量单元


[0001]本专利技术涉及一种测量单元。

技术介绍

[0002]过去，在半导体集成电路及液晶面板等检查对象的导通状态检查或动作特性检查中，使用连接于检查装置的电缆、及连接于电缆的与检查装置侧相反侧的端部的连接部件(例如，参照专利文献1)。电缆具有：中心处的信号导体、覆盖信号导体的电介质、及覆盖电介质的接地导体。连接部件具有：与信号导体连接的中心接点、以及与接地导体接触的侧方接点。
[0003]专利文献1：日本专利4678993号公报

技术实现思路

[0004]然而，记载于专利文献1的构成中，将电缆端部倾斜切割而与连接部件连接。在该连接部分中，传送线路从同轴线路变成所谓共面线路，因为线路变更而容易产生噪声。
[0005]本专利技术是鉴于上述情形而完成的，其目的在于提供一种可抑制噪声的测量单元。
[0006]为了解决上述问题而达成目的，本专利技术的测量单元包括：接地部，其形成导通地线用的电位的线路一部分，且一端侧的表面形成为平面；信号部，其形成导通测量用的信号的线路一部分，且端部露出于与上述接地部的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量单元，其特征在于，包括：接地部，其形成导通地线用的电位的线路一部分，且一端侧的表面形成为平面；信号部，其形成导通测量用的信号的线路一部分，且端部露出于与所述接地部的所述平面同一平面上；绝缘性的介电部，其设于所述接地部与所述信号部之间；导电性的第一接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与所述信号部接触；以及导电性的第二接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与所述接地部接触。2.根据权利要求1所述的测量单元，其特征在于，包括：接地板；以及同轴电缆，其连接于所述接地板，所述同轴电缆具有：信号导体，其形成所述信号部的所述线路的一部分；电介质，其设于所述信号导体的外周；以及接地导体，其设于所述电介质的外周，所述信号导体构成所述信号部，所述电介质构成所述介电部，所述接地导体及所述接地板构成所述接地部。3.根据权利要求2所述的测量单元，其特征在于：在所述接地板上形成有贯穿孔，其插通所述接地导体。4.根据权利要求2所述的测量单元，其特征在于：在所述接地板上形成有贯穿孔，其插通所述电介质，所述接地导体与所述接地板的表面电连接。5.根据权利要求1所述的测量单元，其特征在于，包括：接地板；以及同轴电缆，其连接于所述接地板，所述接地板具有：信号中继部，其形成所述信号部的所述线路的一部分；以及接地板侧电介质，其覆盖所述信号中继部的外周，所述同轴电缆具有：信号导体，其形成所述信号部的所述线路的一部分，并与所述信号中继...

【专利技术属性】
技术研发人员：井沼毅，中山浩志，高桥秀志，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：