测量单元制造技术

本发明专利技术提供一种可抑制噪声的测量单元。本发明专利技术的测量单元具有：接地部，其形成导通地线用的电位的线路一部分，且一端侧的表面形成为平面；信号部，其形成导通测量用的信号的线路一部分，且端部露出于与接地部的平面同一平面上；绝缘性的介电部，设于接地部与信号部之间；导电性的第一接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与信号部接触；以及导电性的第二接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与接地部接触。且与接地部接触。且与接地部接触。

【技术实现步骤摘要】
测量单元


[0001]本专利技术涉及一种测量单元。

技术介绍

[0002]过去，在半导体集成电路及液晶面板等检查对象的导通状态检查或动作特性检查中，使用连接于检查装置的电缆、及连接于电缆的与检查装置侧相反侧的端部的连接部件(例如，参照专利文献1)。电缆具有：中心处的信号导体、覆盖信号导体的电介质、及覆盖电介质的接地导体。连接部件具有：与信号导体连接的中心接点、以及与接地导体接触的侧方接点。
[0003]专利文献1：日本专利4678993号公报

技术实现思路

[0004]然而，记载于专利文献1的构成中，将电缆端部倾斜切割而与连接部件连接。在该连接部分中，传送线路从同轴线路变成所谓共面线路，因为线路变更而容易产生噪声。
[0005]本专利技术是鉴于上述情形而完成的，其目的在于提供一种可抑制噪声的测量单元。
[0006]为了解决上述问题而达成目的，本专利技术的测量单元包括：接地部，其形成导通地线用的电位的线路一部分，且一端侧的表面形成为平面；信号部，其形成导通测量用的信号的线路一部分，且端部露出于与上述接地部的上述平面同一平面上；绝缘性的介电部，其设于上述接地部与上述信号部之间；导电性的第一接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与上述信号部接触；以及导电性的第二接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与上述接地部接触。
[0007]此外，本专利技术的测量单元，在上述专利技术中包括：接地板；以及同轴电缆，其连接于上述接地板，上述同轴电缆具有：信号导体，其形成上述信号部的上述线路的一部分；电介质，其设于上述信号导体的外周；以及接地导体，其设于上述电介质的外周，上述信号导体构成上述信号部，上述电介质构成上述介电部，上述接地导体及上述接地板构成上述接地部。
[0008]此外，本专利技术的测量单元，在上述专利技术中，在上述接地板上形成有贯穿孔，其插通上述接地导体。
[0009]此外，本专利技术的测量单元，在上述专利技术中，在上述接地板上形成有贯穿孔，其插通上述电介质，上述接地导体与上述接地板的表面电连接。
[0010]此外，本专利技术的测量单元，在上述专利技术中包括：接地板；以及同轴电缆，其连接于上述接地板，上述接地板具有：信号中继部，其形成上述信号部的上述线路的一部分；以及接地板侧电介质，其覆盖上述信号中继部的外周，上述同轴电缆具有：信号导体，其形成上述信号部的上述线路的一部分，并与上述信号中继部电连接；电缆侧电介质，其设于上述信号导体的外周；以及接地导体，其设于上述电缆侧电介质的外周，在上述接地板的与上述信号中继部及上述接地板侧电介质不同位置与上述接地板电连接，上述信号中继部及上述信号导体构成上述信号部，上述接地板侧电介质及上述电缆侧电介质构成上述介电部，上述接地导体及上述接地板构成上述接地部。
[0011]此外，本专利技术的测量单元，在上述专利技术中，在上述接地板上连接多条上述同轴电缆。
[0012]此外，本专利技术的测量单元，在上述专利技术中包括同轴电缆，其具有：信号导体，其形成上述信号部的上述线路；电介质，其设于上述信号导体的外周，而构成上述介电部；以及接地导体，其设于上述电介质的外周，而构成上述接地部，上述接地导体具有：筒状部，其沿着上述信号导体及上述电介质延伸；以及平板部，其设于上述筒状部的一端部，并呈平板状，上述信号导体及上述电介质的端面位于与上述平板部的表面同一平面上。
[0013]此外，本专利技术的测量单元，在上述专利技术中，包括每组由上述信号导体、上述电介质及上述筒状部构成的多个组。
[0014]此外，本专利技术的测量单元，在上述专利技术中包括：第一连接部，其具有上述接地部、上述信号部及上述介电部；以及第二连接部，其具有上述接地部、上述信号部及上述介电部，且与上述第一连接部相对而设置，上述第一接触探针及第二接触探针的一端与上述第一连接部接触，另一端与上述第二连接部接触。
[0015]采用本专利技术能够获得可抑制噪声的效果。
附图说明
[0016]图1是表示本专利技术一实施方式的测量系统的结构的图。
[0017]图2是用于说明图1所示的测量系统的部分结构的图。
[0018]图3是表示收容于探针座的探针的详细结构的图。
[0019]图4是用于说明探针与接地板的连接状态的图。
[0020]图5是图4的一部分的放大图。
[0021]图6是用于说明接地板与同轴电缆的结构的图。
[0022]图7是用于说明变形例1的接地板及同轴电缆的结构的图。
[0023]图8是用于说明变形例2的接地板及同轴电缆的结构的图。
[0024]图9是用于说明变形例3的同轴电缆的结构的图。
[0025]图10是用于说明变形例4的同轴电缆的结构的图。
[0026]图11是表示变形例4的同轴电缆与探针的接触状态的一个示例的立体图。
[0027]符号说明
[0028]1测量单元
[0029]2接触探针(探针)
[0030]3探针座
[0031]4第一接地板
[0032]5第二接地板
[0033]6第一同轴线部
[0034]7第二同轴线部
[0035]21第一柱塞
[0036]22第二柱塞
[0037]23线圈弹簧
[0038]31第一部件
[0039]32第二部件
[0040]51第二信号导体
[0041]52第二电介质
[0042]61、71、71A至71D同轴电缆
[0043]62、72信号导体
[0044]63、73电介质
[0045]64、74、74A至74C接地导体
[0046]72A第一信号导体
[0047]73A第一电介质
具体实施方式
[0048]以下，参照附图说明用于实施本专利技术的方式(以下，称“实施方式”)。另外，附图只是示意图，各部分的厚度与宽度的关系、各个部分的厚度的比率等会与实际不同，附图相互间也含有彼此的尺寸的关系及比率不同的部分。
[0049]实施方式
[0050]图1是表示本专利技术一实施方式的测量系统的结构的图。图2是用于说明图1所示的测量系统的部分结构的图。图2表示在测量单元1中去除后述的探针座3的结构。测量系统具有：测量单元1；对测量对象输入输出信号的测量装置100；及连接测量单元1与测量装置100的连接电缆110、120。
[0051]测量单元1具有：接触探针2(以下，简称为“探针2”)；收容探针2的探针座3；第一接地板4；第二接地板5；第一同轴线部6；第二同轴线部7。
[0052]图3是表示收容于探针座的探针的详细结构的图。探针2具有导电性，并在长度方向两端与第一接地板4及第二接地板5连接。探针2使用导电性材料而形成，并具有：与第一接地板4接触的第一柱塞21；与第二接地板5接触的第二柱塞22；及设于第一柱塞21与第二柱塞22之间并将第一柱塞21与第二柱塞22连结以使该探针2伸缩自如的线圈弹簧23。构成探针2的第一柱塞21、第二柱塞本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量单元，其特征在于，包括：接地部，其形成导通地线用的电位的线路一部分，且一端侧的表面形成为平面；信号部，其形成导通测量用的信号的线路一部分，且端部露出于与所述接地部的所述平面同一平面上；绝缘性的介电部，其设于所述接地部与所述信号部之间；导电性的第一接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与所述信号部接触；以及导电性的第二接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与所述接地部接触。2.根据权利要求1所述的测量单元，其特征在于，包括：接地板；以及同轴电缆，其连接于所述接地板，所述同轴电缆具有：信号导体，其形成所述信号部的所述线路的一部分；电介质，其设于所述信号导体的外周；以及接地导体，其设于所述电介质的外周，所述信号导体构成所述信号部，所述电介质构成所述介电部，所述接地导体及所述接地板构成所述接地部。3.根据权利要求2所述的测量单元，其特征在于：在所述接地板上形成有贯穿孔，其插通所述接地导体。4.根据权利要求2所述的测量单元，其特征在于：在所述接地板上形成有贯穿孔，其插通所述电介质，所述接地导体与所述接地板的表面电连接。5.根据权利要求1所述的测量单元，其特征在于，包括：接地板；以及同轴电缆，其连接于所述接地板，所述接地板具有：信号中继部，其形成所述信号部的所述线路的一部分；以及接地板侧电介质，其覆盖所述信号中继部的外周，所述同轴电缆具有：信号导体，其形成所述信号部的所述线路的一部分，并与所述信号中继...

【专利技术属性】
技术研发人员：井沼毅，中山浩志，高桥秀志，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：