面向集成电路测试的多腔体防错自动控制烘烤箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种面向集成电路测试的多腔体防错自动控制烘烤箱。该烘烤箱包括烘烤箱本体，烘烤箱本体内具有多个相互连通的烘烤腔，各烘烤腔的朝向烘烤箱本体正面的一侧均具有烘烤入口；各烘烤腔的与烘烤箱本体的正面相对的内侧均设有检测传感器，用于检测烘烤腔内是否存在待烘烤物料；多个腔室门，均安装在烘烤箱本体的正面，并且多个腔室门分别与多个烘烤腔的烘烤入口相对应，以封堵或打开烘烤入口；多个载体抽屉，分别可抽拉地安装在多个烘烤腔内，载体抽屉内用于承载待烘烤物料。该烘烤箱能够有效避免人为错误取放烘烤产品，并保证烘烤箱内温度的稳定性。证烘烤箱内温度的稳定性。证烘烤箱内温度的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
面向集成电路测试的多腔体防错自动控制烘烤箱


[0001]本技术涉及一种面向集成电路测试的多腔体防错自动控制烘烤箱，属于集成电路封测


技术介绍

[0002]随着时代的发展，汽车、电脑、手机已经成为我们日常工作及生活娱乐的重要组成部分。这些主要归功于集成电路技术的突飞猛进。集成电路的集成度越来越高，功能越来越强大，体积越来越小。集成电路测试业正成为集成电路产业中一个不可或缺的独立行业。烘烤箱在测试过程中，作为去除集成电路中水分，保障芯片稳定性的设备，起着至关重要的作用。
[0003]集成电路芯片被组装成终端电子产品之前需要按照芯片性能进行筛选。该性能筛选过程即为芯片测试环节。测试环节接收晶圆切片封装后的产品，为了保证产品性能不受湿气的影响，在性能测试机测试之前或之后会经过烘烤步骤，用于排出产品存在的湿气。通常情况下，根据工艺要求在一百度以上环境内烘烤10多个小时。
[0004]目前，通常使用的芯片烘烤箱采用传统方式及结构，即一个整体大腔室内设置多层隔板，用于放置更多的烘烤产品。根据生产需求，人员将单批次或多批次产品放置于烘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种面向集成电路测试的多腔体防错自动控制烘烤箱，其特征在于包括：烘烤箱本体，内部具有多个相互连通的烘烤腔，各所述烘烤腔朝向所述烘烤箱本体正面的一侧均具有烘烤入口；多个腔室门，均安装在所述烘烤箱本体的正面，并且所述多个腔室门分别与所述多个烘烤腔的烘烤入口相对应，以封堵或打开所述烘烤入口；多个载体抽屉，分别可抽拉地安装在所述多个烘烤腔内，所述载体抽屉内用于承载待烘烤物料。2.如权利要求1所述的多腔体防错自动控制烘烤箱，其特征在于：所述腔室门上安装有腔室标签，所述腔室标签的一侧设有标签伸缩机构，所述标签伸缩机构可沿设定方向伸缩移动，以遮挡或曝露所述腔室标签。3.如权利要求2所述的多腔体防错自动控制烘烤箱，其特征在于：所述标签伸缩机构包括伸缩气缸、固定块和遮挡板，所述伸缩气缸固定在所述腔室标签的一侧，所述固定块固定在所述伸缩气缸的动力输出端上，所述遮挡板固定在所述固定块上靠近所述腔室门的一侧，所述伸缩气缸的动力输出端可带动所述固定块沿靠近或远离所述腔室标签的方向伸缩移动，以带动所述遮挡...

【专利技术属性】
技术研发人员：范建华，戴俊玺，
申请(专利权)人：北京唯捷创芯精测科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：