【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微机电装置，特别涉及一种微机电致动装置。
技术介绍
微机电装置可用于许多不同产业，例如，除医疗器材、感测装置外， 在许多显示装置中也可以看见微机电装置的应用。微机电致动装置主要用 于控制及驱动微机电装置，是微机电装置中不可或缺的组成部分。传统微机电致动装置可分为两大类，分别是梳状致动装置和平板致动装置。梳状致动的微机电致动装置，如美国专利案号US7205174所述，其 具有静止部份和可动部份。静止部份和可动部份各自有梳状的电极，每个 梳齿电极相互交错。由于静止部份被连接到直流电压，可动部份接地，使 得静止梳齿电极与可动梳齿电极产生电位差，利用电位差产生的静电力致 动可动部份，促使其转动接近静止部份或转动远离静止部份。在美国专利 案号US7205174中的各个梳齿电极是利用绝缘硅片(Silicon-on-insulator， SOI)技术制造而成。平板致动的微机电致动装置，如美国专利公开号US20070058238，其 包含可动部份，位于静止部份的上方。可动部份的底部及静止部份的表面 分别有电极平板，同样，可动部份的电极与静止部份的电极之间的电...
【技术保护点】
一种微机电致动装置，其包括：一个可动部分，其包含： 一个倾斜部分，其具有至少一个倾斜面；以及 多个可动梳齿，其位于所述可动部分的至少一个边上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王丛舜，
申请(专利权)人：香港应用科技研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：HK[中国|香港]
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