一种TCO叠层异质结太阳能结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种TCO叠层异质结太阳能结构，包括基底，所述基底正面依次设置正面本征非晶硅薄膜、正面掺杂非晶硅薄膜、正面第一层透明导电薄膜、正面第二层透明导电薄膜和正面金属电极；所述基底背面依次设置背面本征非晶硅薄膜、背面掺杂非晶硅薄膜、背面第一层透明导电薄膜、背面第二层透明导电薄膜和背面金属电极。本实用新型专利技术极大程度上控制了异质结电池的结构，解决了光学性能和电学性能无法兼得的问题，进一步提高太阳能电池的转化效率，降低了成本。低了成本。低了成本。

【技术实现步骤摘要】
一种TCO叠层异质结太阳能结构


[0001]本技术涉及太阳能电池制造领域，特别涉及一种TCO叠层异质结太阳能结构。

技术介绍

[0002]为了实现碳中和，迫切要求光伏等非核清洁能源快速发展，要求开发具有高效、低成本的太阳能电池，其中异质结太阳能电池因其具有高转换效率、低温度系数好以及简单的低温工艺而受到广泛关注。
[0003]现有的异质结太阳能电池制备过程包括：(1)制绒清洗；(2)非晶硅沉积；(3)TCO沉积；(4)丝网印刷电级。因为异质结太阳能电池发射极的横向导电性比较差，仅通过金属电极从发射极收集电流是不够的，因此需要在非晶硅薄膜上再沉积一层TCO，来收集电流。TCO薄膜同时具有透明性和导电性。TCO薄膜的电阻率与载流子浓度和迁移率成反比，通过减少载流子浓度，可以减少自由载流子的吸收，从而提高光透过率，但是减少载流子浓度会导致薄膜电阻率上升而影响TCO薄膜导电性能。传统的 TCO的光学性能和电学性能无法兼得。那么如何改善异质结TCO膜层，以提高光电转换效率变得尤为重要。
[0004]因此，提供一种兼备光学性能和电学性能的T本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TCO叠层异质结太阳能结构，包括基底(6)，其特征在于，所述基底(6)正面依次设置正面本征非晶硅薄膜(5)、正面掺杂非晶硅薄膜(4)、正面第一层透明导电薄膜(3)、正面第二层透明导电薄膜(2)和正面金属电极(1)；所述基底(6)背面依次设置背面本征非晶硅薄膜(7)、背面掺杂非晶硅薄膜(8)、背面第一层透明导电薄膜(9)、背面第二层透明导电薄膜(10)和背面金属电极(11)；所述正面第一层透明导电薄膜(3)、正面第二层透明导电薄膜(2)、背面第一层透明导电薄膜(9)和背面第二层透明导电薄膜(10)厚度相等；所述正面第一层透明导电薄膜(3)的光透过率大于正面第二层透明导电薄膜(2)的光透过率，所述正面第一层透明导电薄膜(3)的电阻率小于正面第二层透明导电薄膜(2)的电阻率；所述背面第一层透明导电薄膜(9)的光透过率大于背面第二层透明导电薄膜(10)的光透过率，所述背面第一层透明导电薄膜(9)的电阻率小于背面第二层透明导电薄膜(10)的电阻率；所述正面第一层透明导电薄膜3和背面第一层透明导电薄膜9在磁控溅射沉积时通过调整氧流量为1.8cm3.min
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1～2.2cm3.min
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1之间，使得光透过率为85％以上；所述正面第二层透明导电薄膜2和背面第二层透明导电薄膜10在磁控溅射沉积时通过调整氧流量为0.3cm3.min
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1～0.7cm3.min
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【专利技术属性】
技术研发人员：李莎，黄金，鲁林峰，李东栋，杨立友，王继磊，鲍少娟，杨文亮，师海峰，任法渊，贾慧君，
申请(专利权)人：晋能清洁能源科技股份公司，
类型：新型
国别省市：