一种CVD粉尘半干法处理工艺及处理系统技术方案

本发明专利技术涉及危废物处理技术领域，具体公开了一种CVD粉尘半干法处理工艺，其中处理工艺为将CVD粉尘和药剂通入反应釜中进行反应，反应过程中加水以控制反应釜内物料含水率为30～40％，反应完成后进行填埋处理；所述药剂由石灰、氯化钙和磷酸二氢钾组成。本发明专利技术处理成本低，与传统方法相比，成本节约50％以上，处置过期节省50％以上，处理后的物料中反应完成后TCLP浸出合格，氟化物小于120mg/L,氨氮小于2000mg/L，处理后的物料硬化成型度好，检测合格后可直接填埋处理。本发明专利技术还公开了一种CVD粉尘处理系统，操作便利，易于控制，安全度高。安全度高。安全度高。

【技术实现步骤摘要】
一种CVD粉尘半干法处理工艺及处理系统


[0001]本专利技术涉及粉尘危险废物无害化处理
，具体涉及一种CVD粉尘半干法处理工艺及处理系统。

技术介绍

[0002]危险废物名录中HW49类的名为CVD粉尘的危险废物，其来源之一为光电行业，企业利用气态原料通过化学反应在样品表面沉积形成固态薄膜，反应过程和清洗过程中产生的气体有SiH4、PH3、NH3和NF3，这些气体通过氧化燃烧的方式处理，烟气经布袋收集得到CVD粉尘，CVD粉尘的主要成分包括氟化铵和二氧化硅，其检测性质如下：白色粉末状(有小块)，含氟高达43.9％，在搅拌状态下形成悬浮物及部分溶解，溶解液为强酸性，含高氨氮，含少量重金属(As、Pb、Ni、Cr)。按照国家法律法规要求，其必须按照危险废物进行管理与安全性处置。现有技术中CVD粉尘的处理工艺为粉尘溶解
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中和沉淀
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过滤
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高盐水蒸发，由于CVD粉尘溶解性较差，溶解需要使用大量的水才能形成悬浮物，溶解后再处理一方面消耗水资源并产生大量高盐废水，另一方面导致后续处理需要处置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CVD粉尘半干法处理工艺，其特征在于，将CVD粉尘和药剂通入反应釜中进行反应，反应过程中加水以控制反应釜内物料含水率为30～40％，反应完成后进行填埋处理；所述药剂由石灰、氯化钙和磷酸二氢钾组成。2.根据权利要求1所述的CVD粉尘半干法处理工艺，其特征在于，所述CVD粉尘与药剂的质量比为1:1～2，药剂中，石灰、氯化钙和磷酸二氢钾的质量比为1:0.2～0.3:0.2～0.3。3.根据权利要求1所述的CVD粉尘半干法处理工艺，其特征在于，CVD粉尘中砷含量1～2mg/L、总铅含量2～3mg/L、氟化物含量为80000～90000mg/L、氨氮含量为40000～50000mg/L。4.根据权利要求1所述的CVD粉尘半干法处理工艺，其特征在于，反应过程中保持搅拌，反应时间为20～40min。5.根据权利要求1所述的CVD粉尘半干法处理工艺，其特征在于，反应过程中，反应釜内产生...

【专利技术属性】
技术研发人员：向杰鹏，郭琳，陈浩，鲁文涛，裴君辉，
申请(专利权)人：湖南瀚洋环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：