【技术实现步骤摘要】
用于扫描光纤显示器的成形光纤元件的制造方法和系统
[0001]本申请是申请号为201780079443.6的中国专利申请“用于扫描光纤显示器的成形光纤元件的制造方法和系统”(申请日为2017年12月21日)的分案申请。
[0002]相关申请的交叉引用
[0003]本申请要求2016年12月22日提交的题为“Methods and Systems for Fabrication of Shaped Fiber Elements for Scanning Fiber Displays(用于扫描光纤显示器的成形光纤元件的制造方法和系统)”的美国临时专利申请No.62/438,380的优先权,出于所有目的,其公开内容通过引用整体并入在此。
[0004]以下常规美国专利申请(包括本申请)同时提交,并且出于所有目的,其它申请的全部公开内容通过引用并入本申请中:
[0005]2017年12月21日提交的题为“METHODS AND SYSTEMS FOR FABRICATION OF SHAPED FIBER ELEMENTS FOR SCANNING FIBER DISPLAYS(用于扫描光纤显示器的成形光纤元件的制造方法和系统)”的美国专利申请No.15/851,005(代理人案号101782
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1060973
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002210US);
[0006]2017年12月21日提交的题为“METHODS AND SYSTEMS FOR FABRICATION OF SHAPED FIBER E ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种制造成形光纤的方法,所述方法包括:提供光纤电缆;用蚀刻护套覆盖所述光纤电缆的一部分以限定所述光纤电缆的暴露区域和所述光纤电缆的覆盖区域;将所述光纤电缆的所述暴露区域和所述蚀刻护套暴露于蚀刻剂溶液;响应于暴露于所述蚀刻剂溶液,去除所述光纤电缆的所述暴露区域的至少一部分;以及在所述蚀刻护套的至少一部分下方芯吸所述蚀刻剂溶液,以去除所述光纤电缆的所述覆盖区域的至少一部分。2.根据权利要求1所述的方法,其中,在所述蚀刻护套下方芯吸所述蚀刻剂溶液包括:所述蚀刻剂溶液的毛细管流动。3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述蚀刻护套包括邻近所述光纤电缆的所述暴露区域的近端部分,并且邻近所述近端部分形成凹角轮廓。4.根据权利要求3所述的方法,其中,所述光纤电缆的特征在于在所述覆盖区域的第一纵向位置处的第一直径和在比所述第一纵向位置更靠近所述暴露区域的第二纵向位置处的第二直径,所述第二直径大于所述第一直径。5.根据权利要求1所述的方法,其中,所述蚀刻剂溶液包括缓冲氧化物蚀刻液(BOE)。6.根据权利要求1所述的方法,还包括:去除所述蚀刻护套;用第二蚀刻护套覆盖所述光纤电缆的所述覆盖区域;将所述光纤电缆的所述暴露区域和所述第二蚀刻护套暴露于第二蚀刻剂溶液;以及在所述光纤电缆的所述暴露区域形成锥形轮廓。7.根据权利要求6所述的方法,其中,所述锥形轮廓的特征在于在所述暴露区域的第一纵向位置处的第一直径和在比所述第一纵向位置更远离所述覆盖区域的第二纵向位置处的第二直径,所述第二直径小于所述第一直径。8.根据权利要求6所述的方法,其中,所述蚀刻剂溶液和所述第二蚀刻剂溶液是相同的蚀刻剂溶液。9.一种制造锥形光线发射尖端的方法,所述方法包括:提供具有发射区域和发射面的光纤电缆;用抗蚀刻掩模涂覆所述发射区域和所述发射面;去除所述抗蚀刻掩模的一部分以暴露所述发射区域的与所述发射面邻近的一部分并形成侧壁掩模和分离的发射面掩模;提供蚀刻溶液;将所述发射区域插入所述蚀刻溶液中;蚀刻所述发射区域的一部分以形成连续更深的蚀刻轮廓;确定蚀刻端点;以及从所述蚀刻溶液中去除所述发射区域。10.根据权利要求9所述的方法,其中,确定蚀刻端点包括:检测所述分离的发射面掩膜与所述发射面的分离。
11.根据权利要求10所述的方法,其中,确定蚀刻端点还包括:使用机器视觉系统来监控所述分离的发射面掩膜与所述发射面的分离。12.根据权利要求9所述的方法,其中,所述侧壁掩模和所述分离的发射面掩模被具有预定长度的空间间隔分离。13.根据权利要求12所述的方法,其中,所述空间间隔的远端部分与所述发射面对齐。14.根据权利要求9所述的方法,其中,所述发射区域的所述部分的特征在于锥形轮廓。15.根据权利要求14所述的方法,其中,所述锥形轮廓的特征在于在所述发射区域的第一纵向位置处的第一直径和比所述第一纵向位置更靠近所述发射面的第二纵向位置处的第二直径,所述第二直径小于所述第一直径。16.根据权利要求15所述的方法,其中,所述蚀刻端点与在所述发射面处被减小到零的光纤电缆的直径相关联。17.根据权利要求9所述的方法,其中,蚀刻所述发射区域的一部分以形成连续更深的蚀刻轮廓包括:在所述侧壁掩模的至少一部分下方芯吸所述蚀刻溶液。18.根据权利要求17所述的方法,还包括:去除所述光纤电缆的被所述侧壁掩模覆盖的至少一部分。19.根据权利要求9所述的方法,还包括:在所述分离的发射面掩模的至少一部分下方芯吸所述蚀刻溶液。20.根据权利要求9所述的方法,其中,所述发射面的特征在于面直径,并且所述分离的发射面掩模的特征在于掩模直径小于所述面直径。21.一种光纤扫描系统的光纤元件,所述光纤元件包括:光纤电缆,其具有:输入区域;被耦合到所述输入区域的支撑区域;以及发光尖端,其中,所述支撑区域的特征在于第一直径,并且所述发光尖端的特征在于小于所述第一直径的第二直径;以及运动致动器,其具有:纵向侧构件;内孔,...
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