压力传感器、压力分析仪及其制备方法技术

本申请提供了一种压力传感器及包含其的压力分析仪，属于传感器技术领域。压力传感器包括刚性层和弹性层；所述刚性层包括光源和超透镜；所述超透镜设置在所述光源的发光侧；所述弹性层包括探测器和换能器；所述探测器设置于所述超透镜背离所述光源的一侧，且探测器的受光面朝向所述超透镜；所述换能器的一端连接所述超透镜，所述换能器的另一端连接所述探测器；所述换能器通过弹性形变改变所述探测器和所述超透镜的间距。本申请实施例提供的压力传感器通过测量光斑变化避免了测量电阻变化时的误差，提高了压力传感器的灵敏度和响应速度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
压力传感器、压力分析仪及其制备方法


[0001]本申请涉及传感器
，具体而言，涉及一种压力传感器、压力分析仪及其制备方法。

技术介绍

[0002]随着自动化技术的进步，作为工业设备中的重要元器件，压力传感器的发展迅速。
[0003]现有技术中的压力传感器包括电容式、电阻式、压电式和薄膜晶体管式。现有技术中的压力传感器主要通过测量弹性敏感元件中的电信号变化获得测量压力。
[0004]随着工业领域对压力传感器的小型化和灵敏度要求越来越高，现有压力传感器中弹性元件本身电阻因应力累积而产生信号延迟变化的限制，增加了电信号测量的误差，造成灵敏度降低，故而逐渐无法满足工业界的需求。
[0005]因此，亟需一种小型化、高灵敏度的压力传感器。

技术实现思路

[0006]为解决现有压力传感器小型化和灵敏度局限的技术问题，本申请实施例提供一种压力传感器、压力分析仪及其制备方法。
[0007]第一方面，本申请实施例提供了一种压力传感器，所述压力传感器包括刚性层和弹性层；
[0008]所述刚性层包括光源和超本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压力传感器，其特征在于，所述压力传感器包括刚性层(10)和弹性层(20)；所述刚性层(10)包括光源(110)和超透镜(120)；所述超透镜(120)设置在所述光源(110)的发光侧；所述弹性层(20)包括探测器(210)和换能器(220)；所述探测器(210)设置于所述超透镜(120)背离所述光源(110)的一侧，且探测器(210)的受光面朝向所述超透镜(120)；所述换能器(220)的一端连接所述超透镜(120)，所述换能器(220)的另一端连接所述探测器(210)；所述换能器(220)通过弹性形变改变所述探测器(210)和所述超透镜(120)的间距。2.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述探测器(210)与所述超透镜(120)的初始间距大于零且不等于所述超透镜(120)的焦距。3.如权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，所述探测器(210)与所述超透镜(120)的间距等于所述超透镜(120)的二分之一焦距。4.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述刚性层(10)还包括支撑器(130)；所述支撑器(130)的一端连接所述光源(110)，所述支撑器(130)的另一端连接所述超透镜(120)。5.如权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，所述光源(110)的发光面和所述超透镜(120)平行。6.如权利要求1
‑
5任一所述的压力传感器，其特征在于，所述超透镜(120)基底和设置在所述基底上的微结构层，其中，所述微结构层包括布置成阵列的微结构单元。7.如权利要求1
‑
5任一所述的压力传感器，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭凤泽，郝成龙，朱健，
申请(专利权)人：深圳迈塔兰斯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：