【技术实现步骤摘要】
一种粒径通道可调的尘埃粒子计数器
[0001]本技术涉及环境监测
,尤其涉及一种粒径通道可调的尘埃粒子计数器。
技术介绍
[0002]空气中颗粒物污染不仅危害人类健康,还是医药、电子、航空等行业生产及加工工艺中主要的污染来源,如在电子行业及芯片制造工业中,气体中微小颗粒物的沉积就会造成电气不良特性甚至更大的破坏,特别是近年来芯片线宽已经达到微米和亚微米级,这就对厂房内的空气洁净度提出了更高的要求。另外,在现代医学与药物及生物工程中,包括我国在内的世界各国制定实施的“药品生产质量管理规范GMP”中也着重对药品生产过程中空气中的颗粒物洁净度提出了要求。特别是随着《国家中长期科学和技术发展规划纲要》的贯彻执行,作为16个重大发展专项的核心电子器件、高端通用芯片、重大新药创制将会得到快速发展,这就使得颗粒计数测量和监测变得更加迫切。
[0003]目前主要用于空气洁净度测量的商业仪器为尘埃粒子计数器,称激光粒子计数器(也叫尘埃粒子计器,optical particle counter,OPC),其是利用空气中的微粒在光的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种粒径通道可调的尘埃粒子计数器,包括微处理器、信号采集装置和信号处理装置,所述微处理器分别与信号采集装置和信号处理装置连接,其特征在于:所述信号采集装置包括粒子计数传感器、流量传感器、高效过滤器和真空泵,所述粒子计数传感器、流量传感器、真空泵分别与微处理器连接;所述信号处理装置包括滤波电路、信号放大电路、一级电压放大电路、二级电压放大电路、电压缩小电路、电压跟随电路以及n个四选一模拟开关,所述滤波电路分别与粒子计数传感器和信号放大电路连接,所述信号放大电路分别与一级电压放大电路、二级电压放大电路、电压缩小电路和电压跟随电路连接,每一所述四选一模拟开关均与一级电压放大电路、二级电压放大电路、电压缩小电路和电压跟随电路连接,且每一所述四选一模拟开关均连接一个高速比较器,每一所述高速比较器连接一个数模转换电路,且每一所述高速比较器与微处理器的脉冲计数模块连接。2.如权利要求1所述的一种粒径通道可调的尘埃粒子计数器,其特征在于:所述粒子计数传感器包括气路腔体、光路发射单元、硅光电二极管、凹面镜、凸透镜、光阑和光陷阱,所述光路发射单元用于发射平行激光束,激光束经过气路腔体中的颗粒物产生散射光,散射光依次经凹面镜、凸透镜、光阑到硅光电二极管,所述硅光电二极管作为接受器用于接收散射光,所述光陷阱用于吸收...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄志煌,刘俊杰,
申请(专利权)人:福建省计量科学研究院福建省眼镜质量检验站,
类型:新型
国别省市:
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