硅压阻式气体压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开一种硅压阻式气体压力传感器，其包括：壳体，设有相分隔的第一腔室、第二腔室和第三腔室，第一腔室具有第一气嘴，第二腔室具有第二气嘴，壳体还设有校准流道和两条第一气流流道，校准流道连通第一腔室和第三腔室，一第一气流流道连通第一腔室和第三腔室，另一第一气流流道连通第二腔室和第三腔室；敏感元件，收容于第一腔室，硅压阻式气体压力敏感元件的背侧密封校准流道；导气管，设于第一腔室，导气管的一端管口连接至第一气嘴，导气管的另一端管口朝向远离硅压阻式气体压力敏感元件的方向延伸；密封塞，收容于第三腔室内；以及驱动件，驱动密封塞。本实用新型专利技术的技术方案旨在减少硅压阻式气体压力敏感元件附着的灰尘或油污。着的灰尘或油污。着的灰尘或油污。

【技术实现步骤摘要】
硅压阻式气体压力传感器


[0001]本技术涉及传感器
，特别涉及一种硅压阻式气体压力传感器。

技术介绍

[0002]硅压阻式气体压力传感器在工业生产中有着广泛的应用，比如管道压力、风速检测、无人机系统等等。由于硅压阻式气体压力传感器的应用环境复杂，硅压阻式气体压力敏感元件很可能会受到灰尘以及油污附着，从而影响硅压阻式气体压力传感器的性能。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的是提供一种硅压阻式气体压力传感器，旨在减少硅压阻式气体压力敏感元件附着的灰尘或油污。
[0004]为实现上述目的，本技术提出的硅压阻式气体压力传感器包括：
[0005]壳体，设有相分隔的第一腔室、第二腔室和第三腔室，所述第一腔室具有第一气嘴，所述第二腔室具有第二气嘴，所述壳体还设有校准流道和两条第一气流流道，所述校准流道连通所述第一腔室和所述第三腔室，一所述第一气流流道连通所述第一腔室和所述第三腔室，另一所述第一气流流道连通所述第二腔室和所述第三腔室；
[0006]硅压阻式气体压力敏感元件，收容于所述第一腔室，所述硅压阻式气体压力敏感元件的背侧密封所述校准流道；
[0007]导气管，设于所述第一腔室，所述导气管的一端管口连接至所述第一气嘴，所述导气管的另一端管口朝向远离所述硅压阻式气体压力敏感元件的方向延伸；
[0008]密封塞，收容于所述第三腔室内；以及
[0009]驱动件，驱动所述密封塞打开和关闭所述第一气流流道。
[0010]可选地，所述第一气流流道具有连通所述第一腔室的第一气流口，所述导气管的另一端管口朝向所述第一气流口。
[0011]可选地，所述导气管的另一端管口伸入所述第一气流流道，且所述导气管的半径小于所述第一气流流道的半径。
[0012]可选地，所述壳体的底部朝外延伸出两个安装凸耳。
[0013]可选地，所述安装凸耳设有螺纹孔。
[0014]可选地，所述硅压阻式气体压力传感器还包括两根气管，两所述气管位于所述壳体外，所述第一气嘴连通一所述气管，所述第二气嘴连通另一所述气管。
[0015]可选地，所述硅压阻式气体压力传感器还包括两根气管，两所述气管位于所述壳体外，所述第一气嘴连通一所述气管，所述第二气嘴连通另一所述气管。
[0016]可选地，所述气管的内壁铺设有吸附纸，所述吸附纸用以吸附灰尘或油烟。
[0017]可选地，所述吸附纸与所述气管可拆卸连接。
[0018]本技术的技术方案中，自第一气嘴进入的气体可能会带有灰尘或油污，第一气嘴进入的气体通过导气管的导向作用下朝远离硅压阻式气体压力敏感元件的方向流动，
该气体中的大部分灰尘或油污会先附着于第一腔室内的其他地方，如此到达硅压阻式气体压力敏感元件的灰尘或油污就会极大减少，保证硅压阻式气体压力敏感元件具有较高的性能，以及硅压阻式气体压力传感器有较长的使用寿命。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0020]图1为本技术MEMS硅压阻式气体压力传感器一实施例的剖视图；
[0021]图2为图1中A处的局部放大图；
[0022]图3为图1硅压阻式气体压力传感器的一视角的结构示意图；
[0023]图4为图3的抓手的剖视图；
[0024]图5为图3气管和吸附纸的剖视图；
[0025]图6为本技术硅压阻式气体压力传感器又一实施例的剖视图；
[0026]图7为图6中安装凸耳的结构视图。
[0027]附图标号说明：
[0028][0029][0030]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0031]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0033]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理
解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0034]另外，若本技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0035]参照图1至5，在本技术一实施例中，该硅压阻式气体压力传感器包括：
[0036]壳体100，设有相分隔的第一腔室111、第二腔室112和第三腔室131，所述第一腔室111具有第一气嘴，所述第二腔室112具有第二气嘴113，所述壳体100还设有校准流道140和两条第一气流流道150，所述校准流道140连通所述第一腔室111和所述第三腔室131，一所述第一气流流道150连通所述第一腔室111和所述第三腔室131，另一所述第一气流流道150连通所述第二腔室112和所述第三腔室131；
[0037]硅压阻式气体压力敏感元件121，收容于所述第一腔室111，所述硅压阻式气体压力敏感元件121的背侧密封所述校准流道140；
[0038]密封塞300，收容于第三腔室131内；以及
[0039]驱动件400，驱动密封塞300打开和关闭第一气流流道150。
[0040]下面对硅压阻式气体压力传感器的运行过程进行阐述：
[0041]S1：使硅压阻式气体压力传感器处于非工作状态；
[0042]S2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅压阻式气体压力传感器，其特征在于，包括：壳体，设有相分隔的第一腔室、第二腔室和第三腔室，所述第一腔室具有第一气嘴，所述第二腔室具有第二气嘴，所述壳体还设有校准流道和两条第一气流流道，所述校准流道连通所述第一腔室和所述第三腔室，一所述第一气流流道连通所述第一腔室和所述第三腔室，另一所述第一气流流道连通所述第二腔室和所述第三腔室；硅压阻式气体压力敏感元件，收容于所述第一腔室，所述硅压阻式气体压力敏感元件的背侧密封所述校准流道；导气管，设于所述第一腔室，所述导气管的一端管口连接至所述第一气嘴，所述导气管的另一端管口朝向远离所述硅压阻式气体压力敏感元件的方向延伸；密封塞，收容于所述第三腔室内；以及驱动件，驱动所述密封塞打开和关闭所述第一气流流道。2.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建国，杨格，王海峰，陈建环，郑灿林，
申请(专利权)人：深圳华美澳通传感器有限公司，
类型：新型
国别省市：