非空间测量结果校准方法及相关系统和设备技术方案

本文公开了用于针对被测设备(DUT)和非空间测量设备之间的错位来校准DUT的非空间测量结果的系统和方法。用于生成错位校准数据库的系统可以包括，例如，非空间测量设备和高精度平移台。系统可以通过取得在多个错位位置的DUT的测量结果来生成错位校准数据库。用于测量DUT的系统可以包括，例如，空间测量设备，非空间测量设备，平移台，和/或托盘。系统可以捕获在第一处的DUT的测量结果，并使用与第一处相对应的校准数据来针对错位校准测量结果。例如，系统可以从错位校准系统中得到接近DUT处的相同和/或不同位置取得的校准数据。的相同和/或不同位置取得的校准数据。的相同和/或不同位置取得的校准数据。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】非空间测量结果校准方法及相关系统和设备
[0001]相关申请交叉引用
[0002]本申请要求2019年10月30日提交的第62/928,237号美国临时申请的权益，其通过引用整体并入本文。


[0003]本技术一般涉及非空间测量结果校准方法，更具体地说，涉及用于针对错位方向和/或量校准非空间测量结果的方法(以及相关系统和设备)。

技术介绍

[0004]空间成像相机是用于捕获静态图像或记录运动图像的光学仪器。这些相机通常包括镜头和图像捕获机制(例如，电荷耦接器件(CCD)图像传感器或互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器)。为了捕获图像，镜头将场景中的光聚焦到图像捕获机制上，其捕获/记录图像中多个点的颜色和亮度。因此，成像相机捕获场景和/或场景中对象的空间信息(例如，相对位置，形状，大小，和/或方向数据)。
[0005]相比之下，非空间相机是用于捕获场景和/或场景内对象数据的仪器，这些数据与几何因素无关。这些相机通常将图像从空间体系转换为其他体系，例如傅里叶空间，角度空间，光谱空间等。例如，一种非空间相机是用于测量场景中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于生成错位校准数据库的方法，所述方法包括：将发射源设置在非空间测量设备的视场(FOV)内的第一位置处；使用所述非空间测量设备测量在所述第一位置的所述发射源，以生成第一校准数据；以及将所述第一校准数据和所述第一位置存储在错位校准数据库的一个或多个第一条目中，其中所述一个或多个第一条目将所述第一校准数据与所述第一位置相关联。2.根据权利要求1所述的方法，还包括：将所述发射源重新设置在所述FOV内的第二位置处，其中所述第二位置不同于所述第一位置；使用所述非空间测量设备测量在所述第二位置的所述发射源，以生成第二校准数据；以及将所述第二校准数据和所述第二位置存储在所述错位校准数据库的一个或多个第二条目中，其中所述一个或多个第二条目将所述第二校准数据与所述第二位置相关联。3.根据权利要求2所述的方法，其中所述第二校准数据包括校准图像，并且其中所述方法还包括生成所述校准图像，并且进一步地，其中生成所述校准图像包括，对于在所述第二位置的所述发射源的测量结果的每个像素：生成(i)所述发射源的目标测量结果的像素值和(ii)在所述第二位置的所述发射源的所述测量结果的对应像素值之间的比率；以及将所生成的比率设置为所述校准图像的对应像素值。4.根据权利要求3所述的方法，其中所述第一位置是所述非空间测量设备的所述FOV内的所述发射源与所述FOV完全对准的位置，并且其中所述方法还包括将在所述第一位置的所述发射源的测量结果设立为所述发射源的所述目标测量结果。5.根据权利要求3或4所述的方法，其中存储所述第二校准数据包括在所述错位校准数据库的所述一个或多个第二条目中存储所述校准图像的降低的分辨率版本。6.一种用于生成错位校准数据库的系统，所述系统包括：非空间测量设备，该非空间测量设备具有视场(FOV)并且被配置为测量被设置在所述FOV内处的发射源的非空间特性；以及高精度平移台，其被配置为在规定的精确度内，将所述发射源设置在所述非空间测量设备的所述FOV内的多个位置处，其中，所述系统被配置为：使用所述高精度平移台将所述发射源设置在所述非空间测量设备的所述FOV内的第一位置处，使用所述非空间测量设备测量在所述第一位置的所述发射源，以生成第一校准数据，以及将所述第一校准数据和所述第一位置存储在错位校准数据库的一个或多个第一条目中，其中所述一个或多个第一条目将所述第一校准数据与所述第一位置相关联。7.根据权利要求6所述的系统，其中所述系统还被配置为：使用所述高精度平移台将所述发射源重新设置在所述非空间测量设备的所述FOV内的第二位置处，其中所述第二位置不同于所述第一位置；
使用所述非空间测量设备测量在所述第二位置的所述发射源，以生成第二校准数据；以及将所述第二校准数据和所述第二位置存储在所述错位校准数据库的一个或多个第二条目中，其中所述一个或多个第二条目将所述第二校准数据与所述第二位置相关联。8.根据权利要求7所述的系统，其中所述第二校准数据包括校准图像，并且其中所述系统还被配置为生成所述校准图像，并且进一步地，其中为了生成所述校准图像，所述系统被配置为对于在所述第二位置的所述发射源的测量结果的每个像素：生成(i)所述发射源的目标测量结果的像素值和(ii)在所述第二位置的所述发射源的所述测量结果的对应像素值之间的比率；以及将所生成的比率设置为所述校准图像的对应像素值。9.根据权利要求8所述的系统，其中所述第一位置是所述非空间测量设备的所述FOV内的所述发射源与所述FOV完全对准的位置，并且其中所述系统还被配置为将在所述第一位置的所述发射源的测量结果设立为所述发射源的所述目标测量结果。10.根据权利要求8或9所述的系统，其中，为了存储所述第二校准数据，所述系统被配置为将所述校准图像的降低的分辨率版本存储在所述错位校准数据库的所述一个或多个第二条目中。11.一种用于测量被测设备(DUT)的方法，所述方法包括：确定在非空间测量设备的视场(FOV)内的DUT处；当所述DUT在所述处时，使用所述非空间测量设备测量所述DUT，以生成测量结果；以及使用与确定处相对应的至少一个校准图像，针对在所述处的所述DUT和所述非空间测量设备的所述FOV之间的错位，校准所述测量结果。12.根据权利要求11所述的方法，还包括从错位校准数据库得到一个或多个校准图像，其中：所述一个或多个校准图像包括或用于生成所述至少一个校准图像；所述一个或多个校准图像从在第二非空间测量设备的FOV内的一个或多个位置取得的发射源的一个或多个测量结果生成；以及所述一个或多个位置与在所述非空间测量设备的所述FOV内的所述DUT处相同和/或接近。13.根据权利要求11所述的方法，其中：得到所述一个或多个校准图像包括得到至少两个校准图像；所述至少一个校准图像是聚合校准图像；以及所述方法还包括通过以下方式生成所述聚合校准图像：对于所述至少两个校准图像的第一校准图像中的每个像素，使用(i)所述第一校准图像中的像素值和(ii)所述至少两个校准图像的一个或多个其他校准图像中的一个或多个对应像素值之间的线性插值或多项式插值，生成所述聚合校准图像的对应像素值。14.根据权利要求11
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13中任一权利要求所述的方法，其中使用所述至少一个校准图像校准所述测量结果包括，对于所述测量结果的每个像素，将所述测量结果的像素值乘以(a)所述至少一个校准图像的对应像素值或(b)从所述至少一个校准图像生成的聚合校准图像/所述聚合校准图像的对应像素值。
15.根据权利要求11
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14中任一权利要求所述的方法，还包括将所述至少一个校准图像变为全分辨率。16.根据权利要求11
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15中任一权利要求所述的方法，还包括确定所述DUT相对于所述非空间测量设备的所述FOV的方向，其中所述至少一个校准图像对应于确定出的所述DUT的方向。17.一种用于测量被测设备(DUT)的系统，所述系统包括：非空间测量设备，该非空间测量设备具有视场(FOV)并且被配置为当将所述DUT设置在所述FOV内处时测量所述DUT的非空间特性；托盘，该托盘被配置为保持或支撑所述DUT；以及平移台，该平移台被配置为将所述托盘与所述非空...

【专利技术属性】
技术研发人员：简斯，
申请(专利权)人：雷迪安特视觉系统有限公司，
类型：发明
国别省市：