TFT液晶面板用大尺寸衬底及其制造方法技术

本发明专利技术涉及衬底制造领域，公开了TFT液晶面板用大尺寸衬底及其制造方法，包括以下步骤：S1、将硅晶片加工成大尺寸衬底，并初步测量大尺寸衬底的平面度和平行度；S2、基于测量数据通过加工工具部分地去除所述衬底的凸出部分和较厚部分；S3、对该衬底的表面进行抛光并通过清洗装置对抛光后的衬底进行清洁。本发明专利技术通过放料组件、清洗组件、控制组件和贴合组件等之间的配合，可以实现清洗组件相对于放料组件、衬底盒和大尺寸衬底的往复移动，进而可以保证清洗组件与每个衬底盒的同样对应位置，可以保证清洗组件对每个大尺寸衬底的同样清洗力度，有效保证了对大尺寸衬底的清洗效果，进而保证了大尺寸衬底的加工质量和后期良品率。而保证了大尺寸衬底的加工质量和后期良品率。而保证了大尺寸衬底的加工质量和后期良品率。

【技术实现步骤摘要】
TFT液晶面板用大尺寸衬底及其制造方法


[0001]本专利技术涉及衬底制造
，特别涉及一种TFT液晶面板用大尺寸衬底及其制造方法。

技术介绍

[0002]硅晶片的制造工序包括：单晶体生长工序、切片工序、边缘磨削工序、精磨工序、抛光工序以及清洁工序。其中，清洁工序用于去除附着于晶片的磨料或异物，常用到去胶剂工艺槽、IPA工艺槽和清洗水槽。
[0003]中国专利公开号CN209016027U，公开了名为一种自动有机清洗机及清洗系统，包括机架，机架上设有密封罩，机架通过密封罩围设成一密封清洗腔，密封清洗腔内并排设有去胶剂工艺槽、IPA工艺槽和清洗水槽，密封清洗腔内还设有驱动装置驱动的提篮机构，机架外设有用以实现驱动装置控制的控制器。本技术实现了人工劳动力的有效替代，大大降低了工作人员的劳动强度，且清洗效率大大提高，清洗成本大大降低。
[0004]但是该装置的喷淋水管和喷淋头与清洗水槽呈相对固定设置，使得喷淋头喷出的水流与衬底盒上的大尺寸衬底无法有效接触，越远离喷淋头一侧的大尺寸衬底越无法得到有效清洗，且受水流清洗的力度也会逐级减弱，进而无法保证对大尺寸衬底的清洗效果和加工质量，存在一定的使用局限性。
[0005]因此，有必要提供一种TFT液晶面板用大尺寸衬底及其制造方法解决上述技术问题。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供一种TFT液晶面板用大尺寸衬底及其制造方法，以解决上述
技术介绍
中水流与衬底盒上的大尺寸衬底无法有效接触，越远离喷淋头一侧的大尺寸衬底越无法得到有效清洗，且受水流清洗的力度也会逐级减弱，无法保证对大尺寸衬底的清洗效果等问题。
[0007]为实现上述目的，对制造方法中的倾清洁工序进行改进，使得水流可以与大尺寸衬底有效接触，保证清洗力度和清洗效果。
[0008]基于上述思路，本专利技术提供如下技术方案：TFT液晶面板用大尺寸衬底的制造方法，包括以下步骤：
[0009]S1、将硅晶片加工成大尺寸衬底，并初步测量大尺寸衬底的平面度和平行度；
[0010]S2、基于测量数据通过加工工具部分地去除所述衬底的凸出部分和较厚部分；
[0011]S3、对该衬底的表面进行抛光并通过清洗装置对抛光后的衬底进行清洁。
[0012]作为本专利技术的进一步方案：所述清洗装置包括机架，机架的内部设置有呈依次排布的水槽、IPA工艺槽和去胶剂工艺槽，水槽的内部设置有用于放置衬底盒的放料组件，水槽的两侧均贯穿开设有开口，开口的内部设置有与水槽内壁保持齐平的清洗组件；机架的内部设置有用于驱动清洗组件相对于开口移动的控制组件、与放料组件呈位置对应的提篮
机构以及用于驱动提篮机构移动的驱动装置。
[0013]作为本专利技术的进一步方案：所述放料组件包括与水槽尺寸适配的框架，框架的内部固定安装有隔板和呈对称分布的两个导轨，隔板和框架的内底壁均开设有用于放置衬底盒的容纳槽，框架的表面固定安装有与提篮机构位置对应的提手。
[0014]作为本专利技术的进一步方案：所述隔板的数量为N个，所述开口的数量为N+1个。
[0015]作为本专利技术的进一步方案：所述清洗组件包括位于开口内且与水槽内壁齐平的分流管，分流管的底部设置有若干个出水孔，分流管的表面固定安装有底座，底座的内部活动设置有与分流管接通的伸缩管。
[0016]作为本专利技术的进一步方案：所述贴合组件由两个分流管相反一侧的外合部和两个分流管相对一侧的中间部组成，外合部和中间部均包括与开口滑动配合的长板，长板的表面与开口之间固定安装有第一弹簧；长板的表面通过第二弹簧弹性连接有与开口活动贴合的窄板。
[0017]作为本专利技术的进一步方案：所述窄板可沿着长板相对于水槽移动，窄板与开口的贴合面均设置成斜坡且窄板呈L形设置。
[0018]作为本专利技术的进一步方案：所述控制组件包括与清洗组件固定连接的伸缩杆，伸缩杆的伸缩方向与两个导轨的中心连线相垂直；控制组件还包括用于驱动伸缩杆移动的动力部。
[0019]作为本专利技术的进一步方案：所述动力部包括与机架固定连接的气缸，气缸的输出端固定安装有与伸缩杆固定连接的侧板。
[0020]作为本专利技术的进一步方案：所述开口的数量为一个，所述贴合组件包括呈滑动配合的滑板和棱条且棱条与开口固定连接，位于中间的滑板两侧分别与相邻的两个分流管表面贴合，位于两个边际的滑板分别与两个边际的分流管表面对应贴合；位于两个边际的滑板均与开口滑动配合，且开口的两侧均开设有用于容纳两个边际滑板的长槽，最下方滑板与长槽之间固定连接有第三弹簧且第三弹簧位于长槽内。
[0021]本专利技术还提供如下技术方案：TFT液晶面板用大尺寸衬底，其采用上述任意一种技术方案制造而成。
[0022]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：通过放料组件、清洗组件、控制组件和贴合组件等之间的配合，可以实现清洗组件相对于放料组件、衬底盒和大尺寸衬底的往复移动，可以保证清洗组件对每个大尺寸衬底的同样清洗力度，有效保证大尺寸衬底的清洗效果、加工质量和后期良品率。在放料组件上下抖动时清洗组件可以同步移动，进一步保证清洗组件对每个大尺寸衬底的相同清洗力度和清洁效果，在此基础上通过控制清洗组件与衬底盒之间的间距，还可以更进一步提高清洗组件对每个大尺寸衬底的清洗力度和清洁效果。在清洁组件的移动过程中，贴合组件可以始终与其保持贴合，进而可以实现对开口处的有效密封，防止清洗组件在放水清洗出现清水从开口处漏出的情况，可以保证清水的有效利用，实用性更高。
附图说明
[0023]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明：
[0024]图1为本专利技术的整体结构立体图；
[0025]图2为本专利技术的放料组件结构示意图；
[0026]图3为图2中A处结构放大图；
[0027]图4为本专利技术的控制组件结构示意图；
[0028]图5为图4中B处结构放大图；
[0029]图6为本专利技术的长板和窄板结构示意图；
[0030]图7为图6中C处结构放大图；
[0031]图8为本专利技术的滑板结构示意图；
[0032]图9为图8中D处结构放大图；
[0033]图10为本专利技术的机架和滑槽结构示意图；
[0034]图11为本专利技术的大尺寸衬底在液晶面板的应用示意图；
[0035]图12为本专利技术的大尺寸衬底在液晶面板的应用示意图。
[0036]图中：1、水槽；2、放料组件；3、开口；4、清洗组件；5、控制组件；6、贴合组件；7、机架；8、滑槽；201、框架；202、导轨；203、隔板；204、提手；401、底座；402、分流管；501、伸缩杆；502、侧板；503、气缸；601、长板；602、第一弹簧；603、窄板；604、第二弹簧；6001、滑板；6002、棱条。
具体实施方式
[0037]实施例一：
[0038]请参阅图1至图4，本专利技术实施例提供一种TFT液晶面板用大尺寸衬底的制造方法，主要与衬底在水槽1内的清水清洗相关本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.TFT液晶面板用大尺寸衬底的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将硅晶片加工成大尺寸衬底，并初步测量大尺寸衬底的平面度和平行度；S2、基于测量数据通过加工工具部分地去除所述衬底的凸出部分和较厚部分；S3、对该衬底的表面进行抛光并通过清洗装置对抛光后的衬底进行清洁。2.根据权利要求1所述的TFT液晶面板用大尺寸衬底的制造方法，其特征在于，所述清洗装置包括机架，机架的内部设置有呈依次排布的水槽、IPA工艺槽和去胶剂工艺槽，水槽的内部设置有用于放置衬底盒的放料组件，水槽的两侧均贯穿开设有开口，开口的内部设置有与水槽内壁保持齐平的清洗组件；机架的内部设置有用于驱动清洗组件相对于开口移动的控制组件、与放料组件呈位置对应的提篮机构以及用于驱动提篮机构移动的驱动装置。3.根据权利要求2所述的TFT液晶面板用大尺寸衬底的制造方法，其特征在于，所述放料组件包括与水槽尺寸适配的框架，框架的内部固定安装有隔板和呈对称分布的两个导轨，隔板和框架的内底壁均开设有用于放置衬底盒的容纳槽，框架的表面固定安装有与提篮机构位置对应的提手。4.根据权利要求3所述的TFT液晶面板用大尺寸衬底的制造方法，其特征在于，所述隔板的数量为N个，所述开口的数量为N+1个。5.根据权利要求4所述的TFT液晶面板用大尺寸衬底的制造方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘燕波，王艳，
申请(专利权)人：中电创达深圳实业有限公司，
类型：发明
国别省市：