真空贴合装置具备：真空腔室，其在内部将第一构件与第二构件贴合；减压装置，其对真空腔室内的气压进行减压；第一工作台，其固定第一构件；第二工作台，其固定第二构件；多个驱动轴，其与第二工作台连接；工作台驱动部，其通过使多个驱动轴移动来使第二工作台的位置变化；以及位置测定部，其设置于真空腔室的外部，在多个部位测定第一工作台与第二工作台的间隔距离。工作台驱动部使用在减压装置使真空腔室内成为真空之前由位置测定部测定出的工作台的间隔距离的信息、以及在减压装置使真空腔室内成为真空之后由位置测定部测定出的工作台的间隔距离的信息，分别独立地决定使多个驱动轴移动的距离。轴移动的距离。轴移动的距离。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空贴合装置
[0001]本公开涉及真空贴合装置。
技术介绍
[0002]在专利文献1中公开了一种液晶基板的贴合装置，该液晶基板的贴合装置具有：上下平台，其分别吸附对置配置的上下基板的背面；真空腔室，其收容该上下平台并能够调整真空压；上平台下降机构，其使上平台下降至上下基板的水平方向的对位位置；水平移动机构，其使下平台水平移动以进行对位；间隙测定机构，其测定上下基板间的间隙；以及移动轴，其直接或间接地支承上平台的4个角部，并分别独立地上下移动。该液晶基板的贴合装置具备：上平台倾斜调整机构，其通过对应于间隙测定机构的测定值的移动轴的上下移动来调整上平台的高度及倾斜位置；以及加压机构，其使上下平台相互加压。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2003
‑
43500号公报
技术实现思路
[0006]专利技术要解决的课题
[0007]本公开提供一种能够实现高精度的贴合位置及平行度，且能够实现高品质的直接接合的真空贴合装置。
[0008]用于解决课题的手段
[0009]本公开提供一种真空贴合装置，其具备：真空腔室，其在内部将第一构件与第二构件贴合；减压装置，其用于对所述真空腔室内的气压进行减压；第一工作台，其固定所述第一构件；第二工作台，其固定所述第二构件；多个驱动轴，其与所述第二工作台连接；工作台驱动部，其通过使所述多个驱动轴移动来使所述第二工作台的位置变化；以及位置测定部，其设置于所述真空腔室的外部，在多个部位测定所述第一工作台与所述第二工作台的间隔距离，所述工作台驱动部使用在所述减压装置使所述真空腔室内成为真空之前由所述位置测定部测定出的工作台的间隔距离的信息、以及在所述减压装置使所述真空腔室内成为真空之后由所述位置测定部测定出的工作台的间隔距离的信息，分别独立地决定使所述多个驱动轴移动的距离。
[0010]专利技术效果
[0011]根据本公开，在真空贴合中，能够实现高精度的贴合位置及平行度，且能够实现高品质的直接接合。
附图说明
[0012]图1是实施方式1的真空贴合装置的从正面观察时的剖视图。
[0013]图2是图1所示的真空贴合装置的上盖构件打开了的状态的侧剖视图。
[0014]图3是图1所示的真空腔室部分的主要部位放大图。
[0015]图4是改变了驱动轴与第二工作台的连接位置的变形例的结构的主要部位放大图。
[0016]图5是示出由实施方式1的真空贴合装置进行的贴合的动作步骤的一例的流程图。
[0017]图6是表示贴合时的正常状态的真空腔室部分的主要部位放大图。
[0018]图7是表示在工作台间发生了平行偏移的状态的真空腔室部分的主要部位放大图。
[0019]图8是说明驱动轴移动量的校正的真空腔室部分的主要部位放大图。
具体实施方式
[0020](完成本公开的缘由)
[0021]以往，在将液晶模块与触摸面板贴合的直接接合技术中，确立了以民用的电子设备(例如，收集、平板终端或汽车导航装置)为对象的小型(例如，面板尺寸为15英寸左右)的贴合技术。然而，在中大型(例如，面板尺寸为15英寸以上)的贴合技术中尚存在较多课题，未确立能够实现高精度的贴合的技术。确立推迟了的中大型的贴合时的课题之一是气泡的混入。特别是越是大型(例如，面板尺寸为32英寸等)，若无法高精度地控制基板等贴合对象部件的高度方向的位置，则在贴合时气泡混入的风险越高。
[0022]另外，作为气泡的混入的减少方法，期望使配置有贴合对象部件的腔室内成为真空环境来进行贴合。然而，越是大型的腔室则腔室的长度方向的尺寸越大，在将腔室内减压至真空状态时，腔室本身会发生变形。通常，在腔室外装直接安装贴合工作台的情况较多，存在如下那样的课题：由于腔室变形而贴合工作台的位置改变，贴合位置产生误差，同时贴合面的平行度被破坏。
[0023]为此，在以下的实施方式中，对能够实现高精度的贴合位置及平行度、且能够实现高品质的直接接合的真空贴合装置的例子进行说明。
[0024](实施方式1)
[0025]以下，关于本公开的真空贴合装置，适当参照附图，对具体公开的实施方式进行详细说明。其中，有时省略不必要的详细说明。例如，有时省略周知的事项的详细说明、针对实质相同的结构的重复说明。这是为了避免以下的说明不必要地变得冗余，以使本领域技术人员容易理解。需要说明的是，附图及以下的说明是为了使本领域技术人员充分理解本公开而提供的，并不旨在通过这些来限定权利要求书中所记载的主题。
[0026](真空贴合装置的结构)
[0027]图1是实施方式1的真空贴合装置11的从正面观察时的剖视图。实施方式1的真空贴合装置11具有真空腔室13、减压装置15、第一工作台17、第二工作台19、驱动轴21、工作台驱动部23、以及位置测定部25作为主要的构件。
[0028]在真空腔室13的内部27将第一构件29与第二构件31贴合。在实施方式1中，第一构件29例如是构成搭载于飞机内的中大型(例如32英寸)的座位监视器的液晶模块。第二构件31例如是构成搭载于飞机内的中大型(例如32英寸)的座位监视器的触摸面板。需要说明的是，第一构件29、第二构件31也可以不限定于上述方式。
[0029]真空腔室13由下箱构件33及上盖构件35构成外壳。下箱构件33以通过例如金属的
切削加工等而使壁部成为20～30mm左右的高刚性来制作。下箱构件33在上表面具有开口部37。真空腔室13通过由上盖构件35将下箱构件33的开口部37封闭，从而内部27被密闭为气密状态。
[0030]减压装置15能够对真空腔室13内进行减压以使真空腔室13内成为真空状态。减压装置15例如由真空泵构成。减压装置15的吸气管39与下箱构件33连接以吸引真空腔室13内的空气，并将该空气向排气管41排气。在吸气管39分支有真空卡盘用配管43。真空卡盘用配管43与分别设置于在真空腔室13内配置的第一工作台17以及第二工作台19的真空卡盘(省略图示)连接。真空卡盘利用基于减压装置15的负压而分别将第一构件29吸附固定于第一工作台17、将第二构件31吸附固定于第二工作台19。
[0031]第一工作台17配置于下箱构件33的内侧。第一工作台17以与大致四边形(包括四边形。以下同样。)的液晶模块大致相似的形状、且比液晶模块大的大致四边形形成。第一工作台17在真空卡盘的吸气孔开口的上表面吸引固定液晶模块。在第一工作台17的下表面固定升降轴的上端。升降轴在总共4个位置分别配置于第一工作台17的四角。升降轴通过气密构造贯通下箱构件33的底板，并通过气缸45而能够沿上下方向移动。换句话说，固定于第一工作台17的第一构件29、贴合后的第一构件29以及第二构件31的贴合物通过由气缸45驱动升降轴而能够相对于下箱构件33升降。需要说明的是，设置于第一工作台17的卡盘并非必须使用真空卡盘。只要起到同样的效果，也可以本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空贴合装置，其中，所述真空贴合装置具备：真空腔室，其在内部将第一构件与第二构件贴合；减压装置，其对所述真空腔室内的气压进行减压；第一工作台，其固定所述第一构件；第二工作台，其固定所述第二构件；多个驱动轴，其与所述第二工作台连接；工作台驱动部，其通过使所述多个驱动轴移动来使所述第二工作台的位置变化；以及位置测定部，其设置于所述真空腔室的外部，在多个部位测定所述第一工作台与所述第二工作台的间隔距离，所述工作台驱动部使用在所述减压装置使所述真空腔室内成为真空之前由所述位置测定部测定出的工作台的间隔距离的信息、以及在所述减压装置使所述真空腔室内成为真空之后由所述位置测定部测定出的工作台的间隔距离的信息，分别独立地决定使所述多个驱动轴移动的距离。2.根据权利要求1所述的真空贴合装置，其中，所述工作台驱动部使用在所述减压装置使所述真空腔室内成为真空之前由所述位置测定部测定出的工作台的间隔距离的信息、以及在所述减压装置使所述真空腔室内成为真空之后由所述位置测定部测定出的工作台的间隔距离的信息...
【专利技术属性】
技术研发人员：小仓基诚，森田久人，平本久人，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：
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