阵列基板及制作方法技术

技术编号:33734643 阅读:24 留言:0更新日期:2022-06-08 21:31
本发明专利技术公开了一种阵列基板及制作方法,该阵列基板包括:基底;设于基底上的数据线、底栅以及导电部;覆盖数据线、底栅及导电部的第一绝缘层;设于第一绝缘层上的有源层、源极、漏极以及像素电极;设于第一绝缘层上的栅极绝缘层以及设于栅极绝缘层上的扫描线和顶栅,有源层在基底上的投影与顶栅和底栅在基底上投影的交叠区域相对应,底栅通过导电部与扫描线导电连接。通过在有源层上下侧分别设置顶栅和底栅,顶栅和底栅分别可以为有源层遮挡外界环境光和背光,而且顶栅和底栅还可做为屏蔽电极,以避免有源层受到数据信号的干扰,底栅与数据线均采用同一金属层制成,大大简化了制作工艺;另外通过顶栅和底栅同时控制有源层,使得TFT的性能更好。TFT的性能更好。TFT的性能更好。

【技术实现步骤摘要】
阵列基板及制作方法


[0001]本专利技术涉及显示器
,特别是涉及一种阵列基板及制作方法。

技术介绍

[0002]随着显示技术的发展,轻薄化的显示面板倍受消费者的喜爱,尤其是轻薄化的液晶显示面板(liquid crystal display,LCD)。
[0003]现有的一种显示装置包括薄膜晶体管阵列基板(简称阵列基板,Thin Film Transistor Array Substrate,TFT Array Substrate)、彩膜基板(Color Filter Substrate,CF Substrate)以及填充在薄膜晶体管阵列基板和彩膜基板之间的液晶分子,上述显示装置工作时,在薄膜晶体管阵列基板的像素电极与彩膜基板的公共电极分别施加驱动电压或者在薄膜晶体管阵列基板的公共电极和像素电极分别施加驱动电压,控制两个基板之间的液晶分子的旋转方向,以将显示装置的背光模组提供的背光折射出来,从而显示画面。
[0004]现有技术中的氧化物薄膜晶体管(TFT)具有优异的电学性能、大面积制造均匀性及低制造成本等优势,有望在各类平本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板,其特征在于,包括:基底(10);设于所述基底(10)上表面的第一金属层(11),所述第一金属层(11)包括数据线(111)、与所述数据线(111)相互绝缘的底栅(112)以及与所述底栅(112)导电连接的导电部(114);设于所述第一金属层(11)上表面的第一绝缘层(101),所述第一绝缘层(101)覆盖所述数据线(111)、所述底栅(112)以及所述导电部(114);设于所述第一绝缘层(101)上方的金属氧化物半导体层(12),所述金属氧化物半导体层(12)包括导体部和半导体部,所述半导体部包括有源层(121),所述导体部包括源极(122)、漏极(123)以及像素电极(124),所述源极(122)和所述漏极(123)通过所述有源层(121)连接,所述源极(122)与所述数据线(111)导电连接,所述像素电极(124)与所述漏极(123)导电连接;设于所述金属氧化物半导体层(12)上方的栅极绝缘层(102)以及设于所述栅极绝缘层(102)上方的第二金属层(13),所述第二金属层(13)包括扫描线(131)和顶栅(132),所述有源层(121)在所述基底(10)上的投影与所述顶栅(132)和所述底栅(112)在所述基底(10)上投影的交叠区域相对应,所述扫描线(131)与所述有源层(121)相重叠的区域做为所述顶栅(132),所述导电部(114)与所述扫描线(131)导电连接。2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述有源层(121)、所述源极(122)、所述漏极(123)、所述底栅(112)以及所述顶栅(132)均位于所述数据线(111)的中心线上。3.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,所述第一金属层(11)还包括位于所述底栅(112)周缘的第一连接部(113),所述第一连接部(113)将所述数据线(111)位于所述底栅(112)两侧的两部分相连接。4.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板还包括:设于所述第二金属层(13)上方的第二绝缘层(103)以及设于所述第二绝缘层(103)上方的透明导电层(14),所述透明导电层(14)包括公共电极(141),所述公共电极(141)对应所述像素电极(124)的区域具有狭缝。5.根据权利要求4所述的阵列基板,其特征在于,所述透明导电层(14)还包括与所述公共电极(141)相互绝缘的第二连接部(142),所述第二连接部(142)将所述数据线(111)位于所述底栅(112)两侧的两部分相连接;所述第二连接部(142)的一端与所述数据线(111)导电连接,所述第二连接部(142)的另一端与所述源极(122)导电连接。6.根据权利要求4所述的阵列基板,其特征在于,所述透明导电层(14)还包括与所述公共电极(141)相互绝缘的第三连接部(143),所述第三连接部(143)将所述导电部(114)与所述扫描线(131)导电连接。7.一种阵列基板的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:提供基底...

【专利技术属性】
技术研发人员:钟德镇郑会龙刘厚锋
申请(专利权)人:昆山龙腾光电股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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