一种便于调节的磁控溅射镀膜机安装底座制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于调节的磁控溅射镀膜机安装底座，包括四个角座与四个连接杆，四个角座通过四个连接杆以收尾相邻的形式进行连接形成底座主体，镀膜机放置在底座主体上，四个角座分别支撑镀膜机的四角，角座的下侧壁上设有用于减震以及调节底座主体平衡状态的支撑腿，本实用新型专利技术通过减震弹簧缓冲磁控溅射镀膜机运行时产生的晃动，能够有效避免磁控溅射镀膜机因震动而发生的移动问题，从而保证了设备运行的稳定性。证了设备运行的稳定性。证了设备运行的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种便于调节的磁控溅射镀膜机安装底座


[0001]本技术涉及镀膜机安装
，具体为一种便于调节的磁控溅射镀膜机安装底座。

技术介绍

[0002]磁控溅射镀膜机在运行过程中会产生振动，从而影响其运行的稳定性，并且现有的磁控溅射镀膜机的尺寸较多，现有的安装底座不能够根据实际镀膜机的尺寸进行调整，实用性与稳固性较差；当磁控溅射镀膜机在运行过程中会产生大量热量，一般的磁控溅射镀膜机的安装底座透风透气效果差，不利于对磁控溅射镀膜机的底部进行散热，影响镀膜的质量，因此我们提出了一种便于调节的磁控溅射镀膜机安装底座。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种便于调节的磁控溅射镀膜机安装底座，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于调节的磁控溅射镀膜机安装底座，包括四个角座与四个连接杆，四个角座通过四个连接杆以收尾相邻的形式进行连接形成底座主体，所述镀膜机放置在底座主体上，所述四个角座分别支撑镀膜机的四角，所述角座的下侧壁上设有用于减震以及调节底座主体平衡状态的支撑腿。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于调节的磁控溅射镀膜机安装底座，包括四个角座(1)与四个连接杆(2)，其特征在于：四个角座(1)通过四个连接杆(2)以收尾相邻的形式进行连接形成底座主体，所述镀膜机放置在底座主体上，所述四个角座(1)分别支撑镀膜机的四角，所述角座(1)的下侧壁上设有用于减震以及调节底座主体平衡状态的支撑腿(3)。2.根据权利要求1所述的一种便于调节的磁控溅射镀膜机安装底座，其特征在于：所述角座(1)的侧壁上呈垂直状开有两个插槽(101)，所述连接杆(2)的端部滑动插接在插槽(101)的内部，所述角座(1)的侧壁上啮合连接有锁死螺栓(4)，所述锁死螺栓(4)的螺纹端贯穿角座(1)的侧壁并活动顶压在连接杆(2)的侧壁上。3.根据权利要求1所述的一种便于调节的磁控溅射镀膜机安装底座，其特征在于：所述支撑腿(3)包括固定块(301)，所述固定块(301)固定连接在角座(1)的下侧壁上，所述固定块(301)的内部开有棱角孔(302)，所述棱角孔(302)的内部滑动连接有地脚螺栓(303)，所述地脚螺栓(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：王云锋，
申请(专利权)人：兰州交通大学，
类型：新型
国别省市：