包含流动通道的玻璃制品及其制作方法技术

提供了包含具有形成在其中的多个流动通道的玻璃层叠体基材的玻璃制品。玻璃层叠体制品包括熔合到一起的第一玻璃层和第二玻璃层。在各种实施方式中，每个流动通道的底板的总面积的至少80％具有小于100nm/mm2的局部表面平坦度，这是沿着所述多个流动通道中的每一个的底板的长度和宽度测得的。采用如下方法制造此类玻璃制品，包括：使得第一玻璃层的第一部分与第一蚀刻剂接触持续第一蚀刻时间从而在玻璃基材中至少部分形成流动通道，以及使得流动通道与第二蚀刻剂接触持续第二时刻时间以使得每个流动通道的底板平坦化。得每个流动通道的底板平坦化。得每个流动通道的底板平坦化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】包含流动通道的玻璃制品及其制作方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请根据35U.S.C.
§
119，要求2019年10月23日提交的美国临时申请第62/924,878号的优先权，其全文通过引用结合入本文。


[0003]本说明书大体上涉及在其中包含流动通道的玻璃制品，具体来说，涉及这样的玻璃层叠体基材，其具有延伸穿过玻璃层叠体的第一层的多个流动通道。

技术介绍

[0004]微流体或流动单元、装置可用于各种应用，包括生物分析(例如，核酸测序、单分子分析等)。在各种应用中，分析采用高分辨率荧光成像技术从而在暴露于装置的流动通道的基材表面鉴定和量化特定分子。例如，在基于光学检测的平行基因测序技术中，从基因组DNA样品产生的数百万个DNA片段可以固定并分配到流动单元装置的基材表面上，从而使得片段在空间上彼此分离，从而通过例如：合成、连接或单分子实时成像来有助于测序。
[0005]采用这些核酸测序和单分子测定的常规生物分析技术常常遭遇因收集数千张图像以实现充分的识别和量化而使得收集时间加长的情况。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种玻璃制品，其包括：玻璃层叠体，其包含第一玻璃层和熔合到第一玻璃层的第二玻璃层；以及延伸穿过第一玻璃层达到第二玻璃层的多个流动通道；其中，所述多个流动通道中的每一个的底板的总面积的至少80％具有小于100nm/mm2的局部表面平坦度，这是沿着所述多个流动通道中的每一个的底板的长度和宽度测得的。2.如权利要求1所述的玻璃制品，其中，所述第一玻璃层熔合到所述第二玻璃层的第一主表面，以及其中，玻璃层叠体基材还包括熔合到所述第二玻璃层的与所述第一主表面相反的第二主表面的第三玻璃层。3.如权利要求1或2所述的玻璃制品，其中，每个流动通道的底板的长度大于10mm。4.如权利要求3所述的玻璃制品，其中，每个流动通道的底板的长度大于20mm。5.如任意前述权利要求所述的玻璃制品，其中，每个流动通道的底板的宽度大于1mm。6.如权利要求5所述的玻璃制品，其中，每个流动通道的底板的宽度大于1.5mm。7.如任意前述权利要求所述的玻璃制品，其中，所述多个流动通道中的每一个的底板的总面积的至少90％具有小于100nm/mm2的局部平均表面平坦度。8.如任意前述权利要求所述的玻璃制品，其中，所述多个流动通道中的每一个的底板的总面积的至少95％具有小于100nm/mm2的局部平均表面平坦度。9.如任意前述权利要求所述的玻璃制品，其中，所述第一玻璃层限定了所述多个流动通道中的每一个的侧壁，以及所述第二玻璃层限定了所述多个流动通道中的每一个的底板。10.如任意前述权利要求所述的玻璃制品，其中，所述多个流动通道包括50个流动通道。11.一种微流体装置，其包括：如任意前述权利要求所述的玻璃制品；以及粘结到玻璃制品且至少部分覆盖了流动通道的覆盖物。12.如权利要求11所述的微流体装置，其中，所述微流体装置是用于DNA测序的流动单元。13.一种制造玻璃制品的方法，该方法包括：在玻璃基材的第一玻璃层的表面上沉积掩蔽层，所述玻璃基材包括所述第一玻璃层和熔合到所述第一玻璃层的第二玻璃层，从而表面的掩蔽区域被掩蔽层覆盖，以及表面的暴露区域没有被掩蔽层覆盖；使得所述第一玻璃层的对应于表面的暴露区域的第一部分与第一蚀刻剂接触持续第一蚀刻时间从而使得玻璃层的所述第一部分被去除至在玻璃基材中至少部分形成多个流动通道；以及使得所述多个流动通道与第二蚀刻剂接触持续第二蚀刻时间以使得所述多个流动通道中的每一个的底板平坦化；其中，所述多个流动通道中的每一个的底板的总面积的至少80％具有小于100nm/mm2的局部表面平坦度，这是沿着所述多个流动通道中的每一个的底板的长度和宽度测得的。14.如权利要求13所述的方法，其中，所述第一玻璃层在所述第一蚀刻剂和所述第二蚀刻剂中的蚀刻速率高于所述第二玻璃层，使得所述第二玻璃层起到了蚀刻停止的作用来控
制所述多个流动通道中的每一个的深度。15.如权利要求13或14所述的方法，其中，所述第一蚀刻剂和所述第二蚀刻剂中的至少一个包括水性氢氟酸。16.如权利要求15所述的方法，其中，所述第一蚀刻剂包括处于第一浓度的水性氢氟酸，以及所述第二蚀刻剂包括处于小于所述第一浓度的第二浓度的水性氢氟酸。17.如权利要求16所述的方法，其中，所述第一浓度是0.2重量％至20重量％HF。18.如权利要求16所述的方法，其中，所述第一浓度是0.5重量％至10重量％HF。19.如权利要求16所述的方法，其中，所述第一浓度是1.5重量％至5重量％HF。20.如权利要求16
‑
19中任一项所述的方法，其中，所述第二浓度是0.01重量％至5重量％HF。21.如权利要求16
‑
19中任一项所述的方法，其中，所述第二浓度是0.01重量％至2重量％HF。22.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：