【技术实现步骤摘要】
胺基硅烷的制备系统和方法
[0001]本专利技术涉及胺基硅烷的制备方法
，具体而言，涉及一种胺基硅烷的制备系统和方法。
技术介绍
[0002]胺基硅烷是在分子内具有硅原子和氮原子的化合物，特别是近年来在半导体绝缘膜材料和硅晶片表面的超拨水化剂等电子信息材料领域中应用广泛。现有胺基硅烷在制备过程中需要使用大量的溶剂，导致后续分离难度大，工艺复杂，得到的胺基硅烷纯度低，难以满足半导体领域对于胺基硅烷高纯度的要求。
[0003]有鉴于此，特提出本专利技术。
技术实现思路
[0004]本专利技术的主要目的在于提供一种胺基硅烷的制备方法和系统，以改善现有胺基硅烷制备过程中使用大量溶剂，导致后续分离难度大，工艺复杂，难以制备得到高纯度胺基硅烷的技术问题。
[0005]为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种胺基硅烷的制备系统，该制备系统包括：供料单元，由二烷基胺的供料装置和氯硅烷的供料装置组成，该二烷基胺的供料装置用于提供二烷基胺，该氯硅烷的供料装置用于提供氯硅烷；反应单元，上述二烷基...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种胺基硅烷的制备系统，其特征在于，所述制备系统包括：供料单元，由二烷基胺的供料装置(11)和氯硅烷的供料装置(12)组成，所述二烷基胺的供料装置(11)用于提供二烷基胺，所述氯硅烷的供料装置(12)用于提供氯硅烷；反应单元，所述二烷基胺的供料装置(11)和所述氯硅烷的供料装置(12)分别与所述反应单元相连以向所述反应单元提供所述二烷基胺和所述氯硅烷，所述二烷基胺和所述氯硅烷在所述反应单元中进行液液反应得到第一产物体系；以及后处理单元，与所述反应单元相连，用于提纯所述第一产物体系中的胺基硅烷；其中，所述二烷基胺的通式为R1R2NH，所述R1和所述R2各自独立地为C1～C4的直链烷基或支链烷基；所述氯硅烷的通式为SiH
(4
‑
n)
Cl
n
，所述n为1～4之间的自然数。2.根据权利要求1所述的制备系统，其特征在于，所述反应单元包括合成反应器(20)，所述二烷基胺的供料装置(11)的出口和所述氯硅烷的供料装置(12)的出口分别与所述合成反应器(20)的入口相连；所述后处理单元包括：固液分离器(31)，所述合成反应器(20)的出口与所述固液分离器(31)的入口相连，优选所述固液分离器(31)为离心分离器或过滤器，所述过滤器为一级过滤器或者多级过滤器，优选所述多级过滤器为三级过滤器；以及精馏塔，所述固液分离器(31)的液体出口与所述精馏塔的入口相连。3.根据权利要求2所述的制备系统，其特征在于，所述后处理单元还包括：废固反应器(32)，所述废固反应器(32)的入口与所述固液分离器(31)的固体出口相连，所述废固反应器(32)配置有碱金属供应装置；胺水分离塔(33)，所述废固反应器(32)的出口与所述胺水分离塔(33)的入口相连，所述胺水分离塔(33)的气体出口与所述合成反应器(20)的入口相连；优选地，所述后处理单元还包括第一干燥器(34)，所述第一干燥器(34)设置于所述胺水分离塔(33)与所述合成反应器(20)相连通的管线上。4.根据权利要求2或3所述的制备系统，其特征在于，所述精馏塔包括：第一精馏塔(35)，所述第一精馏塔(35)的入口与所述固液分离器(31)的液体出口相连，所述第一精馏塔(35)的顶部设置有第一气体出口、底部设置有第一液体出口，所述第一气体出口与所述合成反应器(20)的入口相连；第二精馏塔(36)，所述第一液体出口与所述第二精馏塔(36)的入口相连，所述第二精馏塔(36)的顶部设置有第二气体出口；优选所述制备系统还包括与所述第二气体出口连接的储罐(40)；优选地，所述后处理单元还包括第二干燥器(37)，所述第二干燥器(37)设置于所述第一精馏塔(35)与所述合成反应器(20)相连通的管线上。5.根据权利要求1至4中任一项所述的制备系统，其特征在于，所述制备系统还包括前处理单元，所述前处理单元用于将所述二烷基胺和所述氯硅烷进行预提纯；优选地，所述前处理单元包括第一蒸馏装置和第二蒸馏装置，所述第一蒸馏装置用于对所述二烷基胺进行预提纯，所述第二蒸馏装置用于对所述氯硅烷进行预...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵喜哲，常欣，袁振军，万烨，赵雄，李圆晓，王芳，徐家扬，
申请(专利权)人：中国恩菲工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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