操控电路和用于操控压电变压器的方法技术

本发明专利技术涉及一种操控电路（2），该操控电路（2）被构成用于将具有周期性变化过程的电压施加到压电变压器（3）上，所述电压的周期持续时间通过操控频率确定，其中操控电路（2）具有电感（8）和控制单元（16），并且其中所述控制单元（16）被构成用于根据流过所述电感（8）的电流的平均电流强度来适配所施加的电压的操控频率。根据另一方面，本发明专利技术涉及一种用于操控压电变压器（3）的方法。压器（3）的方法。压器（3）的方法。

【技术实现步骤摘要】
操控电路和用于操控压电变压器的方法
[0001]本申请是申请日为2016年11月11日、申请号为201680066185.3、专利技术名称为“操控电路和用于操控压电变压器的方法”的专利技术专利申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及用于压电变压器的操控电路。操控电路的任务是在频率方面操控或调节压电变压器，使得该压电变压器能够可靠地对等离子体点火。为了能够实现等离子体点火，压电变压器应该以至少处于其谐振频率附近的频率被操控。由于谐振频率与许多参数有关、例如与由压电变压器产生的等离子体的功率、制造公差、所使用的工艺气体和环境温度有关，所以需要反馈，所述操控电路根据所述反馈能够持续地适配频率。

技术介绍

[0003]US 5,923,542 A描述一种用于压电变压器的操控电路。在这里，压电变压器的输出电压或输出电流被用作信号用于反馈。然而，如果应该在等离子体发生器中使用压电变压器，则不可能使用输出侧的信号、例如输出电压或输出电流用于反馈，因为等离子体应该在压电变压器的输出侧处被点火。
[0004]由US 8,710,761 B2和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.操控电路（2），所述操控电路被构成用于将具有周期性变化过程的电压施加到压电变压器（3）上，所述电压的周期持续时间通过操控频率确定，其中所述操控电路（2）具有电感（8）和控制单元（16），以及其中所述控制单元（16）被构成用于根据流过所述电感（8）的电流的平均电流强度来适配所施加的电压的所述操控频率，其中所述控制单元（16）被构成用于当所述平均电流强度超过第一预定极限值时，使所述操控频率提高，并且其中所述控制单元（16）被构成用于当所述平均电流强度未超过第二预定极限值时，使所述操控频率减小，其中所述操控电路中的电感与所述压电变压器接线，使得经由所述电感的平均电流强度直接与所述压电变压器处的输入电流的电流强度相关。2.根据权利要求1所述的操控电路（2），其中所述操控频率被调整为使得所述操控频率位于所述压电变压器（3）的谐振频率和反谐振频率之间。3.根据权利要求1或权利要求2所述的操控电路（2），其中所施加的电压具有半正弦形变化过程或正弦形变化过程。4.根据权利要求1或权利要求2所述的操控电路（2），具有用于测量经由电感（8）的平均电流的测量单元（18），所述测量单元与所述电感（8）串联，其中所述测量单元（18）具有分流电阻、霍尔传感器或电流互感器。5.根据权利要求1或权利要求2所述的操控电路（2），其中所述控制单元（16）具有微控制器（17）或压控振荡器（20）。6.根据权利要求1或权利要求2所述的操控电路（2），其中所述操控电路（2）具有开关（7），其中所述控制单元（16）被构成用于周期性地操作所述开关（7），其中所述操控频率通过所述开关（7）的操作的周期持续时间来确定。7.根据权利要求1或权利要求2所述的操控电路（2），其中所述操控电路具有E类放大器（6），所述E类放大器具有开关（7）和所述电感器（8）。8.操控电路（2），所述操控电路被构成用于将具有周期性变化过程的电压施加到压电变压器（3）上，所述电压的周期持续时间通过操控频率确定，其中所述操控电路（2）具有电感（8）和控制单元（16），以及其中所述控制单元（16）被构成用于根据流过所述电感（8）的电流的平均电流强度来适配所施加的电压的所述操控频率，其中所述控制单元（16）被构成用于当所述平均电流强度超过预定目标值时，使所述操控频率提高，并且其中所述控制单元（16）被构成用于当所述平均电流强度未超过所述预定目标值时，使所述操控频率减小，其中所述操控电路中的电感与所述压电变压器接线，使得经由所述电感的平均电流强度直接与所述压电变压器处的输入电流的电流强度相关。9.操控电路（2），所述操控电路被构成用于将具有周期性变化过程的电压施加到压电变压器（3）上，所述电压的周期持续时间通过操控频率确定，其中所述操控电路（2）具有电感（8）和控制单元（16），以及其中所述控制单元（16）被构成用于根据流过所述电感（8）的电流的平均电流强度来适配所施加的电压的所述操控频率，
其中所述控制单元（16）被构成用于当所述平均电流强度超过第一预定极限值时，使所述操控频率提高，并且其中所述控制单元（16）被构成用于当所述平均电流强度未超过第二预定极限值时，使所述操控频率减小，其中所述操控电路中的电感与所述压电变压器接线，使得所述电感的端子直接与所述压电变压器的外电极连接。10.操控电路（20），所述操控电路被构成用于将具有周期性变化过程的电压施加到压电变压器（3）上，所述电压的周期持续时间通过操控频率确定，其中所述操控电路（2）具有电感（8）和控制单元（16），以及其中所述控制单元（16）被构成用于根据流过所述电感（8）的电流的平均电流强度来适配所施加的电压的所述操控频率，其中所述控制单元（16）被构成用于当所述平均电流强度超过预定目标值时，使所述操控频率提高，并且其中所述控制单元（16）被构成用于当所述平均电流强度未超过所述预定目标值时，使所述操控频率减小，其中所述操控电路中的电感与所述压电变压器接线，使得所述电感的端子直接与所述压电变压器的外电极连接。11.等离子体发生器（1），具有根据权利要求1、8、9或10中任一项所述的操控电路（2）和压电变压器（3），所述压电变压器具有两个外电极（...

【专利技术属性】
技术研发人员：M魏尔古尼，
申请(专利权)人：埃普科斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：