光束控制装置制造方法及图纸

技术编号:33708423 阅读:8 留言:0更新日期:2022-06-06 08:36
一种光束控制装置,该光束控制装置包括:基板以及在所述基板上层叠设置的镜面层、导电层、介电层和亚波长天线单元,其中,所述亚波长天线单元和所述镜面层被配置为施加不同的电压;在所述介电层和所述亚波长天线单元之间设置有第一粘结层,该光束控制装置可以实现将介电层和亚波长天线单元进行紧密的连接,且可以保证方便地操控折射光和反射光的偏转角度。保证方便地操控折射光和反射光的偏转角度。保证方便地操控折射光和反射光的偏转角度。

【技术实现步骤摘要】
光束控制装置


[0001]本公开的实施例涉及一种光束控制装置。

技术介绍

[0002]根据调控的波的种类不同,超表面可以分为光学超表面、声学超表面、机械超表面等。光学超表面是最常见的一种类型,它可以通过亚波长的微结构来调控电磁波的偏振、相位、振幅和频率等特性,超表面技术是一种结合了光学与纳米科技的新兴技术。
[0003]超表面可以被认为是二维超材料,因为它们的特征是亚波长结构的重复模式,并且它们具有许多与超材料相同的优点,超表面在许多方面甚至比超材料更有利。例如,与超材料相比,超表面可以更有效地传输光。在偏振方面,超表面可以实现偏振转换、旋光以及矢量光束产生等功能。在振幅的调控方面,超表面可以实现光的非对称透过、消反射、增透射和磁镜等。在对频率的调控方面,超表面的微结构在共振的情况下可以实现较强的局域场增强,利用这些局域场增强效应,可以实现非线性信号或者荧光信号的增强。在可见光波段,不同频率的光对应不同的颜色,超表面的频率选择特性可以用于实现结构色。利用超表面可以通过改变其结构单元的尺寸、形状等几何参数来实现对超表面的颜色的自由调控,从而可以用于高像素成像、可视化生物传感等领域。

技术实现思路

[0004]本公开至少一实施例提供一种光束控制装置,该光束控制装置通过在介电层和亚波长天线单元之间设置第一粘结层以实现介电层和亚波长天线单元之间的连接更加紧密,从而保证整个光束控制单元的结构的稳定性。
[0005]本公开至少一实施例提供一种光束控制装置,该光束控制装置包括:基板以及在所述基板上层叠设置的镜面层、导电层、介电层和亚波长天线单元,其中,所述亚波长天线单元和所述镜面层被配置为施加不同的电压;在所述介电层和所述亚波长天线单元之间设置有第一粘结层。
[0006]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,在所述第一粘结层与所述介电层之间,且在所述第一粘结层与所述亚波长天线单元之间均形成有化学键,所述第一粘结层配置为将所述介电层和所述亚波长天线单元粘结。
[0007]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,所述第一粘结层的厚度为1纳米~50纳米,且所述第一粘结层的材料包括钛金属单质、铬金属单质、钨金属单质和铌金属单质中的至少之一。
[0008]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,所述第一粘结层具有导电性,所述第一粘结层在所述基板上的正投影和所述亚波长天线单元在所述基板上的正投影至少部分交叠。
[0009]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,所述第一粘结层具有绝缘性,所述亚波长天线单元在所述基板上的正投影位于所述第一粘结层在所述基板上的正投
影之内。
[0010]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,在所述基板和所述镜面层之间设置有第二粘结层,所述第二粘结层配置为将所述基板和所述镜面层粘结。
[0011]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,在所述第二粘结层与所述基板之间,且在所述第二粘结层与所述镜面层之间均形成有化学键,以将所述基板和所述镜面层粘结。
[0012]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,所述第二粘结层的厚度为1纳米~1000纳米,且所述第二粘结层的材料包括钛金属单质、铬金属单质、钨金属单质和铌金属单质中的至少之一。
[0013]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,所述第一粘结层的材料和所述第二粘结层的材料相同或者不同。
[0014]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,所述亚波长天线单元包括多条天线,每条所述天线的形状为棒状。
[0015]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,至少两个相邻的所述天线被配置为和所述镜面层形成不同的电压差。
[0016]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,所述亚波长天线单元包括多个天线,所述多个天线呈阵列排列。
[0017]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,在列方向上至少两个相邻的所述天线被配置为和所述镜面层形成不同的电压差,和/或,在行方向上至少两个相邻的所述天线被配置为和所述镜面层形成不同的电压差。
[0018]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,所述亚波长天线单元包括多条呈环形的天线,多条所述天线呈同心圆排列。
[0019]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,至少两条相邻的所述天线被配置为和所述镜面层形成不同的电压差。
[0020]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,还包括至少两条电源线,所述多条天线和所述电源线分别通过连接部电连接,每条所述电源线和一条或者多条所述天线电连接,所述电源线配置为给对应的所述天线施加电压。
[0021]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,在所述亚波长天线单元和所述电源线之间设置有绝缘层,所述连接部设置在贯穿所述电源线和所述绝缘层的过孔结构中。
[0022]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,所述亚波长天线单元的材料包括导电金属、导电金属氧化物和导电石墨烯中的至少之一。
[0023]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,所述镜面层的材料包括具有反射性和导电性的金属、导电金属氧化物和导电石墨烯中的至少之一。
[0024]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,所述导电层的材料包括氧化铟锡、氧化铟锌或者氧化铟镓锌。
[0025]例如,在本公开至少一实施例提供的光束控制装置中,所述介电层的材料包括无机绝缘材料或者有机绝缘材料。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案,下面将对实施例的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例,而非对本公开的限制。
[0027]图1为本公开至少一实施例提供的一种光束控制装置的截面结构示意图;
[0028]图2为本公开至少一实施例提供的一种光束控制装置的透视结构示意图;
[0029]图3为本公开至少一实施例提供的一种亚波长天线单元的平面结构示意图;
[0030]图4为本公开至少一实施例提供的随着电子浓度变化时反射光线相位变化的曲线图;
[0031]图5为本公开至少一实施例提供的再一种亚波长天线单元的平面结构示意图;
[0032]图6为本公开至少一实施例提供的又一种亚波长天线单元的平面结构示意图;
[0033]图7为本公开至少一实施例提供的又一种亚波长天线单元的平面结构示意图;
[0034]图8为本公开至少一实施例提供的一种亚波长天线单元和连接部的平面结构示意图;以及
[0035]图9为本公开至少一实施例提供的一种亚波长天线单元和连接部的立体结构示意图。
具体实施方式
[0036]为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本公开实施例的附图,对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光束控制装置,包括:基板以及在所述基板上层叠设置的镜面层、导电层、介电层和亚波长天线单元,其中,所述亚波长天线单元和所述镜面层被配置为施加不同的电压;在所述介电层和所述亚波长天线单元之间设置有第一粘结层。2.根据权利要求1所述的光束控制装置,其中,在所述第一粘结层与所述介电层之间,且在所述第一粘结层与所述亚波长天线单元之间均形成有化学键,所述第一粘结层配置为将所述介电层和所述亚波长天线单元粘结。3.根据权利要求1或2所述的光束控制装置,其中,所述第一粘结层的厚度为1纳米~50纳米,且所述第一粘结层的材料包括钛金属单质、铬金属单质、钨金属单质和铌金属单质中的至少之一。4.根据权利要求1所述的光束控制装置,其中,所述第一粘结层具有导电性,所述第一粘结层在所述基板上的正投影和所述亚波长天线单元在所述基板上的正投影至少部分交叠。5.根据权利要求1所述的光束控制装置,其中,所述第一粘结层具有绝缘性,所述亚波长天线单元在所述基板上的正投影位于所述第一粘结层在所述基板上的正投影之内。6.根据权利要求1所述的光束控制装置,其中,在所述基板和所述镜面层之间设置有第二粘结层,所述第二粘结层配置为将所述基板和所述镜面层粘结。7.根据权利要求6所述的光束控制装置,其中,在所述第二粘结层与所述基板之间,且在所述第二粘结层与所述镜面层之间均形成有化学键,以将所述基板和所述镜面层粘结。8.根据权利要求6所述的光束控制装置,其中,所述第二粘结层的厚度为1纳米~1000纳米,且所述第二粘结层的材料包括钛金属单质、铬金属单质、钨金属单质和铌金属单质中的至少之一。9.根据权利要求6~8中任一项所述的光束控制装置,其中,所述第一粘结层的材料和所述第二粘结层的材料相同或者不相同。10.根据权利要求1所述的光束控制装置,其中,所述亚...

【专利技术属性】
技术研发人员:祁聪胡志浩
申请(专利权)人:上海匕令科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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