闪烁器面板、放射线检测器、闪烁器面板的制造方法、及放射线检测器的制造方法技术

本发明专利技术的闪烁器面板具备：具有第1表面、及所述第1表面的相反侧的第2表面的第1可挠性支撑体；形成在所述第1表面，包含多个柱状结晶的闪烁器层；设置在所述第2表面上的第2可挠性支撑体；以介在于所述第2表面与所述第2可挠性支撑体之间的方式设置在所述第2可挠性支撑体的无机层；及将所述第2表面与所述无机层彼此粘接的第1粘接层。本发明专利技术的放射线检测器具备：闪烁器面板；及包含光电转换元件的传感器面板，所述闪烁器面板以所述第1表面相对于所述第2表面成为所述传感器面板侧的方式，设置在所述传感器面板。传感器面板。传感器面板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】闪烁器面板、放射线检测器、闪烁器面板的制造方法、及放射线检测器的制造方法


[0001]本公开涉及闪烁器面板、放射线检测器、闪烁器面板的制造方法、及放射线检测器的制造方法。

技术介绍

[0002]在专利文献1中记载有闪烁器面板。该闪烁器面板在支撑体上设置了将放射线转换成光的荧光体层的闪烁器面板。另外，该闪烁器面板在该支撑体的具有该荧光体层的面的相反侧的面具有厚度处于1～500nm的范围内的金属薄膜层。该支撑体将滚筒状闪烁器面板用支撑体裁断成规定的尺寸。此外，该荧光体层的光放出面及侧面及该支撑体的侧面被耐湿性保护膜覆盖。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本专利第5668691号公报

技术实现思路

专利技术想要解决的技术问题
[0004]在上述的闪烁器面板中，通过金属薄膜层及耐湿性保护膜，达成耐湿性的提升。如此，在上述
中，期望提升耐湿性。另一方面，在上述的闪烁器面板中，金属薄膜层的与支撑体为相反侧的面露出于外部。因此，在上述的闪烁器面板中，难以确保操作性。
[0005]本公开的目的在于提供能够一边确保操作性一边提升耐湿性的闪烁器面板、放射线检测器、闪烁器面板的制造方法、及放射线检测器的制造方法。用于解决技术问题的技术手段
[0006]本公开的闪烁器面板具备：第1可挠性支撑体，其具有第1表面、及第1表面的相反侧的第2表面；闪烁器层，其形成在第1表面，包含多个柱状结晶；第2可挠性支撑体，其设置在第2表面上；无机层，其以介在于第2表面与第2可挠性支撑体之间的方式设置在第2可挠性支撑体；及第1粘接层，其将第2表面与无机层彼此粘接。
[0007]在该闪烁器面板中，在第1可挠性支撑体的第1表面上形成闪烁器层。另一方面，在第1可挠性支撑体的第2表面上经由第1粘接层设置无机层。因此，在该闪烁器面板中，通过无机层，抑制由第2表面侧经由第1可挠性支撑体对闪烁器层的水分侵入。另一方面，当无机层露出时，有因操作时的接触而无机层劣化的担忧。相对于此，在该闪烁器面板中，在无机层的与第1可挠性支撑体的第2表面的相反侧，配置有第2可挠性支撑体。因此，操作时，保护无机层免于接触，抑制无机层劣化。如此，在该闪烁器面板中，一边确保操作性一边提升耐湿性。其中，关于闪烁器层的与第1可挠性支撑体的第1表面的相反侧，通常为设置有传感器面板等的侧，因此使耐湿性提升的必要性相对较低。
[0008]本公开的闪烁器面板也可以是，具备：保护层，其以覆盖第1可挠性支撑体、闪烁器
层、第2可挠性支撑体、及无机层的方式设置。在该情况下，整体的耐湿性及操作性更加提升。
[0009]本公开的闪烁器面板也可以是，具备：第2粘接层，其将无机层与第2可挠性支撑体彼此粘接。如此，无机层也可以通过粘接层而对第2可挠性支撑体进行粘接。在该情况下，例如与通过蒸镀对第2可挠性支撑体形成无机层的情况相比较，无机层与第2可挠性支撑体的接合较为牢固。
[0010]在本公开的闪烁器面板中，也可以是，与第1表面交叉的第1方向上的第1可挠性支撑体及第2可挠性支撑体的厚度为50μm以上且250μm以下，第1方向上的无机层的厚度为10μm以上且100μm以下，并且比第1方向上的第1可挠性支撑体及第2可挠性支撑体的厚度薄。如此，将无机层的厚度，在比第1可挠性支撑体及第2可挠性支撑体为较薄的范围内相对较厚地构成，从而能够一边确保放射线的透射性一边更加提升耐湿性。
[0011]在本公开的闪烁器面板中，也可以是，第1方向上的第1可挠性支撑体的厚度与第2可挠性支撑体的厚度之差为0以上且90μm以下。在该情况下，第1可挠性支撑体与第2可挠性支撑体的厚度之差小，因此抑制整体的翘曲。
[0012]在本公开的闪烁器面板中，也可以是，无机层的材料包含Al、Cu、Ti、Fe、或SUS。另外，在本公开的闪烁器面板中，也可以是，第1可挠性支撑体及第2可挠性支撑体的材料包含PET、PEN、PI、PP、PE、或PMMA。
[0013]本公开的放射线检测器具备：上述闪烁器面板；及包含光电转换元件的传感器面板，闪烁器面板以第1表面相对于第2表面成为传感器面板侧的方式，设置在传感器面板。该放射线检测器具备上述闪烁器面板。因此，通过该放射线检测器，一边确保操作性一边提升耐湿性。
[0014]本公开的闪烁器面板的制造方法具备：在第1可挠性支撑体的第1表面，通过蒸镀法形成包含多个柱状结晶的闪烁器层的工序；准备设置有无机层的第2可挠性支撑体的工序；及以无机层介在于第1可挠性支撑体的与第1表面为相反侧的第2表面与第2可挠性支撑体之间的方式，通过第1粘接层将无机层粘接在第1可挠性支撑体的工序。
[0015]在该制造方法中，在第1可挠性支撑体的第1表面上形成闪烁器层。另一方面，在第1可挠性支撑体的第2表面上经由粘接层来设置无机层。因此，在该闪烁器面板中，通过无机层，抑制由第2表面侧经由第1可挠性支撑体对闪烁器层的水分侵入。另一方面，当无机层露出时，有因操作时的接触而无机层劣化的担忧。相对于此，在该方法中，在无机层的与第1可挠性支撑体的第2表面的相反侧，配置有第2可挠性支撑体。因此，操作时，保护无机层免于接触，抑制无机层劣化。如此，在该制造方法中，制造能够一边确保操作性一边提升耐湿性的闪烁器面板。其中，关于闪烁器层的与第1可挠性支撑体的第1表面的相反侧，通常为设置有传感器面板等的侧，因此使耐湿性提升的必要性相对较低。
[0016]本公开的放射线检测器的制造方法具备：准备上述闪烁器面板的工序；准备包含光电转换元件的传感器面板的工序；及以第1表面相对于第2表面成为传感器面板侧的方式，将闪烁器面板设置在传感器面板的工序。在该制造方法中，使用上述的闪烁器面板。因此，制造能够一边确保操作性一边提升耐湿性的放射线检测器。专利技术的效果
[0017]根据本公开，可以提供能够一边确保操作性一边提升耐湿性的闪烁器面板、放射
线检测器、闪烁器面板的制造方法、及放射线检测器的制造方法。
附图说明
[0018]图1是表示本实施方式的放射线检测器的示意性截面图。图2是表示图1所示的放射线检测器的制造方法的一个工序的示意性截面图。图3是表示图1所示的放射线检测器的制造方法的一个工序的示意性截面图。图4是用于说明有关耐湿性的效果的图。图5是用于说明有关耐湿性的效果的图。
具体实施方式
[0019]以下参照附图，详细说明一个实施方式。其中，在各图的说明中，对相同的要素或相当的要素有时标注相同符号且省略重复说明。
[0020]本实施方式的闪烁器面板(及放射线检测器)是将X线等放射线转换(及检测)成可见光等闪烁光的闪烁器面板。另外，本实施方式的闪烁器面板、及放射线检测器(放射线成像器)是可使用在例如乳房摄影(Mammography)装置、胸部检查装置、CT装置、齿科口腔内摄影装置、及放射线摄影机等医疗用X线图像诊断装置、或非破坏检查装置。
[0021]图1是表示本实施方式的放射线检测器的示意性截面图。如图1所示，放射线检测器1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种闪烁器面板，其中，具备：第1可挠性支撑体，其具有第1表面、及所述第1表面的相反侧的第2表面；闪烁器层，其形成在所述第1表面，包含多个柱状结晶；第2可挠性支撑体，其设置在所述第2表面上；无机层，其以介在于所述第2表面与所述第2可挠性支撑体之间的方式设置在所述第2可挠性支撑体；及第1粘接层，其将所述第2表面与所述无机层彼此粘接。2.根据权利要求1所述的闪烁器面板，其中，具备：保护层，其以覆盖所述第1可挠性支撑体、所述闪烁器层、所述第2可挠性支撑体、及所述无机层的方式设置。3.根据权利要求1或2所述的闪烁器面板，其中，具备：第2粘接层，其将所述无机层与所述第2可挠性支撑体彼此粘接。4.根据权利要求1～3中任一项所述的闪烁器面板，其中，与所述第1表面交叉的第1方向上的所述第1可挠性支撑体及所述第2可挠性支撑体的厚度为50μm以上且250μm以下，所述第1方向上的所述无机层的厚度为10μm以上且100μm以下，并且比所述第1方向上的所述第1可挠性支撑体及所述第2可挠性支撑体的厚度薄。5.根据权利要求4所述的闪烁器面板，其中，所述第1方向上的所述第1可挠性支撑体的厚度与所述第2可挠性支撑体的厚度之差为0以上且90μm以下。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：畑中将志，山路晴纪，白川和广，后藤启辅，樱井纯，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：