具有倾斜纳米结构单元的超表面光学器件及光学设备制造技术

本公开提供一种超表面光学器件及光学设备。超表面光学器件包括：衬底；以及位于衬底上的纳米结构层，纳米结构层包括多个纳米结构单元，其中，多个纳米结构单元沿远离衬底的方向延伸，并且多个纳米结构单元的中轴线相对于衬底的法线方向成相应的夹角，使得多个纳米结构单元相对于衬底倾斜地设置。单元相对于衬底倾斜地设置。单元相对于衬底倾斜地设置。

【技术实现步骤摘要】
具有倾斜纳米结构单元的超表面光学器件及光学设备


[0001]本公开涉及超表面
，特别是涉及一种超表面光学器件及光学设备。

技术介绍

[0002]超表面是指一种尺寸小于工作波长的人工二维材料。超表面的基本结构单元为纳米结构单元，其尺寸小于工作波长，处于纳米量级。超表面可实现对电磁波偏振、振幅、相位、极化方式、传播方向、传播模式等特性的灵活有效调控。
[0003]超表面具有超轻超薄的性质，基于超表面制作的超表面光学器件，相比于传统光学器件，具有光学性能优异，体积小、可集成度高等优势，在未来的便携式小型化设备例如增强现实穿戴设备、虚拟现实穿戴设备、移动终端镜头等应用上前景广阔。

技术实现思路

[0004]本公开实施例提供了一种超表面光学器件及光学设备。
[0005]根据本公开的一个方面，提供一种超表面光学器件，包括：衬底；以及位于所述衬底上的纳米结构层，所述纳米结构层包括多个纳米结构单元，其中，所述多个纳米结构单元沿远离所述衬底的方向延伸，并且所述多个纳米结构单元的中轴线相对于所述衬底的法线方向成相应的夹角，使得所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超表面光学器件，其特征在于，包括：衬底；以及位于所述衬底上的纳米结构层，所述纳米结构层包括多个纳米结构单元，其中，所述多个纳米结构单元沿远离所述衬底的方向延伸，并且所述多个纳米结构单元的中轴线相对于所述衬底的法线方向成相应的夹角，使得所述多个纳米结构单元相对于所述衬底倾斜地设置。2.根据权利要求1所述的超表面光学器件，其特征在于，所述纳米结构层包括多个功能区域，每个功能区域包括所述多个纳米结构单元的一个相应子集，所述多个纳米结构单元被布置为使得所述多个功能区域具有彼此不同的光学功能。3.根据权利要求2所述的超表面光学器件，其特征在于，不同的功能区域在以下至少一个方面不同：纳米结构单元的中轴线相对于所述衬底的法线方向的夹角；纳米结构单元在所述衬底上的正投影的形状；纳米结构单元在所述衬底上的正投影的尺寸；纳米结构单元在垂直于所述衬底的方向上的尺寸；纳米结构单元在所述衬底上的排列周期；纳米结构单元在所述衬底上的排列图案；纳米结构单元在所述衬底上的正投影的取向；和纳米结构单元的材料。4.根据权利要求2所述的超表面光学器件，其特征在于，对于所述多个功能区域中的至少一个功能区域，其中，每个功能区域满足以下至少一项：该功能区域中的纳米结构单元的中轴线相对于所述衬底的法线方向的夹角不完全相同；该功能区域中的纳米结构单元在所述衬底上的正投影的形状不完全相同；该功能区域中的纳米结构单元在所述衬底上的正投影的尺寸不完...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙磊，邱兵，
申请(专利权)人：天津山河光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：