本实用新型专利技术公开了一种实现腔体开合度控制的装置，包括挡板框架，所述挡板框架内部设有上腔体、下腔体和气囊，所述上腔体固定安装于挡板框架内壁顶部，所述下腔体设置于上腔体底部，所述气囊设置于下腔体底部，所述气囊由顶板、气囊壁和底板组成，所述顶板与下腔体相接触，所述底板中部固定连接有管道连接件，所述挡板框架底部设有第一气管，所述挡板框架底部开设有通孔，所述第一气管一端贯穿通孔并延伸至挡板框架内部，所述第一气管延伸至挡板框架内部的一端与管道连接件螺纹连接。本实用新型专利技术根据气囊的充气膨胀、泄气缩小的特性，通过控制气囊的进气量以及距离传感器的高度反馈信息实现闭环控制，以此来实现下腔自动化升降时的高度位置控制。时的高度位置控制。时的高度位置控制。
【技术实现步骤摘要】
一种实现腔体开合度控制的装置
[0001]本技术涉及晶圆加工装置
，具体涉及一种实现腔体开合度控制的装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。在对晶圆进行加工时，需将晶圆放置于密闭的腔室内，通过腔室顶部设置的加工器械对晶圆进行加工操作。
[0003]现有的晶圆加工装置无法对腔体开合度进行控制，晶圆与加工器械之间的距离不可调，不便于对晶圆进行高精度加工。
[0004]因此，专利技术一种实现腔体开合度控制的装置来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是提供一种实现腔体开合度控制的装置，以解决技术中现有的晶圆加工装置无法对腔体开合度进行控制，晶圆与加工器械之间的距离不可调，不便于对晶圆进行高精度加工的问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种实现腔体开合度控制的装置，包括挡板框架，所述挡板框架内部设有上腔体、下腔体和气囊，所述上腔体固定安装于挡板框架内壁顶部，所述下腔体设置于上腔体底部，所述气囊设置于下腔体底部，所述气囊由顶板、气囊壁和底板组成，所述顶板与下腔体相接触，所述底板中部固定连接有管道连接件，所述挡板框架底部设有第一气管，所述挡板框架底部开设有通孔，所述第一气管一端贯穿通孔并延伸至挡板框架内部，所述第一气管延伸至挡板框架内部的一端与管道连接件螺纹连接，所述第一气管底部固定连接有第二气管。
[0007]优选的，所述第一气管形状设为L形，所述第一气管远离挡板框架的一端依次安装有第一开关阀和压力调节阀，通过压力调节阀可以调控气囊内的气压大小。
[0008]优选的，所述第二气管远离第一气管的一端依次安装有第二开关阀和流量控制器，通过流量控制器可以保证气囊泄气时的稳定性。
[0009]优选的，所述上腔体表面固定安装有距离传感器，所述下腔体两侧均固定连接有限位块，通过距离传感器能够精准测量上腔体和下腔体之间的间距。
[0010]优选的，所述挡板框架内壁两侧均开设有移动滑槽，两个所述移动滑槽分别与两个所述限位块相匹配。
[0011]优选的，所述限位块与移动滑槽滑动连接，所述移动滑槽形状设为L形，L形的移动滑槽既方便对下腔体进行横向组装，又能够满足气囊对下腔体的纵向抬升。
[0012]优选的，所述挡板框架一侧铰接设置有仓门，所述仓门表面固定安装有把手。
[0013]优选的，所述仓门中部固定连接有观察窗，所述观察窗由透明钢化玻璃制成，通过
观察窗可对挡板框架内部情况进行观察。
[0014]在上述技术方案中，本技术提供的技术效果和优点：
[0015]1.根据气囊的充气膨胀、泄气缩小的特性，通过控制气囊的进气量以及距离传感器的高度反馈信息实现闭环控制，以此来实现下腔自动化升降时的高度位置控制；
[0016]2.通过在挡板框架内壁两侧开设L形的移动滑槽，下腔体上的限位块能够在移动滑槽内进行滑动，既方便对下腔体进行横向组装，又能够满足气囊对下腔体的纵向抬升。
附图说明
[0017]图1为本技术的整体结构示意图；
[0018]图2为本技术仓门打开状态下的整体结构示意图；
[0019]图3为本技术上腔体和下腔体的结构示意图；
[0020]图4为本技术气囊的结构剖视图；
[0021]图5为本技术挡板框架的局部剖视图；
[0022]图6为本技术的性能数据分析图。
[0023]附图标记说明：
[0024]1、挡板框架；2、上腔体；3、下腔体；4、气囊；5、顶板；6、气囊壁；7、底板；8、管道连接件；9、第一气管；10、通孔；11、第二气管；12、第一开关阀；13、压力调节阀；14、第二开关阀；15、流量控制器；16、距离传感器；17、限位块；18、移动滑槽；19、仓门；20、把手；21、观察窗。
具体实施方式
[0025]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面将结合附图对本技术作进一步的详细介绍。
[0026]本技术提供了如图1
‑
5所示的一种实现腔体开合度控制的装置，包括挡板框架1，所述挡板框架1内部设有上腔体2、下腔体3和气囊4，所述上腔体2固定安装于挡板框架1内壁顶部，所述下腔体3设置于上腔体2底部，所述气囊4设置于下腔体3底部，所述气囊4由顶板5、气囊壁6和底板7组成，所述顶板5与下腔体3相接触，所述底板7中部固定连接有管道连接件8，所述挡板框架1底部设有第一气管9，所述挡板框架1底部开设有通孔10，所述第一气管9一端贯穿通孔10并延伸至挡板框架1内部，所述第一气管9延伸至挡板框架1内部的一端与管道连接件8螺纹连接，所述第一气管9底部固定连接有第二气管11。
[0027]所述第一气管9形状设为L形，所述第一气管9远离挡板框架1的一端依次安装有第一开关阀12和压力调节阀13。
[0028]所述第二气管11远离第一气管9的一端依次安装有第二开关阀14和流量控制器15。
[0029]所述上腔体2表面固定安装有距离传感器16，所述下腔体3两侧均固定连接有限位块17。
[0030]所述挡板框架1内壁两侧均开设有移动滑槽18，两个所述移动滑槽18分别与两个所述限位块17相匹配。
[0031]所述限位块17与移动滑槽18滑动连接，所述移动滑槽18形状设为L形。
[0032]所述挡板框架1一侧铰接设置有仓门19，所述仓门19表面固定安装有把手20。
[0033]所述仓门19中部固定连接有观察窗21，所述观察窗21由透明钢化玻璃制成。
[0034]本实用工作原理：
[0035]参照说明书附图1
‑
5，在使用本装置时，首先将第一气管9和第二气管11与外接气泵进行连接，打开第一开关阀12并通过外接气泵向第一气管9内注入空气，空气涌入气囊4内，气囊4充气膨胀并将下腔体3向上抬起，通过压力调节阀13可以调控气囊4内的气压大小，待下腔体3抬升一定高度后，关闭第一开关阀12，打开第二开关阀14并通过外接气泵和第二气管11将气囊4内部的空气抽出，气囊4泄气缩小并使得下腔体3恢复至原位，通过流量控制器15可以保证气囊4泄气时的稳定性，上腔体2表面安装有距离传感器16，通过距离传感器16能够精准测量上腔体2和下腔体3之间的间距；
[0036]参照说明书附图1
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5，在使用本装置时，通过在挡板框架1内壁两侧开设L形的移动滑槽18，下腔体3上的限位块17能够在移动滑槽18内进行滑动，既方便对下腔体3进行横向组装，又能够满足气囊4对下腔体3的纵向抬升。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种实现腔体开合度控制的装置，包括挡板框架(1)，其特征在于：所述挡板框架(1)内部设有上腔体(2)、下腔体(3)和气囊(4)，所述上腔体(2)固定安装于挡板框架(1)内壁顶部，所述下腔体(3)设置于上腔体(2)底部，所述气囊(4)设置于下腔体(3)底部，所述气囊(4)由顶板(5)、气囊壁(6)和底板(7)组成，所述顶板(5)与下腔体(3)相接触，所述底板(7)中部固定连接有管道连接件(8)，所述挡板框架(1)底部设有第一气管(9)，所述挡板框架(1)底部开设有通孔(10)，所述第一气管(9)一端贯穿通孔(10)并延伸至挡板框架(1)内部，所述第一气管(9)延伸至挡板框架(1)内部的一端与管道连接件(8)螺纹连接，所述第一气管(9)底部固定连接有第二气管(11)。2.根据权利要求1所述的一种实现腔体开合度控制的装置，其特征在于：所述第一气管(9)形状设为L形，所述第一气管(9)远离挡板框架(1)的一端依次安装有第一开关阀(12)和压力调节阀(13)。3.根据权利要求1所述的一种实现腔体开合度控制的装...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈爱华，
申请(专利权)人：无锡华瑛微电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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